电热微镜驱动器失配矫正系统及方法技术方案

本公开提供了一种电热微镜驱动器失配矫正系统，包括：光源，光源用于向设置在光源正上方的电热微镜发出光线，电热微镜对来自光源的光线进行反射，形成反射光线；多个光电探测器均匀地设置在光源的周围，多个光电探测器分别对电热微镜形成的反射光线进行探测，生成多个电流信号；矫正电路同时接收多个电流信号，将多个电流信号转换为多个电压信号，获取多个电压信号中的最大值与最小值的差值，至少基于差值生成矫正电信号，矫正电信号能够被发送至电热微镜的至少一个驱动器，以对至少一个驱动器的驱动电压进行矫正。本公开还提供了一种电热微镜驱动器失配矫正方法。微镜驱动器失配矫正方法。微镜驱动器失配矫正方法。

【技术实现步骤摘要】
电热微镜驱动器失配矫正系统及方法


[0001]本公开属于电热微镜驱动控制
，本公开尤其涉及一种电热微镜驱动器失配矫正系统及电热微镜驱动器失配矫正方法。

技术介绍

[0002]电热微镜是依靠物体的热膨胀效应驱动微镜产生偏转。
[0003]当温度发生改变时，物体的长度和体积也会产生变化，从而输出力或位移使微镜结构产生变形。
[0004]扫描微镜(SEM)多用于各种显示、光通信、目标识别等光学系统，要求微镜有大的垂直位移与扫描角度。
[0005]如果在微镜垂直扫描运动过程中出现扫描倾角，会直接导致光路失准，干涉调制度降低，干涉条纹对比度降低，限制动镜最大扫描位移的利用率，造成系统分辨力下降，若倾角过大，导致动镜光斑与定镜光斑相互分离，探测器端的干涉信号消失。
[0006]微镜在垂直扫描过程中应避免驱动器响应失配。

技术实现思路

[0007]为了解决上述技术问题之一，本公开提供了一种电热微镜驱动器失配矫正系统及电热微镜驱动器失配矫正方法。
[0008]本公开的电热微镜驱动器失配矫正系统及电热微镜驱动器失配矫正方法通过以下技术方案实现。
[0009]根据本公开的一个方面，提供一种电热微镜驱动器失配矫正系统，包括：光源，所述光源用于向设置在所述光源正上方的电热微镜发出光线，所述电热微镜对来自光源的所述光线进行反射，形成反射光线；光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个光电探测器，多个所述光电探测器均匀地设置在所述光源的周围，所述多个光电探测器分别对所述电热微镜形成的所述反射光线进行探测，生成多个电流信号；以及矫正电路，所述矫正电路同时接收所述多个电流信号，将所述多个电流信号转换为多个电压信号，所述矫正电路获取所述多个电压信号中的最大值与最小值的差值，所述矫正电路至少基于所述差值生成矫正电信号，所述矫正电信号能够被发送至所述电热微镜的至少一个驱动器，以对所述至少一个驱动器的驱动电压进行矫正。
[0010]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述光源能够被控制以发出光线或者不发出光线。
[0011]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述光电探测器阵列包括四个光电探测器，分别为第一光电探测器、第二光电探测器、第三光电探测器以及第四光电探测器。
[0012]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述四个光电探测器与所述光源设置在同一基底上。
[0013]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述矫正电路通过所述基底上设置的电通道与所述多个光电探测器中的各个光电探测器电连接。
[0014]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述基底为电路板。
[0015]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述光电探测器为矩形形状。
[0016]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述光电探测器为正方形形状。
[0017]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述矫正电路包括：
[0018]信号采集部，所述信号采集部将所述多个电流信号转换为多个电压信号；
[0019]信号处理部，所述信号处理部获取所述多个电压信号中的最大值与最小值的差值，所述矫正电路至少基于所述差值生成矫正电信号；以及
[0020]数模转换部，所述数模转换部将所述矫正电信号转换为模拟信号，所述模拟信号能够被发送至所述电热微镜的至少一个驱动器。
[0021]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述信号采集部包括采样电阻器以及模数转换器，所述采样电阻器将所述电流信号转换为电压信号，所述模数转换器将所述电压信号转换为数字电压信号。
[0022]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述信号处理部为FPGA，所述FPGA对来自信号采集部的多个电压信号进行存储，并获取所述多个电压信号中的最大值与最小值的差值，并基于所述差值生成矫正电信号。
[0023]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述信号处理部包括存储器以及处理器，所述存储器对来自信号采集部的多个电压信号进行存储，所述处理器获取所述存储器存储的所述多个电压信号中的最大值与最小值的差值，并基于所述差值生成矫正电信号。
[0024]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述第一光电探测器、所述第二光电探测器、所述第三光电探测器以及所述第四光电探测器在所述光源的周围依次设置，所述第一光电探测器与所述第二光电探测器之间设置有第一驱动器接口，所述第二光电探测器与所述第三光电探测器之间设置有第二驱动器接口，所述第三光电探测器与所述第四光电探测器之间设置有第四驱动器接口，所述第四光电探测器与所述第一光电探测器之间设置有第三驱动器接口。
[0025]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，如果所述差值大于设定值，则所述矫正电路基于所述差值生成矫正电信号。
[0026]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述矫正电路基于所述差值生成矫正电信号，包括：
[0027]如果来自第四光电探测器的电压信号与来自第三光电探测器的电压信号之和大于来自第一光电探测器的电压信号与来自第二光电探测器的电压信号之和，且来自第四光电探测器的电压信号与来自第三光电探测器的电压信号的大小相等，则为第一驱动器接口生成矫正电信号以将第一驱动器的驱动电压降低预定值；或者，
[0028]如果来自第四光电探测器的电压信号与来自第三光电探测器的电压信号之和大于来自第一光电探测器的电压信号与来自第二光电探测器的电压信号之和，且来自第一光电探测器的电压信号与来自第二光电探测器的电压信号的大小相等，则为第一驱动器接口生成矫正电信号以将第一驱动器的驱动电压降低预定值；或者，
[0029]如果来自第四光电探测器的电压信号与来自第三光电探测器的电压信号之和大于来自第一光电探测器的电压信号与来自第二光电探测器的电压信号之和，且来自第一光电探测器的电压信号最小以及来自第三光电探测器的电压信号最大，则为第一驱动器接口生成矫正电信号以将第一驱动器的驱动电压降低预定值；或者，
[0030]如果来自第四光电探测器的电压信号与来自第三光电探测器的电压信号之和大于来自第一光电探测器的电压信号与来自第二光电探测器的电压信号之和，且来自第二光电探测器的电压信号最小以及来自第四光电探测器的电压信号最大，则为第一驱动器接口生成矫正电信号以将第一驱动器的驱动电压降低预定值。
[0031]根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述矫正电路基于所述差值生成矫正电信号，包括：
[0032]如果来自第二光电探测器的电压信号与来自第三光电探测器的电压信号之和大于来自第一光电探测器的电压信号与来自第四光电探测器的电压本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电热微镜驱动器失配矫正系统，其特征在于，包括：光源，所述光源用于向设置在所述光源正上方的电热微镜发出光线，所述电热微镜对来自光源的所述光线进行反射，形成反射光线；光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个光电探测器，多个所述光电探测器均匀地设置在所述光源的周围，所述多个光电探测器分别对所述电热微镜形成的所述反射光线进行探测，生成多个电流信号；以及矫正电路，所述矫正电路同时接收所述多个电流信号，将所述多个电流信号转换为多个电压信号，所述矫正电路获取所述多个电压信号中的最大值与最小值的差值，所述矫正电路至少基于所述差值生成矫正电信号，所述矫正电信号能够被发送至所述电热微镜的至少一个驱动器，以对所述至少一个驱动器的驱动电压进行矫正。2.根据权利要求1所述的电热微镜驱动器失配矫正系统，其特征在于，所述光源能够被控制以发出光线或者不发出光线。3.根据权利要求1所述的电热微镜驱动器失配矫正系统，其特征在于，所述光电探测器阵列包括四个光电探测器，分别为第一光电探测器、第二光电探测器、第三光电探测器以及第四光电探测器。4.根据权利要求3所述的电热微镜驱动器失配矫正系统，其特征在于，所述四个光电探测器与所述光源设置在同一基底上。5.根据权利要求4所述的电热微镜驱动器失配矫正系统，其特征在于，所述矫正电路通过所述基底上设置的电通道与所述多个光电探测器中的各个光电探测器电连接。6.根据权利要求4或5所...

【专利技术属性】
技术研发人员：程翔，邓晨洋，徐顺，严旭杰，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：