一种半导体制程废气处理器制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体制程废气处理器，其结构包括控制阀、底座、出口、导管、处理装置、入口、观察窗、机体、净化腔，本发明专利技术进行使用时，叶片受到废气的冲击气压后会变成圆锥柱体结构，废气会由于惯性在叶片的作用下会向下流动，通过内导气口和外导气口配合有效将气体均匀的向外分散到分流管，有效防止导流出的气体向上回流，精滤网受到气体的气压力会产生一定的抖动，通过辅助板与支撑板互相配合对精滤网进行支撑，使得精滤网可以稳定的上下波动，有效对卡持在精滤网孔隙的颗粒物会受到上下波动的作用而向上弹起，防止颗粒物堵塞在精滤网上，阻止废气的流通性，提高废气的处理效率。提高废气的处理效率。提高废气的处理效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制程废气处理器


[0001]本专利技术涉及半导体领域，具体涉及到一种半导体制程废气处理器。

技术介绍

[0002]随着社会的进步，工业化的进程也飞速发展，工业生产不断发展会对大气中排放大量的工业残余气体，半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，在制配过程中会产生酸碱气体以及其他有机废气，需要对废气中的颗粒物进行有效处理，在对废气进行处理时，需要改进的地方：
[0003]在对半导体制造产生的废气进行处理时，半导体在制造工艺中会产生大量的特殊气体，在处理气体的过程中，制程废气中携带有许多不同粒径尺寸的固体颗粒物，由于滤网的孔径大小一致，若是颗粒物的粒径过大，会卡持在滤网的孔径上，使得废气无法正常在滤网上流动过滤，影响废气的流通过滤性，且废气在处理过程中会随着气体的波动向上流动，导致处理后的气体出现回流，使得处理后与未处理的废气相混合在一起，降低废气的处理效率。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本专利技术是通过如下的技术方案来实现：一种半导体制程废气处理器，其结构包括控制阀、底座、出口、导管、处理装置、入口、观察窗、机体、净化腔，所述控制阀与导管相接通，所述导管远离控制阀的一端贯穿伸入处理装置内部，所述处理装置安装在机体内部，所述机体一侧设有两个与之相接通的观察窗，另一侧与出口相通，所述机体朝向处理装置的一端与入口相接通，所述机体底部与净化腔相接通，所述净化腔通过机体与出口相通，所述净化腔固定连接在底座上。
[0005]作为
技术实现思路
的进一步优化，所述处理装置包括有隔滤组件、防回流装置、导流弧板、腔体、输出口，所述隔滤组件一端与输出口相接通，另一端设有防回流装置，所述防回流装置远离隔滤组件的一端与导流弧板相接通，所述导流弧板设有两块，两块导流弧板扣接在腔体内壁两侧，所述腔体底部设有输出口，所述腔体安装在机体内部。
[0006]作为
技术实现思路
的进一步优化，所述防回流装置包括有波浪弹件、汇集板、旋转盘、输气口、导气叠件、分流管，所述波浪弹件设有两个，两个波浪弹件之间设有与之相接的导气叠件，所述导气叠件设有三块，三块导气叠件平行扣合在两个波浪弹件之间，所述波浪弹件一端与汇集板相扣接，另一端与分流管侧壁相连，所述汇集板设有两块，两块汇集板对称连接在输气口两侧，所述输气口上设有旋转盘，所述分流管远离波浪弹件的一端设有隔滤组件，所述汇集板与导流弧板相接通。
[0007]作为
技术实现思路
的进一步优化，所述导气叠件包括有盘体、分散导件、连接块、衔接块、叶片，所述盘体内壁设有与之相接的衔接块，所述衔接块远离盘体的一端与叶片相连，所述叶片设有多块，多块叶片等距环形插嵌在连接块上，所述连接块内部安装有分散导件，所述盘体与波浪弹件相连接。
[0008]作为
技术实现思路
的进一步优化，所述分散导件包括有隔块、内导气口、外导气口、凸弧分板，所述隔块一端贴合在外导气口外壁，另一端与连接块相接，所述外导气口与内导气口相接通，所述内导气口远离外导气口的一端与凸弧分板相接。
[0009]作为
技术实现思路
的进一步优化，所述隔滤组件包括有活动扣件、细滤元件、粗滤网、壳体、活性炭层，所述活动扣件设有两块，两块活动扣件平行卡接在壳体内壁两侧，所述活动扣件远离壳体的一端与细滤元件相接，所述细滤元件一端上设有粗滤网，另一端设有活性炭层，所述粗滤网和活性炭层的两端平行扣接在壳体内壁两侧，所述壳体底部与输出口相接通，所述粗滤网上设有分流管。
[0010]作为
技术实现思路
的进一步优化，所述活动扣件包括有牵拉条、限位块、弹性件、三角板、拉块，所述牵拉条设在两块三角板之间，两块所述三角板通过拉块相连接，所述拉块远离三角板的一端与细滤元件相接，所述牵拉条远离三角板的一端连接在弹性件中间位置上，所述弹性件两端与限位块固定连接，所述限位块卡接在壳体内壁上。
[0011]作为
技术实现思路
的进一步优化，所述细滤元件包括有弧护板、张合顶件、精滤网，所述弧护板内部安装有张合顶件，所述张合顶件远离弧护板的一端与精滤网相接触，所述精滤网两端分别设有粗滤网、活性炭层，所述弧护板与拉块相接。
[0012]作为
技术实现思路
的进一步优化，所述张合顶件包括有限扩块、辅助板、活动夹条、支撑板，所述限扩块设在两块辅助板之间，所述辅助板固定连接在支撑板上，两块所述支撑板通过活动夹条相连接，所述辅助板与弧护板相接，所述支撑板与精滤网相接触。
[0013]有益效果
[0014]本专利技术一种半导体制程废气处理器，具有以下有益效果：
[0015]1、本专利技术通过旋转盘、输气口、导气叠件、分流管的结合设置，输气口在旋转盘的作用下将废气向下导送到导气叠件上，导气叠件接收的废气的气压会变成螺旋状向下转动，有效将废气向下传送到分流管上，多根分流管将废气均匀的向外导出。
[0016]2、本专利技术通过内导气口、外导气口、凸弧分板的结合设置，废气向下流动垂直撞击在凸弧分板，凸弧分板呈凸起状结构且采用弹性材料制成，在受到废气的气压后会在弹性的作用下将废气向外扩散在内导气口和外导气口上，使得内导气口和外导气口可以有效均匀的分散。
[0017]3、本专利技术通过精滤网、限扩块、活动夹条、支撑板的结合设置，废气流动到精滤网上，精滤网接收到废气的撞击力后会产生一定的波动，通过限扩块和活动夹条配合对支撑板的位置进行限制，可以将精滤网向上顶推支撑，保证精滤网的过滤稳定性。
附图说明
[0018]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0019]图1为本专利技术一种半导体制程废气处理器的结构示意图；
[0020]图2为本专利技术处理装置的内部结构示意图。
[0021]图3为本专利技术防回流装置的剖面结构示意图。
[0022]图4为本专利技术导气叠件的俯视结构示意图。
[0023]图5为图4中A的放大结构示意图。
[0024]图6为本专利技术隔滤组件的剖面结构示意图。
[0025]图7为本专利技术活动扣件的俯视结构示意图。
[0026]图8为图6中B的放大结构示意图。
[0027]图9为本专利技术张合顶件的剖面结构示意图。
[0028]图中：控制阀
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1、底座
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2、出口
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3、导管
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4、处理装置
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5、入口
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6、观察窗
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7、机体
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8、净化腔
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9、隔滤组件
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51、防回流装置
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52、导流弧板
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53、腔体
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54、输出口
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55、波浪弹件
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521、汇集板
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522、旋转盘
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523、输气口
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524、导气叠件
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525、分流管
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526、盘体
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251、分散本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体制程废气处理器，其结构包括控制阀(1)、底座(2)、出口(3)、导管(4)、处理装置(5)、入口(6)、观察窗(7)、机体(8)、净化腔(9)，其特征在于：所述导管(4)与控制阀(1)、处理装置(5)相接通，所述处理装置(5)安装在机体(8)内部，所述机体(8)上设有观察窗(7)、出口(3)，所述机体(8)与入口(6)、净化腔(9)相接通，所述净化腔(9)通过机体(8)与出口(3)相通，所述净化腔(9)固定连接在底座(2)上；所述处理装置(5)包括有隔滤组件(51)、防回流装置(52)、导流弧板(53)、腔体(54)、输出口(55)，所述隔滤组件(51)与输出口(55)、防回流装置(52)相接，所述防回流装置(52)与导流弧板(53)相接通，所述导流弧板(53)扣接在腔体(54)上，所述腔体(54)底部设有输出口(55)，所述腔体(54)安装在机体(8)内部。2.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气处理器，其特征在于：所述防回流装置(52)包括有波浪弹件(521)、汇集板(522)、旋转盘(523)、输气口(524)、导气叠件(525)、分流管(526)，所述波浪弹件(521)与导气叠件(525)相接，所述波浪弹件(521)与汇集板(522)、分流管(526)相连，所述汇集板(522)连接在输气口(524)上，所述输气口(524)上设有旋转盘(523)，所述分流管(526)上设有隔滤组件(51)，所述汇集板(522)与导流弧板(53)相接通。3.根据权利要求2所述的一种半导体制程废气处理器，其特征在于：所述导气叠件(525)包括有盘体(251)、分散导件(252)、连接块(253)、衔接块(254)、叶片(255)，所述盘体(251)与衔接块(254)相扣接，所述衔接块(254)与叶片(255)相连，所述叶片(255)插嵌在连接块(253)上，所述连接块(253)内部安装有分散导件(252)，所述盘体(251)与波浪弹件(521)相连接。4.根据权利要求3所述的一种半导体制程废气处理器，其特征在于：所述分散导件(252)包括有隔块(W1)、内导气口(W2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：程建国，
申请(专利权)人：程建国，
类型：发明
国别省市：