输送系统、可移动元件、控制装置、控制方法以及物品的制造方法制造方法及图纸

本公开涉及一种输送系统，包括：可移动元件，其包括第一线圈群和第二线圈群；以及包括多个磁性体的定子，所述多个磁性体沿着第一方向布置成使得所述多个磁体能够面对第一线圈群和第二线圈群。第一线圈群包括沿着第一方向布置的多个第一线圈，并且第二线圈群包括沿着与第一方向交叉的第二方向布置的多个第二线圈。在电流施加到第一线圈群或第二线圈群的情况下，在可移动元件和所述多个磁性体之间生成力。可移动元件能够沿着所述多个磁性体在第一方向上移动，同时可移动元件的取向由生成的力控制。本公开还涉及一种可移动元件、一种控制装置、一种控制方法、以及一种制造物品的方法。以及一种制造物品的方法。以及一种制造物品的方法。

【技术实现步骤摘要】
输送系统、可移动元件、控制装置、控制方法以及物品的制造方法


[0001]本公开涉及输送系统、可移动元件、控制装置、控制方法以及物品的制造方法。

技术介绍

[0002]通常例如在用于工业产品组装的生产线中以及在半导体曝光装置中要使用输送系统。尤其是，生产线中的输送系统在自动化生产线中的多个工位之间或者在工厂中的多条生产线之间输送诸如零件的工件。输送系统还用作加工装置中的输送装置。其中，已经讨论过使用可移动磁体型线性马达的输送系统。
[0003]使用线性马达的输送系统包括涉及机械接触的引导装置(例如线性引导件)。使用引导装置(例如线性引导件)的输送系统具有由于来自线性引导件的滑动部分的污染物(例如导轨和轴承的磨损碎片、润滑油和挥发性润滑剂)而导致的生产率降低的问题。还存在另外的由于高速输送期间滑动部分的摩擦增加而导致的线性引导件的寿命缩短的问题。
[0004]日本专利特开第2005
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079368号公报讨论了一种磁悬浮输送装置，所述磁悬浮输送装置实现了输送托盘的无接触式输送。根据日本专利特开第2005
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079368号公报，用于在输送方向(以下称为“X方向”)上进行控制以及在悬浮方向(以下称为“Z方向”)上进行控制的两列永磁体沿着输送托盘的输送方向布置在腔室下方。此外，在垂直于输送方向的水平方向(以下称为“Y方向”)上布置一列永磁体。在输送托盘上，与永磁体相对应地布置了三组线圈。

技术实现思路

[0005]根据本公开的第一方面，一种输送系统包括：可移动元件，所述可移动元件包括第一线圈群和第二线圈群，其中所述第一线圈群包括沿着第一方向布置的多个第一线圈，并且所述第二线圈群包括沿着与所述第一方向交叉的第二方向布置的多个第二线圈；以及包括多个磁性体的定子，所述多个磁性体沿着所述第一方向布置成使得所述多个磁性体能够面对所述第一线圈群和所述第二线圈，其中，在电流施加到所述第一线圈群或所述第二线圈群的情况下，在所述可移动元件和所述多个磁性体之间生成力；并且其中所述可移动元件能够沿着所述多个磁性体在所述第一方向上移动，同时所述可移动元件的取向由生成的力控制。
[0006]根据本公开的第二方面，一种可移动元件包括：上表面；侧表面；以及下表面，其中所述上表面包括第一线圈群和第二线圈群，并且其中所述第一线圈群包括沿着第一方向布置的多个第一线圈，所述第二线圈群包括沿着与所述第一方向交叉的方向布置的多个第二线圈。
[0007]根据本公开的第三方面，一种控制装置沿着磁性体移动可移动元件，其中所述可移动元件包括沿着第一方向布置的第一线圈群和沿着与所述第一方向交叉的方向布置的第二线圈群，所述磁性体沿着所述第一方向布置以面对所述第一线圈群和所述第二线圈
群，所述控制装置包括：输送控制器，所述输送控制器配置成通过控制施加到所述第一线圈群的电流来控制所述可移动元件在所述第一方向上的输送；以及取向控制器，所述取向控制器配置成通过控制施加到所述第一线圈群或所述第二线圈群的电流来控制所述可移动元件的取向。
[0008]根据本公开的第四方面，一种控制方法沿着磁性体移动可移动元件，其中所述可移动元件包括沿着第一方向布置的第一线圈群和沿着与所述第一方向交叉的方向布置的第二线圈群，所述磁性体沿着所述第一方向布置以面对所述第一线圈群和所述第二线圈群，所述控制方法包括：通过控制施加到所述第一线圈群的电流来控制所述可移动元件在所述第一方向上的输送；以及通过控制施加到所述第一线圈群或所述第二线圈群的电流来控制所述可移动元件的取向。
[0009]根据本公开的第五方面，一种使用根据所述第一方面限定的输送系统来制造物品的方法，所述方法包括在使用可移动元件输送工件的同时加工所述工件。
[0010]通过参照附图对示例性实施例的以下描述，本公开的更多特征将变得显而易见。
附图说明
[0011]图1A是示出根据本公开的第一示例性实施例的输送系统的可移动元件的示意图。图1B是示出根据本公开的第一示例性实施例的输送系统的定子的示意图。
[0012]图2是示出根据本公开的第一示例性实施例的输送系统的整体配置的示意图。
[0013]图3A和3B是示出根据本公开的第一示例性实施例的输送系统中的线圈群的示意图。图3C示出了通过将电流施加到根据本公开的第一示例性实施例的输送系统中的线圈群而生成的力的大小。
[0014]图4A是示出根据本公开的第一示例性实施例的控制输送系统的控制系统的示意图。图4B是示出根据本公开的第二示例性实施例的控制输送系统的控制系统的示意图。
[0015]图5示出了根据本公开的第一示例性实施例的输送系统中的可移动元件控制器。
[0016]图6示出了根据本公开的第一示例性实施例的输送系统中的线圈的作用。
具体实施方式
[0017]本公开涉及输送系统，所述输送系统以无物理接触的方式输送可移动元件，同时控制可移动元件的取向并且不需要系统配置的大型化，本公开还涉及可移动元件、控制装置、控制方法以及物品的制造方法。
[0018]在日本专利特开第2005
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079368号公报中讨论的装置包括至少三列线圈阵列，并且具有大而复杂的结构。如果为了减小结构尺寸而将X用线圈和Y用线圈彼此靠近布置，则例如会由于可移动元件朝向Y移位而使本应面对Y用永磁体的Y用线圈变成面对X用线圈，因此可移动元件的取向控制变得困难。
[0019][第一示例性实施例][0020]以下将参照图1A和1B至图6描述本公开的第一示例性实施例。
[0021]首先，下面将参照图1A和1B描述根据本示例性实施例的输送系统1的整体配置。图1A和1B是示出根据本示例性实施例的可移动元件101和定子201的示意图。图1A示出了可移动元件101的取出的主要部分，图1B示出了定子201的取出的主要部分。此外，图1A是示出在
Z方向上观察的可移动元件101的视图，图1B是示出在Y方向上观察的定子201的视图。Z方向和Y方向将在下文进行描述。
[0022]如图1A和1B所示，根据本示例性实施例的输送系统1包括可移动元件101和定子201。可移动元件101配置为台车、滑块或滑架。定子201配置为输送路径。输送系统1是包括可移动线圈型线性马达的输送系统。此外，输送系统1是磁悬浮型输送系统，其不包括诸如线性引导件的引导件，并且以不与可移动元件101物理接触的方式在定子201上输送可移动元件101。
[0023]例如，输送系统1使用定子201输送可移动元件101，并且将可移动元件101上的工件102输送到用于加工工件102的加工装置。尽管图1A和1B示出了相对于定子201的一个可移动元件101，但是本示例性实施例不限于这些图示。输送系统1可以在定子201上输送多个可移动元件101。
[0024]本文使用的坐标轴和方向按如下所述进行定义。首先，沿着水平方向(即可移动元件101的输送方向)定义X轴，并且将可移动元件101的输送方向定义为“X本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种输送系统，其包括：可移动元件，所述可移动元件包括第一线圈群和第二线圈群，其中所述第一线圈群包括沿着第一方向布置的多个第一线圈，并且所述第二线圈群包括沿着与所述第一方向交叉的第二方向布置的多个第二线圈；以及包括多个磁性体的定子，所述多个磁性体沿着所述第一方向布置成使得所述多个磁性体能够面对所述第一线圈群和所述第二线圈，其中，在电流施加到所述第一线圈群或所述第二线圈群的情况下，在所述可移动元件和所述多个磁性体之间生成力；并且其中所述可移动元件能够沿着所述多个磁性体在所述第一方向上移动，同时所述可移动元件的取向由生成的力控制。2.根据权利要求1所述的输送系统，其中所述第一线圈群或所述第二线圈群配置成在与所述第一方向不同的方向上在所述第一线圈群或所述第二线圈群和所述多个磁性体之间生成力。3.根据权利要求1所述的输送系统，其中所述可移动元件具有沿着所述第一方向的上表面，并且其中所述第一线圈群和所述第二线圈群布置在所述上表面上。4.根据权利要求3所述的输送系统，其中所述多个第一线圈和所述多个第二线圈中的每一个包括芯，所述芯配置成在所述芯和所述多个磁性体之间产生吸引力，并且其中所述芯配置成面对所述多个磁性体。5.根据权利要求1所述的输送系统，其中，在所述多个磁性体中，相邻的磁性体具有互不相同的磁极极性。6.根据权利要求5所述的输送系统，其中，在所述第二线圈群中的所述多个第二线圈中，在所述第二方向上相邻的第二线圈中生成的磁极极性互不相同。7.一种可移动元件，包括：上表面；侧表面；以及下表面，其中所述上表面包...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本武，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：