一种真空镀膜机的冷却装置制造方法及图纸

技术编号:28755701 阅读:23 留言:0更新日期:2021-06-09 10:24
本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机的冷却装置,涉及冷却装置技术领域,包括主体,所述主体的内部底端安装有水泵,且水泵的一侧设置有冷却箱,所述冷却箱的一侧设置有延伸至主体外侧的输送管,所述输送管的内部设置有延伸至输送管外侧的控制阀,所述冷却箱的内部顶端焊接有二号套杆,且二号套杆的外侧套接有套筒,所述套筒的两侧均设置有浮球。本实用新型专利技术通过设置连接机构,对冷却管和U型管连接时,将推杆伸进U型管的内部便于将冷却管与U型管连接牢固稳定,同时固定杆伸进冷却管的内部,固定杆挤压弹簧块压缩,致使固定杆完全进入冷却管内部时,弹簧块进入固定杆设置的卡槽内,对固定杆进行固定,同时将冷却管U型管连接固定。同时将冷却管U型管连接固定。同时将冷却管U型管连接固定。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的冷却装置


[0001]本技术涉及冷却装置
,具体为一种真空镀膜机的冷却装置。

技术介绍

[0002]蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构

迷走结构

层状生长) 形成薄膜,对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。
[0003]目前,现有的真空镀膜机的冷却装置使用时穿在一定的弊端,长时间使用后,对冷却管进行更换时不够便捷,费时费力且效率低,且冷却液长时间使用后受热蒸发致使冷却液减少,不能够及时的对冷却装置内部进行添加冷却液,继而造成冷却装置出现故障的现象,甚至折损冷却装置的使用寿命。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于:为了解决现有技术中对冷却管更换不便和对冷却装置内部添加冷却液不便捷的问题,提供一种真空镀膜机的冷却装置。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种真空镀膜机的冷却装置,包括主体,所述主体的内部底端安装有水泵,且水泵的一侧设置有冷却箱,所述冷却箱的一侧设置有延伸至主体外侧的输送管,所述输送管的内部设置有延伸至输送管外侧的控制阀,所述冷却箱的内部顶端焊接有二号套杆,且二号套杆的外侧套接有第二套筒,所述第二套筒的两侧均设置有浮球,且第二套筒的下方位于二号套杆的外侧设置有二号弹簧开关,所述二号套杆的外侧设置与冷却箱内壁连接的一号弹簧开关,所述水泵的输出端连接管道,且管道的端部连接有冷却管,所述冷却管的端部设置有连接机构,且连接机构一端连接有U型管,所述U型管的端部设置有与连接机构连接的管道。
[0006]优选地,所述连接机构包括有与冷却管焊接的推杆,所述U型管的内部焊接有一号套杆,且一号套杆的外侧套接有与推杆连接的第一套筒,所述第一套筒的顶端一侧设置有贯穿至U型管外侧且延伸至冷却管内部的固定杆,所述固定杆的外设置有两组与U型管内壁连接的一号弹簧,所述冷却管的内部设置有与固定杆连接的弹簧块,且冷却管的内部设置有滑杆,所述滑杆的外侧套接有延伸至冷却管外侧的按压筒,所述冷却管的内部设置有与滑杆连接的旋转伸缩杆,且旋转伸缩杆通过转柱与弹簧块外壁连接,所述旋转伸缩杆与按压筒接触位置处通过转座连接。
[0007]优选地,所述输送管的端部位于主体的外侧与外界的冷却液管连接,且冷却液管通过外界的气泵提供动力将冷却液输送进冷却箱的内部。
[0008]优选地,所述主体的一侧设置有旋转门,且旋转门一端与主体锁扣连接。
[0009]优选地,所述一号弹簧开关和二号弹簧开关外侧设置有防水套,且一号弹簧开关和二号弹簧开关内部设置有两组导电片。
[0010]优选地,所述冷却管与主体内壁接触位置处通过螺栓可拆卸连接,且U 型管与主体内壁接触位置处通过螺栓可拆卸连接。
[0011]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0012]1、本技术通过设置连接机构,对冷却管和U型管连接时,将推杆伸进U型管的内部便于将冷却管与U型管连接牢固稳定,同时固定杆伸进冷却管的内部,固定杆挤压弹簧块压缩,致使固定杆完全进入冷却管内部时,弹簧块进入固定杆设置的卡槽内,对固定杆进行固定,同时将冷却管U型管连接固定,达到对冷却管和U型管连接方便的效果;
[0013]2、本技术通过设置浮球、二号套杆和弹簧开关,第二套筒挤压二号弹簧开关致使二号弹簧开关内部的两个导电片相接触,且启动控制阀开启,外界的冷却液通过输送管进入冷却箱的内部,待冷却箱内部的冷却液达到一定高度时,冷却液将浮球托起且致使套筒挤压一号弹簧开关,致使一号弹簧开关内部的两个导电片相接触,从而启动控制阀的进行关闭,阻隔外界的冷却液进入冷却箱的内部,避免冷却箱内部压力过大的现象,达到对冷却箱内部添加冷却液便捷的效果。
附图说明
[0014]图1为本技术的主视图;
[0015]图2为本技术的连接机构示意图;
[0016]图3为本技术A的局部放大图。
[0017]图中:1、主体;2、冷却箱;3、水泵;4、输送管;5、控制阀;6、冷却管;7、U型管;8、连接机构;801、推杆;802、按压筒;803、滑杆;804、弹簧块;805、旋转伸缩杆;806、一号弹簧;807、固定杆;808、第一套筒;809、一号套杆;9、浮球;10、一号弹簧开关;11、二号弹簧开关;12、第二套筒;13、二号套杆。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0019]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面根据本技术的整体结构,对其实施例进行说明。
[0020]本技术中提到的水泵(YB

307)可在市场或者私人订购所得。
[0021]请参阅图1

3,一种真空镀膜机的冷却装置,包括主体1,主体1的内部底端安装有水泵3,且水泵3的一侧设置有冷却箱2,冷却箱2的一侧设置有延伸至主体1外侧的输送管4,输送管4的内部设置有延伸至输送管4外侧的控制阀5,冷却箱2的内部顶端焊接有二号套杆13,且二号套杆13的外侧套接有第二套筒12,第二套筒12的两侧均设置有浮球9,且第二套筒12的下方位于二号套杆13的外侧设置有二号弹簧开关11,二号套杆13的外侧设置与冷却箱2内壁连接的一号弹簧开关10,水泵3的输出端连接管道,且管道的端部连接有冷却管6,冷却管6的端部设置有连接机构8,且连接机构8一端连接有U型管7,U型管7的端部设置有与连接机构8连接的管道。
[0022]请着重参阅图1和2,连接机构8包括有与冷却管6焊接的推杆801,U 型管7的内部焊接有一号套杆809,且一号套杆809的外侧套接本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的冷却装置,包括主体(1),其特征在于:所述主体(1)的内部底端安装有水泵(3),且水泵(3)的一侧设置有冷却箱(2),所述冷却箱(2)的一侧设置有延伸至主体(1)外侧的输送管(4),所述输送管(4)的内部设置有延伸至输送管(4)外侧的控制阀(5),所述冷却箱(2)的内部顶端焊接有二号套杆(13),且二号套杆(13)的外侧套接有第二套筒(12),所述第二套筒(12)的两侧均设置有浮球(9),且第二套筒(12)的下方位于二号套杆(13)的外侧设置有二号弹簧开关(11),所述二号套杆(13)的外侧设置与冷却箱(2)内壁连接的一号弹簧开关(10),所述水泵(3)的输出端连接管道,且管道的端部连接有冷却管(6),所述冷却管(6)的端部设置有连接机构(8),且连接机构(8)一端连接有U型管(7),所述U型管(7)的端部设置有与连接机构(8)连接的管道。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置,其特征在于:所述连接机构(8)包括有与冷却管(6)焊接的推杆(801),所述U型管(7)的内部焊接有一号套杆(809),且一号套杆(809)的外侧套接有与推杆(801)连接的第一套筒(808),所述第一套筒(808)的顶端一侧设置有贯穿至U型管(7)外侧且延伸至冷却管(6)内部的固定杆(807),所述固定杆(807)的外设...

【专利技术属性】
技术研发人员:康宗海
申请(专利权)人:深圳市荣凯光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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