控制电路、控制方法和半导体加工设备技术

本发明专利技术提供一种控制电路、控制方法和半导体加工设备，该控制电路中，第二开关模块用于在第一电路和端第二电路均接通时，接通被控部件的供电电源端与启动控制端之间的第三电路；在第一电路和第二电路均断开时，断开第三电路；状态保持模块用于在第一电路断开，第二电路接通时，保持第一电路处于接收端第三逻辑信号前一刻的状态。本发明专利技术提供的控制电路、控制方法和半导体加工设备，可以避免被控部件发生突然停止或者自发启动，从而可以避免被控部件因意外启停而损坏或产生安全隐患，进而可以提高被控部件的使用寿命和可靠性。高被控部件的使用寿命和可靠性。高被控部件的使用寿命和可靠性。

【技术实现步骤摘要】
控制电路、控制方法和半导体加工设备


[0001]本专利技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种控制电路、控制方法和半导体加工设备。

技术介绍

[0002]化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，以下简称CVD)方法是一种可以将物质以原子膜形式镀在晶圆表面的方法，该方法具体包括：工艺气体通入反应腔室，并在流经晶圆表面时与之发生反应，从而在晶圆表面生成所需要的薄膜。由于CVD方法会在反应腔室中产生副产物，这就需要利用真空泵不断抽取反应腔室中的副产物及剩余反应物。
[0003]现有的真空泵通常由下位机向继电器发送控制信号，具体地，当下位机向继电器发送高电平信号时，继电器的常开开关闭合，真空泵的供电电路被接通，真空泵启动；当下位机停止向控制器发出上述高电平信号时，继电器的常开开关断开，真空泵的供电电路断开，真空泵停止。但是，当下位机发生掉电、软件重新启动或者通讯断连等意外情况时，下位机会停止发出上述高电平信号，导致真空泵立即停止，这使得真空泵中滞留的副产物及剩余反应物冷凝成粉尘，并附着在泵内部，从而导致真空泵转子损伤，而且，当粉尘累积到一定量时，真空泵会被卡死。
[0004]还有一种真空泵的控制方法是由下位机向继电器发送高电平信号时，继电器的常闭开关断开，真空泵的供电电路断开，真空泵停止。而在继电器未接收到该高电平信号时，继电器的常闭开关闭合，真空泵的供电电路闭合，真空泵开启。但是，当下位机发生掉电、软件重新启动或者通讯断连等意外情况时，下位机同样会停止发出上述高电平信号，导致真空泵自行启动，从而带来安全隐患。

技术实现思路

[0005]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种控制电路、控制方法和半导体加工设备，其可以避免被控部件发生突然停止或者自发启动，从而可以避免被控部件因意外启停而损坏或产生安全隐患，进而可以提高被控部件的使用寿命和可靠性。
[0006]为实现本专利技术的目的而提供一种控制电路，用于控制半导体加工设备中的被控部件启停，包括开关控制模块、第一开关模块、第二开关模块和状态保持模块，其中，
[0007]所述开关控制模块用于在接收第一控制信号时，向所述第一开关模块输出第一逻辑信号；在接收第二控制信号时，向所述第一开关模块输出第二逻辑信号；在接收异常信号时，向所述第一开关模块输出第三逻辑信号；
[0008]所述第二开关模块的第一端和所述状态保持模块的第一端均通过第一电路与电源正极端连接，所述第二开关模块的第二端和所述状态保持模块的第二端均与电源负极端连接；所述状态保持模块的第三端通过第二电路与所述电源负极端连接；所述状态保持模块的第四端与所述电源正极端连接；
[0009]所述第一开关模块用于在接收所述第一逻辑信号时，接通所述第一电路和所述第二电路；在接收所述第二逻辑信号时，断开所述第一电路和所述第二电路；在接收所述第三逻辑信号时，断开所述第一电路，接通所述第二电路；
[0010]所述第二开关模块用于在所述第一电路和所述第二电路均接通时，接通所述被控部件的供电电源端与启动控制端之间的第三电路；在所述第一电路和所述第二电路均断开时，断开所述第三电路；
[0011]所述状态保持模块用于在所述第一电路断开，所述第二电路接通时，保持所述第一电路处于接收所述第三逻辑信号前一刻的状态。
[0012]可选的，所述第一开关模块包括第一开关单元和第二开关单元；
[0013]所述开关控制模块用于在接收所述第一控制信号时，分别向所述第一开关单元和第二开关单元输出高电平信号和低电平信号，作为所述第一逻辑信号；在接收所述第二控制信号时，分别向所述第一开关单元和第二开关单元输出低电平信号和高电平信号，作为所述第二逻辑信号；在接收所述异常信号时，向所述第一开关单元和第二开关单元均输出低电平信号，作为所述第三逻辑信号；
[0014]所述第一开关单元和第二开关单元在分别接收所述高电平信号和所述低电平信号时，接通所述第一电路和第二电路；所述第一开关单元和第二开关单元在分别接收所述低电平信号和所述高电平信号时，断开所述第一电路和第二电路；所述第一开关单元和第二开关单元在均接收所述低电平信号时，所述第一开关单元断开所述第一电路，所述第二开关单元接通所述第二电路。
[0015]可选的，所述第一开关单元包括第一继电器，所述第一继电器包括两个电压端和第一开关；所述第二开关单元包括第二继电器，所述第二继电器包括两个电压端和第二开关；其中，
[0016]所述第一开关的第一端与所述电源正极端连接，所述第一开关的第二端与所述第二开关的第一端连接，所述第二开关的第二端与所述第二开关模块的第一端连接；
[0017]所述第一继电器的两个电压端和所述第二继电器的两个电压端在分别接收所述高电平信号和所述低电平信号时，所述第一开关和所述第二开关均闭合，以接通所述第一电路和第二电路；所述第一继电器的两个电压端和所述第二继电器的两个电压端在分别接收所述低电平信号和所述高电平信号时，所述第一开关和所述第二开关均断开，以断开所述第一电路和第二电路；所述第一继电器的两个电压端和所述第二继电器的两个电压端在均接收所述低电平信号时，所述第一开关断开，以断开所述第一电路，所述第二开关闭合，以接通所述第二电路。
[0018]可选的，所述第一开关为常开开关；所述第二开关为常闭开关。
[0019]可选的，所述第二开关模块和所述状态保持模块由第三继电器构成，所述第三继电器包括两个电压端、第三开关和第四开关；其中，
[0020]所述第三继电器的其中一个电压端用作所述第二开关模块的第一端和所述状态保持模块的第一端；所述第三继电器的其中另一个电压端用作所述第二开关模块的第二端和所述状态保持模块的第二端；
[0021]所述第三开关的第一端与所述供电电源端连接，所述第三开关的第二端与所述启动控制端连接；
[0022]所述第四开关的第一端用作所述状态保持模块的第三端，与所述第一开关的第二端和所述第二开关的第一端连接；所述第四开关的第二端用作所述状态保持模块的第四端，与所述电源正极端连接；
[0023]在所述第一电路和第二电路均接通时，所述第三开关和所述第四开关均闭合；在所述第一电路和第二电路均断开时，所述第三开关和所述第四开关均断开；在所述第一电路断开，所述第二电路接通时，所述第四开关处于接收所述第三逻辑信号前一刻的状态。
[0024]可选的，所述第二开关模块包括第三继电器，所述第三继电器包括两个电压端和第三开关；所述状态保持模块包括第四继电器，所述第四继电器包括两个电压端和第四开关；其中，
[0025]所述第三继电器的两个电压端分别用作所述第二开关模块的所述第一端和所述第二端；所述第三开关的第一端与所述供电电源端连接，所述第三开关的第二端与所述启动控制端连接；所述第四继电器的两个电压端分别用作所述状态保持模块的所述第一端和所述第二端；所述第四开关的第一端用作所述状态保持模块的第三端，与所述第一开关的第二端和所述第二开关的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种控制电路，用于控制半导体加工设备中的被控部件启停，其特征在于，包括开关控制模块、第一开关模块、第二开关模块和状态保持模块，其中，所述开关控制模块用于在接收第一控制信号时，向所述第一开关模块输出第一逻辑信号；在接收第二控制信号时，向所述第一开关模块输出第二逻辑信号；在接收异常信号时，向所述第一开关模块输出第三逻辑信号；所述第二开关模块的第一端和所述状态保持模块的第一端均通过第一电路与电源正极端连接，所述第二开关模块的第二端和所述状态保持模块的第二端均与电源负极端连接；所述状态保持模块的第三端通过第二电路与所述电源负极端连接；所述状态保持模块的第四端与所述电源正极端连接；所述第一开关模块用于在接收所述第一逻辑信号时，接通所述第一电路和所述第二电路；在接收所述第二逻辑信号时，断开所述第一电路和所述第二电路；在接收所述第三逻辑信号时，断开所述第一电路，接通所述第二电路；所述第二开关模块用于在所述第一电路和所述第二电路均接通时，接通所述被控部件的供电电源端与启动控制端之间的第三电路；在所述第一电路和所述第二电路均断开时，断开所述第三电路；所述状态保持模块用于在所述第一电路断开，所述第二电路接通时，保持所述第一电路处于接收所述第三逻辑信号前一刻的状态。2.根据权利要求1所述的控制电路，其特征在于，所述第一开关模块包括第一开关单元和第二开关单元；所述开关控制模块用于在接收所述第一控制信号时，分别向所述第一开关单元和第二开关单元输出高电平信号和低电平信号，作为所述第一逻辑信号；在接收所述第二控制信号时，分别向所述第一开关单元和第二开关单元输出低电平信号和高电平信号，作为所述第二逻辑信号；在接收所述异常信号时，向所述第一开关单元和第二开关单元均输出低电平信号，作为所述第三逻辑信号；所述第一开关单元和第二开关单元在分别接收所述高电平信号和所述低电平信号时，接通所述第一电路和第二电路；所述第一开关单元和第二开关单元在分别接收所述低电平信号和所述高电平信号时，断开所述第一电路和第二电路；所述第一开关单元和第二开关单元在均接收所述低电平信号时，所述第一开关单元断开所述第一电路，所述第二开关单元接通所述第二电路。3.根据权利要求2所述的控制电路，其特征在于，所述第一开关单元包括第一继电器，所述第一继电器包括两个电压端和第一开关；所述第二开关单元包括第二继电器，所述第二继电器包括两个电压端和第二开关；其中，所述第一开关的第一端与所述电源正极端连接，所述第一开关的第二端与所述第二开关的第一端连接，所述第二开关的第二端与所述第二开关模块的第一端连接；所述第一继电器的两个电压端和所述第二继电器的两个电压端在分别接收所述高电平信号和所述低电平信号时，所述第一开关和所述第二开关均闭合，以接通所述第一电路和第二电路；所述第一继电器的两个电压端和所述第二继电器的两个电压端在分别接收所述低电平信号和所述高电平信号时，所述第一开关和所述第二开关均断开，以断开所述第一电路和第二电路；所述第一继电器的两个电压端和所述第二继电器的两个电压端在均接
收所述低电平信号时，所述第一开关断开，以断开所述第一电路，所述第二开关闭合，以接通所述第二电路。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘畅，文莉辉，荣延栋，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：