半导体工艺中的智能图像跟踪系统技术方案

本发明专利技术涉及一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统。本发明专利技术包括：图像捕获单元，其包括布置在半导体装置的多个点处的相机，以捕获由半导体装置执行的对对象进行的处理过程；装置控制器，其被配置为控制半导体装置的操作并发送作为用于识别对象的信息的对象识别信息、对象的映射到时间信息的位置信息、以及指示半导体装置的当前操作状态的操作状态信息；以及网络图像记录设备，其被配置为执行控制以将相机识别信息添加到从图像捕获单元接收到的图像信息中并将添加有相机识别信息的图像信息存储在图像数据库中，并且被配置为执行控制以将从装置控制器接收到的包括对象识别信息、对象的映射到时间信息的位置信息以及操作状态信息的跟踪信息存储到跟踪数据库中，相机识别信息用于识别捕获图像信息的相机。本发明专利技术可以为用户提供支持，使得用户能够跟踪从作为半导体工艺的处理对象的晶片、批量等投入到子装置中直到完成半导体工艺为止的整个过程。到完成半导体工艺为止的整个过程。到完成半导体工艺为止的整个过程。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体工艺中的智能图像跟踪系统


[0001]本专利技术涉及一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统，更具体地，涉及一种支持用户能够跟踪从作为半导体工艺的处理对象的晶片、批次等投入到构成半导体装置的子装置中直到半导体工艺完成为止的整个工艺的半导体工艺中的智能图像跟踪系统。

技术介绍

[0002]通常，半导体工艺以连续执行子工艺的方式进行，并且半导体装置可以说是用于构成整个半导体工艺的子工艺的装置的集合。
[0003]由于半导体工艺是多个子工艺的集合，因此有必要与工艺管理相关联地跟踪在整个半导体工艺中的哪个步骤中处理特定晶片或容纳该晶片的批次。
[0004]根据与半导体工艺管理相关联的现有的图像记录方法，在可以捕获构成整个半导体装置的子装置的处理操作的位置处设置多个相机，并且由相机捕获的图像可以仅与相机的ID匹配而进行存储。
[0005]然而，根据现有技术，当用户想要查询作为半导体工艺的对象的特定晶片的当前状态时，如果在多个相机中输入特定相机的ID，则由于图像记录装置只是向用户显示由相应相机捕获的个别图像，因此存在用户无法检查整个半导体工艺的问题。即，根据现有技术，图像记录装置将由设置在特定位置的相机捕获的图像记录为个别图像，因此，用户难以跟踪从作为半导体工艺对象的晶片、批次等投入到构成半导体装置的子装置中直到半导体工艺完成为止的整个工艺。
[0006][现有技术文献][0007][专利文献][0008](专利文献0001)韩国授权专利第10
‑
1619097号(授权日期：2016年5月2日，专利技术名称“半导体制造工艺中的过程监控系统”)
[0009](专利文献0002)韩国专利公开第10
‑
2005
‑
0048121号(公开日期：2005年5月24日，专利技术名称“蚀刻装置的监控系统及其监控方法”)

技术实现思路

[0010]技术问题
[0011]本专利技术旨在提供一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统，其允许用户能够跟踪从作为半导体工艺的处理对象的晶片、批次等投入到构成半导体装置的子装置中直到半导体工艺完成为止的整个工艺。
[0012]解决方案
[0013]为了解决上述技术问题，根据本专利技术的半导体工艺中的智能图像跟踪系统包括：图像捕获单元，其包括布置在半导体装置的多个点处的相机，以捕获由半导体装置执行的对对象进行的处理过程；装置控制器，其被配置为控制半导体装置的操作并发送对象识别信息、对象的映射到时间信息的位置信息、以及指示半导体装置的当前操作状态的操作状
态信息，其中所述对象识别信息为用于识别所述对象的信息；以及网络图像记录设备，其被配置为执行控制以将相机识别信息添加到从图像捕获单元接收到的图像信息中并将添加有相机识别信息的图像信息存储在图像数据库中，并且被配置为执行控制以将从装置控制器接收到的包括对象识别信息、对象的映射到时间信息的位置信息以及操作状态信息的跟踪信息存储到跟踪数据库中，其中，相机识别信息用于识别捕获图像信息的相机。
[0014]在根据本专利技术的半导体工艺中的智能图像跟踪系统中，网络图像记录设备的特征在于执行控制，以通过根据用户输入的搜索条件将存储在跟踪数据库中的跟踪信息与存储在图像数据库中的添加有相机识别信息的图像信息进行匹配，将由半导体装置执行的对对象进行的处理过程显示为连续的图像。
[0015]在根据本专利技术的半导体工艺中的智能图像跟踪系统中，网络图像记录设备的特征在于，将对象识别信息配置为根节点，将对象移动的路径上的起点和终点配置为子节点，并将跟踪信息以树形结构存储在跟踪数据库中。
[0016]在根据本专利技术的半导体工艺中的智能图像跟踪系统中，网络图像记录设备的特征在于，当多个相机负责捕获配置为子节点的起点或终点时，根据操作状态信息选择多个相机中的一个。
[0017]在根据本专利技术的半导体工艺中的智能图像跟踪系统中，当半导体装置为多个并且负责半导体装置的装置控制器和网络图像记录设备具有与半导体装置的数量相对应的数量时，智能图像跟踪系统还包括：被配置为管理网络图像记录设备的中央管理设备，并且中央管理设备的特征在于，响应于来自远程位置的用户终端的请求而执行控制，以将由多个网络图像记录设备中的、由用户终端指定的网络图像记录设备提供的图像显示到用户终端。
[0018]有益效果
[0019]根据本专利技术，可以提供半导体工艺中的智能图像跟踪系统，其允许用户能够跟踪从作为半导体工艺的处理对象的晶片、批次等投入到构成半导体装置的子装置中直到半导体工艺完成为止的整个工艺。
附图说明
[0020]图1是示出根据本专利技术的一个实施例的半导体工艺中的智能图像跟踪系统的图。
[0021]图2是示出根据本专利技术的一个实施例的变形实施例的半导体工艺中的智能图像跟踪系统的图。
[0022]图3是示例性示出根据本专利技术的一个实施例的半导体工艺中的智能图像跟踪系统的操作的图。
[0023]图4是示出可应用于本专利技术的一个实施例的示例性树形结构的图。
[0024]图5是示例性示出根据本专利技术的一个实施例的使用树形结构搜索相机图像的方法的图。
具体实施方式
[0025]仅出于描述根据本专利技术构思的实施例的目的而示出了本文公开的根据本专利技术构思的实施例的具体结构或功能描述，并且，根据本专利技术构思的实施例可以以各种形式来实
现，并不限于在此描述的实施例。
[0026]由于根据本专利技术构思的实施例可以以各种方式改变并且可以具有各种形式，因此在附图中示出了实施例并且在此对其进行了详细描述。然而，并不旨在将根据本专利技术构思的实施例限制为所公开的特定形式，而是覆盖落入本专利技术的专利技术构思和技术范围内的所有修改、等同形式和替代形式。
[0027]诸如“第一”或“第二”之类的术语可以用于描述各种元件，但是这些元件不受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件与另一元件区分开，例如，在不脱离根据本专利技术构思的范围的情况下，第一元件可以被称为第二元件，并且类似地，第二元件可以被称为第一元件。
[0028]当提到某个元件“联接到”另一元件或“连接到”另一元件时，应当理解，该特定元件可以直接联接或连接到另一元件，或者在它们之间可能存在其他元件。相反，当一个元件被称为“直接连接”或“直接联接”至另一个元件时，则在它们之间不存在其他元件。此外，应当以相同的方式来解释描述元件之间的关系的其他表述(例如，“在...之间”与“直接在...之间”、“与
…
相邻”与“与
…
直接相邻”等)。
[0029]本文所使用的术语仅是为了解释本专利技术的实施方式而提出的，并且本专利技术的范围不限于此。如本文所使用的，单数形式也意图包括复数形式，除非上下文另外明确指出。应当进一步理解的是，如本文所使用的，术语“包含”、“包括”或“具有”指定说明书中所陈述的特征、数字、步骤、操作、元件、组件或其组合的存在，但不排除存在或添加一个或多个其他特征、数字、步骤、操作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统，所述智能图像跟踪系统包括：图像捕获单元，其包括布置在半导体装置的多个点处的相机，以捕获由所述半导体装置执行的对对象进行的处理过程；装置控制器，其被配置为控制所述半导体装置的操作并发送对象识别信息、所述对象的映射到时间信息的位置信息、以及指示所述半导体装置的当前操作状态的操作状态信息，其中所述对象识别信息是用于识别所述对象的信息；以及网络图像记录设备，其被配置为执行控制以将相机识别信息添加到从所述图像捕获单元接收到的图像信息中并将添加有所述相机识别信息的所述图像信息存储在图像数据库中，并且被配置为执行控制以将从所述装置控制器接收到的包括所述对象识别信息、所述对象的映射到所述时间信息的位置信息以及所述操作状态信息的跟踪信息存储到跟踪数据库中，其中，所述相机识别信息用于识别捕获所述图像信息的相机。2.根据权利要求1所述的半导体工艺中的智能图像跟踪系统，其中，所述网络图像记录设备被配置为执行控制，以通过根据用户输入的搜索条件将存储在所述跟踪数据库中的所述跟踪信息与存储在所述图像数据库中的添加有...

【专利技术属性】
技术研发人员：裵允晟，裵坰洙，洪光珍，李秀昌，金珉成，李昌雨，
申请(专利权)人：格林资讯及通信有限公司，
类型：发明
国别省市：