本发明专利技术属于光刻技术领域，具体公开了一种垂向交接装置及光刻系统。垂向交接装置包括基座，其上设置有垂向导向件；驱动电机，其设置在所述基座上；曲柄滑块机构，其包括曲柄及滑块，所述驱动电机的输出轴与所述曲柄连接，所述滑块与所述垂向导向件滑动连接，且所述曲柄的转动能带动所述滑块相对所述垂向导向件竖直升降；吸盘，其与所述滑块的上端连接。光刻系统包括上述的垂向交接装置。本发明专利技术提供的垂向交接装置及光刻系统，能够简化垂向交接装置及光刻系统的结构，降低垂向交接装置的成本，减小垂向交接装置的占地空间。向交接装置的占地空间。向交接装置的占地空间。
【技术实现步骤摘要】
一种垂向交接装置及光刻系统
[0001]本专利技术涉及光刻
，尤其涉及一种垂向交接装置及光刻系统。
技术介绍
[0002]光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂将掩膜版上的图形转移到硅片等基片上的技术。在光刻的过程中，存在对基底的垂直交接过程，以使基底从光刻系统中的一个设备转移至另一设备中，对基底进行处理，如在光刻开始前，需采用垂向交接机构将基底从机械手交接至曝光台上，在光刻结束后，需采用另一垂向交接机构将基底从机械手交接至水冷盘中进行冷却。
[0003]现有技术提供的垂向交接机构常采用如下结构进行垂向驱动：电机配合丝杠螺母机构，该种机构存在反向间隙弹性变形大、精度低的问题，且由于电机与丝杠螺母运动方向一致，导致高度方向占用空间大；Z向直线电机，由于自身不存在断电保持功能，需另外增加气浮实现Z轴垂直度，成本较高，不易维护；气动升降机构，存在结构复杂、占地空间大、成本较高的问题。
[0004]因此，亟需一种精度高、成本低、占地空间小及结构简单的垂向交接装置。
技术实现思路
[0005]本专利技术的一个目的在于提供一种垂向交接装置，在保证垂向运动精度的同时，降低垂向交接装置的成本，减小垂向交接装置的占地空间。
[0006]本专利技术的另一目的在于提供一种光刻系统，减小光刻系统的成本，简化光刻系统的结构，减小光刻系统的体积。
[0007]为实现上述目的，本专利技术采用下述技术方案：
[0008]一种垂向交接装置，包括：
[0009]基座，其上设置有垂向导向件；
[0010]驱动电机，其设置在所述基座上；
[0011]曲柄滑块机构，其包括曲柄及滑块，所述驱动电机的输出轴与所述曲柄连接，所述滑块与所述垂向导向件滑动连接，且所述曲柄的转动能带动所述滑块相对所述垂向导向件竖直升降；
[0012]吸盘，其与所述滑块的上端连接。
[0013]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，所述曲柄滑块机构还包括连杆，所述连杆的一端与所述曲柄铰接，所述连杆的另一端与所述滑块铰接，且所述连杆与所述曲柄的铰接位置偏离所述曲柄与所述输出轴的连接位置。
[0014]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，所述曲柄上设置有第一转轴和第二转轴，所述第一转轴和所述第二转轴同轴设置在所述曲柄的两侧，且所述第一转轴与所述输出轴连接。
[0015]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，所述垂向交接装置还包括：
[0016]上到位检测装置，其相对所述基座固定，用于检测所述垂向交接装置是否到达或靠近上交接位置；
[0017]下到位检测装置，其相对所述基座固定，用于检测所述垂向交接装置是否到达或靠近下交接位置；
[0018]控制器，所述驱动电机、所述上到位检测装置及所述下到位检测装置均与所述控制器连接。
[0019]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，所述垂向交接装置还包括：
[0020]机械限位组件，用于限制所述曲柄的转动角度。
[0021]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，所述机械限位组件包括：
[0022]第一限位块，相对所述基座固定，当所述垂向交接装置运行至所述上交接位置时，所述第一限位块与所述曲柄接触并限制所述曲柄继续转动；
[0023]第二限位块，其相对所述基座固定，当所述垂向交接装置运行至所述下交接位置时，所述第二限位块与所曲柄接触并限制所述曲柄继续转动。
[0024]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，所述第一限位块及所述第二限位块朝向所述曲柄的一面为圆弧面，且所述第一限位块及所述第二限位块与所述曲柄的接触为点接触。
[0025]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，所述垂向交接装置还包括气源组件，所述气源组件包括：
[0026]气源，所述气源设置在所述垂向交接装置的非运动区域；
[0027]第一管接头，设置在所述吸盘处；
[0028]第二管接头，设置在所述气源处；
[0029]连接管路，其设置在所述第一管接头及所述第二管接头之间。
[0030]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，所述气源组件还包括第三管接头，所述第三管接头设置在所述滑块远离所述曲柄的一侧；
[0031]所述连接管路包括第一连接管路和第二连接管路，所述第一连接管路的两端分别与所述第一管接头及所述第三管接头连接，所述第二连接管路的两端分别与所述第二管接头及所述第三管接头连接。
[0032]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，所述第一管接头设置在所述吸盘远离所述曲柄及所述垂向导向件的一侧，所述第二管接头高出所述曲柄预设高度，所述连接管路的长度大于所述第一管接头及所述第二管接头之间的直线距离。
[0033]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，所述第一管接头沿其轴向开设有气路，所述第一管接头沿其轴向开设有气路，所述第一管接头包括沿其轴向设置的第一段及第二段，所述第一段的外周面上开设有连接螺纹，所述第一段的外径大于所述第二段的外径，所述第二段呈圆台形，所述圆台形的大端朝向所述第一段，且所述圆台形的大端外径大于所述连接管路的管径，所述圆台形的小端外径大于所述连接管路的管径；
[0034]所述第一管接头设置在所述滑块及所述吸盘之间，且所述连接螺纹分别与所述滑块及所述吸盘螺纹连接，所述第二段伸出所述滑块外且与所述连接管路连接。
[0035]螺纹连接，所述第二段伸出所述滑块外且与所述连接管路连接。
[0036]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，在垂向交接装置的上交接位置和/或下
交接位置，所述曲柄的传动角为0。
[0037]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，所述垂向交接装置还包括：
[0038]保护壳体，所述曲柄滑块机构及所述驱动电机均设置在所述保护壳体内，所述吸盘伸出所述保护壳体外部。
[0039]作为一种垂向交接装置的优选技术方案，所述垂向交接装置还包括：
[0040]集成到位检测装置，用于检测所述垂向交接装置是否集成至光刻系统中。
[0041]一种光刻系统，包括如上所述的垂向交接装置。
[0042]本专利技术的有益效果在于：
[0043]本专利技术提供的垂向交接装置，通过采用驱动电机配合曲柄滑块机构的方式带动吸盘进行竖直升降运动，由于驱动电机的输出轴沿水平方向设置，可以在保证垂向运动行程的前提下，缩小垂向交接装置在Z方向尺寸，从而减小垂向交接装置在Z向上的占地空间，有利于垂向交接装置在光刻系统中的布置；同时，曲柄滑块的传动精度高，不存在反向间隙；整体结构简单，成本较低。
[0044]本专利技术提供的光刻系统，通过采用上述的垂向交接装置，能够减小光刻系统的尺寸，降低光刻系统的设置成本。
附图说明
[0045]图1是本专利技术实施例一中提供的垂向交接装置的主视图；
[0046]图2是本专利技术实施例一中提供的垂向交接装置在上交接位置时的侧视图；
[0047]图3是本专利技术实施例一中提供的垂向交本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种垂向交接装置，其特征在于，包括：基座，其上设置有垂向导向件(8)；驱动电机(1)，其设置在所述基座上；曲柄滑块机构(2)，其包括曲柄(21)及滑块(22)，所述驱动电机(1)的输出轴与所述曲柄(21)连接，所述滑块(22)与所述垂向导向件(8)滑动连接，且所述曲柄(21)的转动能带动所述滑块(22)相对所述垂向导向件(8)竖直升降；吸盘(3)，其与所述滑块(22)的上端连接。2.根据权利要求1所述的垂向交接装置，其特征在于，所述曲柄滑块机构(2)还包括连杆(23)，所述连杆(23)的一端与所述曲柄(21)铰接，所述连杆(23)的另一端与所述滑块(22)铰接，且所述连杆(23)与所述曲柄(21)的铰接位置偏离所述曲柄(21)与所述输出轴的连接位置。3.根据权利要求1或2所述的垂向交接装置，其特征在于，所述曲柄(21)上设置有第一转轴(24)和第二转轴(25)，所述第一转轴(24)和所述第二转轴(25)同轴设置在所述曲柄(21)的两侧，且所述第一转轴(24)与所述输出轴连接。4.根据权利要求1或2所述的垂向交接装置，其特征在于，所述垂向交接装置(10)还包括：上到位检测装置(41)，其相对所述基座固定，用于检测所述垂向交接装置(10)是否到达或靠近上交接位置；下到位检测装置(42)，其相对所述基座固定，用于检测所述垂向交接装置(10)是否到达或靠近下交接位置；控制器，所述驱动电机(1)、所述上到位检测装置(41)及所述下到位检测装置(42)均与所述控制器连接。5.根据权利要求4所述的垂向交接装置，其特征在于，所述垂向交接装置(10)还包括：机械限位组件，用于限制所述曲柄(21)的转动角度。6.根据权利要求5所述的垂向交接装置，其特征在于，所述机械限位组件包括：第一限位块(43)，相对所述基座固定，当所述垂向交接装置(10)运行至所述上交接位置时，所述第一限位块(43)与所述曲柄(21)接触并限制所述曲柄(21)继续转动；第二限位块(44)，其相对所述基座固定，当所述垂向交接装置(10)运行至所述下交接位置时，所述第二限位块(44)与所曲柄(21)接触并限制所述曲柄(21)继续转动。7.根据权利要求6所述的垂向交接装置，其特征在于，所述第一限位块(43)及所述第二限位块(44)朝向所述曲柄(21)的一面为圆弧面，且所述第一限位块(43)及所述第二限位块(44)与所述曲柄(21)的接触为点接触。8.根据权利要求1所述的垂向交接装置，其特征在于，所述垂向交接装置(10)还包括气源组件，所述气源组件包括：气源，所述气源设置在所述垂向交接装置(10)的非运动区域(102)；第一管接头(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐腾肖，朱正平，姜杰，李冰，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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