一种芯片晶圆加工用切割装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种芯片晶圆加工用切割装置，包括装置主体，所述装置主体的上端设置有激光切割装置，所述装置主体的两侧设置有散热窗，所述装置主体的下端设置有支撑脚，所述装置主体的上表面设置有漏口，所述激光切割装置的下端设置有固定装置，所述装置主体的外表面设置有显示屏，所述显示屏的下侧设置有控制按钮，所述装置主体的下表面设置有储物箱，所述储物箱的内部设置有储屑箱，所述储屑箱的外表面设置有拉手。本实用新型专利技术的一种芯片晶圆加工用切割装置，具有固定芯片晶圆的优点，提高了切割效果，同时具有清洁的功能，保持装置的整洁，提高了装置的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片晶圆加工用切割装置
本技术涉及切割装置结构领域，特别涉及一种芯片晶圆加工用切割装置。
技术介绍
芯片晶圆加工用切割装置，即是利用激光对芯片晶圆按需求进行剪切，现有的公开专利CN109920759A中的切割装置，在使用中具有缺陷，芯片晶圆直接放置在切割区域，固定效果较差，在切割过程中，芯片晶圆存在移动的情况，影响切割质量，同时不具有清洁的功能，切割产生的碎屑，易落入到装置内各个零件的内部，影响正常工作，为此，我们提出一种芯片晶圆加工用切割装置。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种芯片晶圆加工用切割装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种芯片晶圆加工用切割装置，包括装置主体，所述装置主体的上端设置有激光切割装置，所述装置主体的两侧设置有散热窗，所述装置主体的下端设置有支撑脚，所述装置主体的上表面设置有漏口，所述激光切割装置的下端设置有固定装置，所述装置主体的外表面设置有显示屏，所述显示屏的下侧设置有控制按钮，所述装置主体的下表面设置有储物箱，所述储物箱的内部设置有储屑箱，所述储屑箱的外表面设置有拉手。优选的，所述散热窗的数量为两组，所述散热窗对称分布于装置主体的两侧，所述散热窗与装置主体之间为固定连接，所述激光切割装置与装置主体之间为活动连接，所述固定装置与装置主体之间为固定连接。通过采用上述技术方案，可达到如下技术效果：实现激光切割的作用。优选的，所述显示屏的数量为两组，所述显示屏与装置主体之间为固定连接，所述控制按钮的数量为若干组，所述控制按钮均匀分布于显示屏的下端，所述控制按钮与装置主体之间为活动连接，所述控制按钮与显示屏之间为电性连接。通过采用上述技术方案，可达到如下技术效果：实现实时控制操作的作用。优选的，所述储物箱与装置主体之间为固定连接，所述储屑箱与储物箱之间为活动连接，所述漏口贯穿于装置主体上表面，所述储物箱的内部设置有风机，所述风机与储物箱之间为固定连接，所述装置主体的侧边内表面设置有吸气孔，所述吸气孔的数量为若干组，所述吸气孔与风机之间设置有通风管，且通过通风管实现固定连接，所述吸气孔的外侧设置有过滤网，所述过滤网与装置主体之间为固定连接。通过采用上述技术方案，可达到如下技术效果：实现清理碎屑的作用，保持装置的整洁。优选的，所述固定装置的两侧设置有蜗杆，所述蜗杆的数量为两组，所述蜗杆对称分布于固定装置的两侧，所述蜗杆与固定装置之间为活动连接，所述蜗杆的外端设置有电机，所述电机的数量为两组，所述电机对称分布于装置主体的两侧，所述电机与装置主体之间为固定连接，所述电机的前端设置有齿轮，所述齿轮的数量为两组，所述齿轮与电机之间为固定连接，所述齿轮与蜗杆之间为活动连接。通过采用上述技术方案，可达到如下技术效果：实现对蜗杆的伸缩作用。优选的，所述固定装置的内部设置有夹板，所述夹板的数量为两组，所述夹板对称分布于固定装置的内部两侧，所述夹板的外表面设置有轴承，所述轴承的数量为两组，所述轴承与夹板之间为活动连接，所述蜗杆与轴承之间为活动连接，所述夹板的内侧设置有橡胶条，所述橡胶条的数量为两组，所述橡胶条的材质为三元乙丙材料，所述橡胶条与夹板之间为固定连接，所述固定装置的内部设置有置物板，所述置物板的下端设置有伸缩杆，所述伸缩杆的数量为两组，所述伸缩杆与控制按钮之间为电性连接，所述伸缩杆与固定装置之间为活动连接，所述伸缩杆与置物板之间为固定连接。通过采用上述技术方案，可达到如下技术效果：实现对芯片晶圆的固定作用。优选的，所述支撑脚的数量为若干组，所述支撑脚均匀分布于装置主体的下端，所述支撑脚的下端设置有橡胶套，所述橡胶套的材质为三元乙丙材料，所述橡胶套的数量与支撑脚的数量一致。通过采用上述技术方案，可达到如下技术效果：实现支撑起整个装置的作用。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：该芯片晶圆加工用切割装置，通过设置有置物板、伸缩杆、电机、蜗杆及夹板等作用，具有固定芯片晶圆的优点，将芯片晶圆放置到置物板后，伸缩杆向下缩进，从而将芯片晶圆降到固定装置内部，装置主体两侧的电机开始转动，驱动两片夹板向内运动，夹住芯片晶圆，从而避免在切割过程中，芯片晶圆出现移动，影响切割效果，完成切割后，电机反向运转，两片夹板向外移动，松开芯片晶圆，伸缩杆向上伸出，将芯片晶圆升至固定装置表面，即可取下，同时该芯片晶圆加工用切割装置，通过设置有风机、漏口、过滤网及储屑箱等作用，具有清洁的优点，在完成切割后，风机开始工作，吸气孔向内吸气，固定装置附近及置物板上的碎屑向吸气孔方向运动，经过漏口时，掉落进储屑箱，过滤网防止碎屑进入吸气孔，从而保持装置的整洁，避免碎屑进入装置零件内部，影响正常工作。附图说明图1为本技术一种芯片晶圆加工用切割装置的整体结构示意图；图2为本技术一种芯片晶圆加工用切割装置的侧剖视图；图3为本技术一种芯片晶圆加工用切割装置的局部剖视图；图4为本技术一种芯片晶圆加工用切割装置的俯剖视图。图中：1、装置主体；2、支撑脚；3、散热窗；4、固定装置；5、激光切割装置；6、显示屏；7、控制按钮；8、储屑箱；9、拉手；10、储物箱；11、漏口；12、风机；13、通风管；14、过滤网；15、蜗杆；16、电机；17、齿轮；18、夹板；19、橡胶条；20、伸缩杆；21、置物板；22、橡胶套；23、吸气孔；24、轴承。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。实施例一：如图1所示，一种芯片晶圆加工用切割装置，包括装置主体1，装置主体1的上端设置有激光切割装置5，装置主体1的两侧设置有散热窗3，装置主体1的下端设置有支撑脚2，装置主体1的上表面设置有漏口11，激光切割装置5的下端设置有固定装置4，固定住芯片晶圆，防止在切割过程中芯片晶圆移动，装置主体1的外表面设置有显示屏6，显示屏6的下侧设置有控制按钮7，装置主体1的下表面设置有储物箱10，储物箱10的内部设置有储屑箱8，储屑箱8的外表面设置有拉手9，便于储屑箱8的拉出，倒出碎屑。散热窗3的数量为两组，散热窗3对称分布于装置主体1的两侧，对装置主体1内部进行散热，激光切割装置5与装置主体1之间为活动连接，采用激光切割具有较好的切割效果，切割面较光滑。显示屏6的数量为两组，实时显示工作参数，控制按钮7的数量为若干组，控制按钮7均匀分布于显示屏6的下端，控制按钮7与显示屏6之间为电性连接，控制切割过程。支撑脚2的数量为若干组，支撑脚2均匀分布于装置主体1的下端，支撑起整个装置，支撑脚2的下端设置有橡胶套22，增加与地面的摩擦，橡胶套22的材质为三元乙丙材料，橡胶套22的数量与支撑脚2的数量一致。实施例二：在实施例一的基础之上，如图2-4所示，储屑箱8活动安装于储物箱10内部，漏口11贯穿于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片晶圆加工用切割装置，包括装置主体（1），其特征在于：所述装置主体（1）的上端设置有激光切割装置（5），所述装置主体（1）的两侧设置有散热窗（3），所述装置主体（1）的下端设置有支撑脚（2），所述装置主体（1）的上表面设置有漏口（11），所述激光切割装置（5）的下端设置有固定装置（4），所述装置主体（1）的外表面设置有显示屏（6），所述显示屏（6）的下侧设置有控制按钮（7），所述装置主体（1）的下表面设置有储物箱（10），所述储物箱（10）的内部设置有储屑箱（8），所述储屑箱（8）的外表面设置有拉手（9）。/n

【技术特征摘要】
1.一种芯片晶圆加工用切割装置，包括装置主体（1），其特征在于：所述装置主体（1）的上端设置有激光切割装置（5），所述装置主体（1）的两侧设置有散热窗（3），所述装置主体（1）的下端设置有支撑脚（2），所述装置主体（1）的上表面设置有漏口（11），所述激光切割装置（5）的下端设置有固定装置（4），所述装置主体（1）的外表面设置有显示屏（6），所述显示屏（6）的下侧设置有控制按钮（7），所述装置主体（1）的下表面设置有储物箱（10），所述储物箱（10）的内部设置有储屑箱（8），所述储屑箱（8）的外表面设置有拉手（9）。


2.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用切割装置，其特征在于：所述散热窗（3）的数量为两组，所述散热窗（3）对称分布于装置主体（1）的两侧，所述激光切割装置（5）活动安装于装置主体（1）的上端内部，所述固定装置（4）固定安装于装置主体（1）的上端。


3.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用切割装置，其特征在于：所述显示屏（6）的数量为两组，所述显示屏（6）固定安装于装置主体（1）表面，所述控制按钮（7）的数量为若干组，所述控制按钮（7）均匀分布于显示屏（6）的下端，所述控制按钮（7）与显示屏（6）之间为电性连接。


4.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用切割装置，其特征在于：所述储物箱（10）与装置主体（1）之间为固定安装，所述储屑箱（8）与储物箱（10）之间为活动安装，所述漏口（11）贯穿于装置主体（1）上表面，所述储物箱（10）的内部设置有风机（12），所述风机（12）与储物箱（10）之间为固定连接，所述装置主体（1）的侧边内表面设置有吸气孔（23），所述吸气孔（23）的数量为若干组，所述吸气孔（23）与风机（12）之间设置有通风管（13）...

【专利技术属性】
技术研发人员：任晓伟，
申请(专利权)人：复汉海志江苏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32