用于光学检验系统的多模态多路复用照明技术方案

一种检验系统包含照明子系统及图像感测子系统，所述照明子系统提供多个照明模态，所述系统用所述多个照明模态中的不同者同时照明对象的至少两个区域，所述至少两个区域的图像由形成所述图像感测子系统的部分的单个传感器获取。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于光学检验系统的多模态多路复用照明
本专利技术大体上涉及光学检验系统，并且更特定来说涉及光学检验系统中有用的多模态多路复用照明。
技术介绍
所属领域中已知各种类型的光学检验系统。
技术实现思路
本专利技术寻求提供一种包含用于提供具有至少近全角度覆盖的广角照明的空间多路复用多模态照明的光学检验系统。因此，根据本专利技术的优选实施例提供一种包含照明子系统及图像感测子系统的检验系统，所述照明子系统提供多个照明模态，所述系统用所述多个照明模态中的不同者同时照明对象的至少两个区域，所述至少两个区域的图像由形成所述图像感测子系统的部分的单个传感器获取。优选地，所述传感器包含区域传感器。优选地，所述对象的所述至少两个区域相互不相连。优选地，所述照明子系统包含至少两个光模块，其各自用所述多个照明模态中的所述不同者照明所述对象的所述至少两个区域。优选地，所述对象及所述检验系统处于沿扫描方向的至少近连续相对运动中。优选地，所述照明子系统频闪以在所述至少近连续相对运动期间照明所述对象的所述至少两个区域。优选地，所述至少两个光模块通过沿所述扫描方向的空间相互物理地间隔开，并且所述多个照明模态包括不同的角度照明模态。优选地，所述系统还包含分束器，所述分束器将照明从所述至少两个区域引导朝向所述传感器，所述分束器经定位使得其边缘位于所述空间内。优选地，所述至少两个光模块中的每一者在大致正交于所述扫描方向的交叉扫描方向上提供至少两个额外照明模态。根据本专利技术的优选实施例，所述至少两个额外照明模态包含不同波长编码模态。额外地或替代地，所述至少两个额外照明模态包含不同偏振编码模态。进一步额外地或替代地，所述至少两个额外照明模态包含不同时间模态。优选地，所述照明子系统包含将光引导朝向至少一个透射集中器元件的多重光源。替代地，所述照明子系统包含将光引导朝向至少一个反射集中器元件的多重光源。根据本专利技术的优选实施例，所述多重光源包含将光输出到对应光导阵列的光源阵列。优选地，所述系统还包含光塑形元件阵列，所述光导阵列中的至少一个光导将光输出到每一光塑形元件。优选地，所述系统还包含用于处理所述图像的图像处理子系统。优选地，所述处理包含所述图像的共同配准。额外地或替代地，所述处理包含所述图像的解多路复用。优选地，由所述照明子系统提供的所述照明在至少±45°的角度范围上延伸。根据本专利技术的另一优选实施例还提供一种用于检验对象的方法，其包含用多个照明模态中的不同者同时照明对象的至少两个区域及通过单个传感器获取所述至少两个区域的图像。优选地，所述传感器包含区域传感器。优选地，所述对象的所述至少两个区域相互不相连。优选地，所述照明由至少两个光模块执行，所述至少两个光模块用所述多个照明模态中的所述不同者分别照明所述对象的所述至少两个区域。优选地，所述对象及所述至少两个光模块处于沿扫描方向的至少近连续相对运动中。优选地，所述照明包含在所述至少近连续相对运动期间所述至少两个光模块的频闪。优选地，所述至少两个光模块通过沿所述扫描方向的空间相互物理地间隔开，并且所述多个照明模态包含不同的角度照明模态。优选地，所述方法还包含通过分束器将照明从所述至少两个区域引导朝向所述传感器，所述分束器经定位使得其边缘位于所述空间内。优选地，所述方法还包含在大致正交于所述扫描方向的交叉扫描方向上用至少两个额外照明模态照明所述对象的所述至少两个区域。根据本专利技术的所述方法的优选实施例，所述至少两个额外照明模态包含不同波长编码模态。额外地或替代地，所述至少两个额外照明模态包含不同偏振编码模态。进一步额外地或替代地，所述至少两个额外照明模态包含不同时间模态。优选地，所述照明由将光引导朝向至少一个透射集中器元件的多重光源执行。替代地，所述照明由将光引导朝向至少一个反射集中器元件的多重光源执行。根据本专利技术的所述方法的优选实施例，所述多重光源包含将光输出到对应光导阵列的光源阵列。优选地，所述方法还包含提供光塑形元件阵列，所述光导阵列中的至少一个光导将光输出到每一光塑形元件。优选地，所述方法还包含在所述获取之后处理所述图像。优选地，所述处理包含共同配准所述图像。额外地或替代地，所述处理包含所述图像的解多路复用。优选地，所述照明包含在至少±45°的角度范围上照明。附图说明将从结合图式进行的以下详细描述更全面地理解及了解本专利技术，其中：图1A是根据本专利技术的优选实施例构造及操作的包含多模态多路复用照明的光学检验系统的简化说明；图1B是包含图1A中所说明的类型的多模态多路复用照明的光学检验系统的组件的简化框图表示；图2A及2B是在图1A及1B中所说明的类型的光学检验系统中的照明及图像获取组件的简化相应正视图及透视图说明；图3是说明根据本专利技术的优选实施例的多模态多路复用照明的简化时空图表；图4是说明根据本专利技术的另一优选实施例的多模态多路复用照明的简化时空图表；图5是说明根据本专利技术的进一步优选实施例的多模态多路复用照明的简化时空图表；图6是说明根据本专利技术的又一优选实施例的多模态多路复用照明的简化时空图表；图7A及7B是关于图1A到2B中所展示的类型的系统的照明输出所展示的光学元件的布置的简化相应正视图及透视图说明；图8A到8D是根据本专利技术的优选实施例构造及操作的适合于提供多模态多路复用照明的多模态照明器的简化透视图、正视图、侧视图及集合视图说明；图9A及9B是根据本专利技术的另一优选实施例构造及操作的适合于提供多模态多路复用照明的多模态照明器的简化透视图及正视图说明；图10A及10B是根据本专利技术的又一优选实施例构造及操作的适合于提供多模态多路复用照明的多模态照明器的简化透视图及正视图说明；图11A到11F是说明从图8A到10B中的任何者中所说明的类型的多模态照明器的一部分输出的循序光的简化图，且图11G是从图8A到10B中的任何者中所说明的类型的多模态照明器的一部分输出的瞬时光的简化图；图12A及12B是说明从根据本专利技术的另一优选实施例构造及操作的多模态照明器的一部分输出的光的简化图；图13是由图8A到9B中的任何者中所说明的类型的多模态照明器提供的照明的角度覆盖的简化图形表示；及图14、15、16A及16B是用于执行由图8A到12B中所说明的类型的系统提供的多路复用照明的解多路复用的光学元件的各种可能布置的简化说明。具体实施方式现在参考图1A，其是根据本专利技术的优选实施例构造及操作的包含多模态多路复用照明的光学检验系统的简化说明；及参考图1B，其是包含图1A中所说明的类型的多模态多路复用照明的光学检验系统的组件的简化框图表示。如在图1A及1B所见，提供光学检验系统100，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检验系统，其包括：/n照明子系统；及/n图像感测子系统，/n所述照明子系统提供多个照明模态，/n所述系统用所述多个照明模态中的不同者同时照明对象的至少两个区域，所述至少两个区域的图像由形成所述图像感测子系统的部分的单个传感器获取。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180906 US 62/727,5611.一种检验系统，其包括：
照明子系统；及
图像感测子系统，
所述照明子系统提供多个照明模态，
所述系统用所述多个照明模态中的不同者同时照明对象的至少两个区域，所述至少两个区域的图像由形成所述图像感测子系统的部分的单个传感器获取。


2.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述传感器包括区域传感器。


3.根据权利要求1或权利要求2所述的检验系统，其中所述对象的所述至少两个区域相互不相连。


4.根据前述权利要求中任一权利要求所述的检验系统，其中所述照明子系统包括至少两个光模块，其各自用所述多个照明模态中的所述不同者照明所述对象的所述至少两个区域。


5.根据权利要求4所述的检验系统，其中所述对象及所述检验系统处于沿扫描方向的至少近连续相对运动中。


6.根据权利要求5所述的检验系统，其中所述照明子系统频闪以在所述至少近连续相对运动期间照明所述对象的所述至少两个区域。


7.根据权利要求5或权利要求6所述的检验系统，其中所述至少两个光模块通过沿所述扫描方向的空间相互物理地间隔开，并且所述多个照明模态包括不同角度照明模态。


8.根据权利要求7所述的检验系统，且其还包括分束器，所述分束器将照明从所述至少两个区域引导朝向所述传感器，所述分束器经定位使得其边缘位于所述空间内。


9.根据权利要求7或权利要求8所述的检验系统，其中所述至少两个光模块中的每一者在大致正交于所述扫描方向的交叉扫描方向上提供至少两个额外照明模态。


10.根据权利要求9所述的检验系统，其中所述至少两个额外照明模态包括不同波长编码模态。


11.根据权利要求9或权利要求10所述的检验系统，其中所述至少两个额外照明模态包括不同偏振编码模态。


12.根据权利要求9到11中任一权利要求所述的检验系统，其中所述至少两个额外照明模态包括不同时间模态。


13.根据前述权利要求中任一权利要求所述的检验系统，其中所述照明子系统包括将光引导朝向至少一个透射集中器元件的多重光源。


14.根据权利要求1到12中任一权利要求所述的检验系统，其中所述照明子系统包括将光引导朝向至少一个反射集中器元件的多重光源。


15.根据权利要求13或权利要求14所述的检验系统，其中所述多重光源包括将光输出到对应光导阵列的光源阵列。


16.根据权利要求15所述的检验系统，且其还包括光塑形元件阵列，所述光导阵列中的至少一个光导将光输出到每一光塑形元件。


17.根据前述权利要求中任一权利要求所述的检验系统，且其还包括用于处理所述图像的图像处理子系统。


18.根据权利要求17所述的检验系统，其中所述处理包括所述图像的共同配准。


19.根据权利要求17或权利要求18所述的检验系统，其中所述处理包括所述图像的解多路复用。


20.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：Y·卡兹，I·拉茨科，E·梅蒙，
申请(专利权)人：奥宝科技有限公司，
类型：发明
国别省市：以色列;IL