聚乙烯膜及干膜抗蚀剂制造技术

本发明专利技术提供一种聚乙烯膜,其不易断裂(膜开裂)，开孔较少，且不易产生鱼眼，为高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯混合而成的聚乙烯膜，其特征在于，高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40，平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼数为2个/1.9m

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】聚乙烯膜及干膜抗蚀剂
本专利技术涉及一种聚乙烯膜、及将其用作干膜抗蚀剂用覆盖膜的干膜抗蚀剂。
技术介绍
搭载于个人电脑或智能手机的电路板的制作中一般使用干膜抗蚀剂(下面，也称为“DFR”)，但由于DFR的抗蚀剂层(感光性树脂层)具有粘合性，因此需要覆盖膜覆盖该层对表面进行保护。关于这种用于表面保护的覆盖膜，从柔软性及价格的观点出发，利用聚乙烯类的膜一直在研究中。作为涉及聚乙烯类的膜的现有技术，例如，日本专利第6068463号公报(专利文献1)中记载了聚乙烯共混组合物的专利技术。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第6068463号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，作为DFR的覆盖膜，有进一步降低成本及薄膜化的要求，关于熔化树脂颗粒并成膜的聚乙烯类的膜，需要提供不易断裂(膜开裂)，开孔较少，且不易产生鱼眼的膜。因此，本专利技术是为了解决这样的课题而完成的。用于解决课题的手段为了解决上述课题，本专利技术具有下面若干个构成。[1]一种聚乙烯膜，其为混合高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯而成，其特征在于，高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40，平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼数为2个/1.9m3以下，雾度值为12～25％，厚度为10～20μm。[2]如前所述的聚乙烯膜，其中，高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为80：20～70：30。[3]如前所述聚乙烯膜，其中，密度为0.910～0.928g/cm3。[4]如前所述的聚乙烯膜，其特征在于，其为混合高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯而成，所述聚乙烯膜由高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层与高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层层叠而成，平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼数为2个/1.9m3以下，雾度值为12～25％，厚度为10～20μm。[5]如前所述的聚乙烯膜，其中，所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层与所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层的层叠为三层。[6]如前所述的聚乙烯膜，其中，所述聚乙烯膜由层叠的三层构成，所述三层的结构为：用所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层层叠于所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层的正面和背面这两表面。[7]如前所述的聚乙烯膜，其中，所述聚乙烯膜由层叠的三层构成，所述三层的结构为：用所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层层叠于所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层的正面和背面这两表面。[8]一种干膜抗蚀剂，其将所述任一聚乙烯膜作为覆盖膜层叠于抗蚀剂层而成。[9]一种干膜抗蚀剂，其将所述任一聚乙烯膜作为覆盖膜层叠于抗蚀剂层而成，在所述层叠的聚乙烯膜中，将所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层设于与所述抗蚀剂层相对的面侧而成。专利技术效果本专利技术的聚乙烯膜、及使用其的干膜抗蚀剂用覆盖膜不易断裂(膜开裂)，开孔较少，且不易产生鱼眼。另外，根据本专利技术的干膜抗蚀剂，能够优选覆盖干膜抗蚀剂的抗蚀剂层，剥离等操作性优异。具体实施方式基于若干实施方式更详细地对本专利技术进行说明，但在各实施方式中，针对相同材质、组成、制法、作用、效果等，将不予赘述。第一实施方式：若对本专利技术进行更详细地说明，则在本专利技术的第一实施方式中，提供一种聚乙烯膜，其为混合高压法低密度聚乙烯(LDPE)(下面，也称为“低密度聚乙烯”)和线性低密度聚乙烯(LLDPE)(下面，也称为“线性聚乙烯”)混合而成，其中，低密度聚乙烯的密度为0.910～0.930g/cm3，线性聚乙烯的密度为0.910～0.925g/cm3，低密度聚乙烯和线性聚乙烯的混合比例即低密度聚乙烯：线性聚乙烯(重量％)为90：10～70：30，平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼为2个/1.9m3以下，雾度为12～25％，厚度为10～20μm。平面观察是指沿相对聚乙烯膜的宽面垂直的方向即膜的厚度方向观察聚乙烯膜。另外，鱼眼在平面观察时多显现为椭圆形等形状，为了明确这种情况下的大小，以最小直径进行规定。即，当鱼眼在平面观察时为椭圆时，最小直径为该椭圆的短轴的长度。进而，将计数鱼眼数的单位体积的大小设为1.9m3，是由于鱼眼数不仅取决于对聚乙烯膜进行平面观察时的单位面积的大小，还受到聚乙烯膜的厚度的影响，而且以厚度19μm的膜中的每100m2的数为标准。低密度聚乙烯和线性聚乙烯的配合比例设定为两者的混合物中包含线性聚乙烯10～40重量％，优选20～30重量％。若线性聚乙烯的配合比例小于10重量％，则难以将聚乙烯膜成型为10μm厚。另外，若超过40重量％，则鱼眼数过多，雾度值变低，制造工序中聚乙烯膜难以卷绕。而且，由于生产性较差，因此难以降低成本。而且，若低于20重量％，则较容易产生开孔，若大于30重量％，则鱼眼数变得较多。鱼眼数如果如上所述平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼为10个/1.9m3以下，则能够用作DFR用的覆盖膜。然而，若鱼眼数较多，则产生了鱼眼的部分的附近与抗蚀剂层的边界的密合性变差，成为产生据此不良的原因。因此，鱼眼数设为2个/1.9m3以下，优选为1个/1.9m3以下，更优选为0.5个/1.9m3以下。需要说明的是，鱼眼为平坦的膜上产生的微小的块状部分，一般认为它是由于原料的混合不良或熔融不良等原因而产生的。雾度为表示聚乙烯膜的透明性的指标，同时也是表示对DFR的适用性的指标，其值设为12～25％，优选为15～20％。若雾度(值)超过25％，则用作DFR用的覆盖膜时对抗蚀剂层的密合性差，容易产生容易剥落之类的不良。另一方面，若小于12％，则表面变得平滑，滑动性变差。因此，卷取制造聚乙烯膜时容易衔入空气，容易在膜表面产生突起。另外，如果为20％以下，则对抗蚀剂层的密合性优异。需要说明的是，雾度(值)是基于JISK7136的规定，使本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种聚乙烯膜，其为混合高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯而成，其特征在于，/n高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40，/n平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼数为2个/1.9m

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种聚乙烯膜，其为混合高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯而成，其特征在于，
高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40，
平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼数为2个/1.9m3以下，
雾度值为12～25％，
厚度为10～20μm。


2.根据权利要求1所述的聚乙烯膜，其中，
高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为80：20～70：30。


3.根据权利要求1或权利要求2所述的聚乙烯膜，其中，
密度为0.910～0.928g/cm3。


4.根据权利要求1～权利要求3中任一项所述的聚乙烯膜，其特征在于，其为混合高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯而成，
所述聚乙烯膜由高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层与高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为100：0～80：20的聚乙烯膜层层叠而成，
平面观察膜时显现的最小直径达0.2mm以上的鱼眼数为2个/1.9m3以下，
雾度值为12～25％，
厚度为10～20μm。


5.根据权利要求4所述的聚乙烯膜，其中，
所述高压法低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的混合比例即高压法低密度聚乙烯：线性低密度聚乙烯(重量％)为90：10～60：40的聚乙烯膜层与所述高压法低密度...

【专利技术属性】
技术研发人员：大谷进一，萩原俊明，中村均，
申请(专利权)人：塔玛波里股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP