刻蚀烘烤设备的外延片载具制造技术

本公开提供了一种刻蚀烘烤设备的外延片载具，属于刻蚀烘烤设备技术领域。所述外延片载具包括：基座和放片支架，所述放片支架包括第一立板、第二立板和放片组件，所述第一立板和所述第二立板通过第一连接件平行且相对设置，所述放片组件设置在所述第一立板和所述第二立板之间以在所述第一立板和所述第二立板之间层叠放置若干外延片；所述放片支架通过所述第一立板和所述第二立板可拆卸地安装在所述基座上。本公开能够提升外延片载具放置的外延片数量。

【技术实现步骤摘要】
刻蚀烘烤设备的外延片载具
本公开涉及刻蚀烘烤设备
，特别涉及一种刻蚀烘烤设备的外延片载具。
技术介绍
半导体LED(LightEmittingDiode，发光二极管)具有高效节能和绿色环保的优点，在交通指示和户外全色显示等领域有着广泛的应用。因为设备、工艺、生产等异常因素，导致在MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金属有机化合物化学气相沉淀)设备生长的部分LED外延片达不到标准要求，而做报废处理，外延报废片(报废处理的LED外延片)不能再次利用，造成较大损失。为实现损失挽回，可通过刻蚀炉对报废片进行刻蚀动作，将报废衬底上的生长GaN薄膜剥离，实现变废为新的目的。刻蚀炉的工作原理主要是，通过炉内加热升温至600摄氏度，并通过腔体上端气流孔，将一定比例的氮氯混合气体均匀通入炉内，在外延报废片上进行化学反应。氯气的腐蚀特性将外延报废片上的GaN薄膜进行剥离，外延报废片重新转化为外延生长所需的衬底。相关技术中，刻蚀炉机台是依靠石墨盘作为刻蚀片载具，炉内反应腔内放置两块石墨盘，每块石墨盘的盘面在同一水平面上均匀地分布有若干片槽，如14个片槽，石墨盘能够放置14片4寸PSS(PatternedSapphireSubstrate，图形化蓝宝石衬底)，每炉的产能为28片，产出较低，刻蚀成本较大。
技术实现思路
本公开实施例提供了一种刻蚀烘烤设备的外延片载具，能够提升外延片载具放置的外延片数量。所述技术方案如下：一种刻蚀烘烤设备的外延片载具，所述外延片载具包括：基座和放片支架，所述放片支架包括第一立板、第二立板和放片组件，所述第一立板和所述第二立板通过第一连接件平行且相对设置，所述放片组件设置在所述第一立板和所述第二立板之间以在所述第一立板和所述第二立板之间层叠放置若干外延片；所述放片支架通过所述第一立板和所述第二立板可拆卸地安装在所述基座上。可选地，所述基座包括：第一基板和第二基板，所述第一基板和所述第二基板通过第二连接件平行且相对设置，所述第一基板和所述第二基板的相对面上均设有放置槽；所述第一立板与所述第一基板上的放置槽相配合，所述第二立板与所述第二基板上的放置槽相配合。可选地，所述第一基板和所述第二基板均包括相对且平行的第一侧边和第二侧边，所述第一基板和所述第二基板的上均设有若干气流孔，所述放置槽靠近所述第一侧边，所述气流孔靠近所述第二侧边。可选地，所述放片组件包括：四根第一支撑杆，所述四根第一支撑杆相平行地夹设在所述第一立板和所述第二立板之间，每根第一支撑杆的两端分别连在所述第一立板和所述第二立板上，每根第一支撑杆的外壁在径向设有第一卡槽，每根第一支撑杆上的第一卡槽的数量为多个且沿每根第一支撑杆的轴向间隔分布，每根第一支撑杆在同一平面下的第一卡槽截面的槽底连线与外延片的部分外轮廓相配合。可选地，所述第一卡槽包括槽口和与所述槽口连通的沟槽，所述槽口包括相对的第一斜面和第二斜面，所述第一斜面和所述第二斜面分别与所述沟槽的两侧侧壁连接，所述第一斜面和所述第二斜面之间的距离随所述第一卡槽的深度变小而变大。可选地，所述第一斜面与所述第二斜面之间的夹角为60°。可选地，所述沟槽的宽度等于外延片的厚度。可选地，一所述第一支撑杆为共用支撑杆，所述共用支撑杆位于所述第一立板与所述第二立板的中间位置，所述放片组件还包括：三根第二支撑杆，所述三根第二支撑杆夹设在所述第一立板和所述第二立板之间，每根第二支撑杆的两端分别连在所述第一立板和所述第二立板上，所述三根第二支撑杆均与所述共用支撑杆相平行，且与除所述共用支撑杆之外的其他第一支撑杆相对称地分布在所述共用支撑杆的两侧，每根第二支撑杆和所述共用支撑杆的外壁在径向设有第二卡槽，每根第二支撑杆和所述共用支撑杆上的第二卡槽的数量为多个且沿每根第二支撑杆和所述共用支撑杆的轴向间隔分布，每根第二支撑杆和所述共用支撑杆在同一平面下的第二卡槽截面的槽底连线与外延片的部分外轮廓相配合。可选地，所述第一基板和所述第二基板均还包括相对且平行的第三侧边和第四侧边，所述第一侧边与所述第三侧边垂直，所述外延片载具还包括：第一挡板和第二挡板，所述第一挡板可拆卸地安装在所述第三侧边，所述第二挡板可拆卸地安装在所述第四侧边，所述第一挡板和所述第二挡板均位于所述第一基板和所述第二基板之间，所述放片组件上层叠放置的外延片的层叠方向与所述第三侧边垂直。可选地，所述放片支架和所述放置槽的数量为多个且相匹配，所述第一基板和所述第二基板沿所述第一侧边的方向间隔布置多个所述放置槽，所述第一基板和所述第二基板沿所述第三侧边的方向间隔布置多个所述放置槽。本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果是：通过外延片载具包括基座和放片支架；放片支架包括第一立板、第二立板和放片组件；第一立板和第二立板通过第一连接件平行且相对设置；放片组件设置在第一立板和第二立板之间以在第一立板和第二立板之间层叠放置若干外延片；在第一立板和第二立板之间层叠放置外延片，一方面，充分利用了第一立板和第二立板之间的空间，使得外延片载具本身占用的空间不被浪费，从而挤出了更多的空间放置外延片；另一方面，相比于并排放置外延片，层叠放置的方式能够更节省空间，节省出的空间能放置更多的外延片，从而提升了外延片载具放置的外延片数量，提高了刻蚀烘烤设备的产出，节省了刻蚀烘烤成本。附图说明为了更清楚地说明本公开实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本公开实施例提供的相关技术中刻蚀片载具的结构示意图；图2是本公开实施例提供的一种刻蚀烘烤设备的外延片载具的结构示意图；图3是本公开实施例提供的放片支架的结构示意图；图4是图3的A-A剖视图；图5是图4的B-B剖视图；图6是图5的C-C剖视图；图7和图8是本公开实施例提供的基座的结构示意图；图9是图8中I处的放大示意图；图10是图8的A-A剖视图；图11是图8的B向视图。附图中，各零部件的标号如下：801底座、802石墨盘、8011凹槽、8021片槽、1基座、11第一基板、12第二基板、13第二连接件、14放置槽、111第一侧边、112第二侧边、15气流孔、113第三侧边、114第四侧边、17第一挂耳、18安装槽、2放片支架、21第一立板、22第二立板、23放片组件、24第一连接件、231第一支撑杆、232第一卡槽、233槽口、234第一斜面、235第二斜面、236沟槽、G共用支撑杆、237第二支撑杆、238第二卡槽、3第一挡板、4第二挡板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刻蚀烘烤设备的外延片载具，其特征在于，所述外延片载具包括：基座(1)和放片支架(2)，/n所述放片支架(2)包括第一立板(21)、第二立板(22)和放片组件(23)，所述第一立板(21)和所述第二立板(22)通过第一连接件(24)平行且相对设置，所述放片组件(23)设置在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)之间以在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)之间层叠放置若干外延片；/n所述放片支架(2)通过所述第一立板(21)和所述第二立板(22)可拆卸地安装在所述基座(1)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀烘烤设备的外延片载具，其特征在于，所述外延片载具包括：基座(1)和放片支架(2)，
所述放片支架(2)包括第一立板(21)、第二立板(22)和放片组件(23)，所述第一立板(21)和所述第二立板(22)通过第一连接件(24)平行且相对设置，所述放片组件(23)设置在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)之间以在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)之间层叠放置若干外延片；
所述放片支架(2)通过所述第一立板(21)和所述第二立板(22)可拆卸地安装在所述基座(1)上。


2.根据权利要求1所述的外延片载具，其特征在于，所述基座(1)包括：第一基板(11)和第二基板(12)，
所述第一基板(11)和所述第二基板(12)通过第二连接件(13)平行且相对设置，所述第一基板(11)和所述第二基板(12)的相对面上均设有放置槽(14)；
所述第一立板(21)与所述第一基板(11)上的放置槽(14)相配合，所述第二立板(22)与所述第二基板(12)上的放置槽(14)相配合。


3.根据权利要求2所述的外延片载具，其特征在于，所述第一基板(11)和所述第二基板(12)均包括相对且平行的第一侧边(111)和第二侧边(112)，
所述第一基板(11)和所述第二基板(12)的上均设有若干气流孔(15)，
所述放置槽(14)靠近所述第一侧边(111)，所述气流孔(15)靠近所述第二侧边(112)。


4.根据权利要求2所述的外延片载具，其特征在于，所述放片组件(23)包括：四根第一支撑杆(231)，
所述四根第一支撑杆(231)相平行地夹设在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)之间，每根第一支撑杆(231)的两端分别连在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)上，
每根第一支撑杆(231)的外壁在径向设有第一卡槽(232)，每根第一支撑杆(231)上的第一卡槽(232)的数量为多个且沿每根第一支撑杆(231)的轴向间隔分布，每根第一支撑杆(231)在同一平面下的第一卡槽(232)截面的槽底连线与外延片的部分外轮廓相配合。


5.根据权利要求4所述的外延片载具，其特征在于，所述第一卡槽(232)包括槽口(233)和与所述槽口(233)连通的沟槽(236)，
所述槽口(233)包括相对的第一斜面(234)和第二斜面(235)，所述第一斜面(234)和所述第二斜面(235)分别与所述沟槽(236)的两侧侧壁连接，
所述第一斜面(234)和所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王飞，刘华明，黄李园，薛涛，
申请(专利权)人：华灿光电浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33