一种撕膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体加工技术领域，特别是涉及一种撕膜装置，包括竖向驱动机构、导向机构、过渡安装板和切割机构；所述竖向驱动机构的输出端包括连续的第一段行程和第二段行程，导向机构包括导向件和滑动连接在导向件上的滑动件，在第一段行程时，导向机构和切割机构同步运动，滑动件与导向件保持相对静止；第二段行程时，切割机构保持不动，滑动件与导向件相对滑动，本实用新型专利技术中，竖向驱动机构的输出端的行程大于切割机构与工件的距离，多出的行程由导向机构消耗掉。竖向驱动机构的输出端带动切割机构的底部触碰到工件时，切割机构停止并保持不动，切割机构准确地达到撕膜切入口处，具有较高的撕膜切入口的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种撕膜装置
本技术属于半导体加工
，特别是涉及一种撕膜装置。
技术介绍
目前，在半导体行业，晶圆产品在加工时通常会在晶圆背面贴覆一层薄膜用来与晶圆框架连接，其作用一是满足制程加工与工艺的需要(如切割)；二是保护晶圆在加工与传输时的安全。然而，晶圆整个前后段制程中也存在因为制程工艺或加工设备能力的原因，需要对贴覆薄膜的晶圆进行撕膜处理，采用裸晶圆上料加工。针对晶圆撕膜需求,通常采用人工手动的方式来实现，增加了人力成本以及晶圆的周转时间，并打断了部分工艺制程内部的连续性。对于非手工方式，目前通常采用以下两种机构进行撕膜：1、利用特殊胶带通过粘性粘附晶圆薄膜后撕取薄膜，其弊端是：特殊胶带为耗材，存在耗材成本，而且粘性成功率稍低，存在脱落、多次粘附的风险。2、利用气缸、自制夹头夹紧薄膜后撕取薄膜，此类夹紧方式可靠，同时安装有距离感应器测量薄膜位置，来确保撕膜切入口的准确性。其弊端是，由于采用感应器量测方式，感应器的精度与稳定性会影响切入口的准确性，调试及维护成本较高，且硬件成本上也会有所增加。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是：针对现有的撕膜装置的切入口准确度不高的问题，提供一种适用于材质易碎不抗压的环形圆盘的环形加热装置。为解决上述技术问题，本技术提供一种撕膜装置，包括竖向驱动机构、导向机构、过渡安装板和用于切割薄膜的切割机构；所述过渡安装板安装在所述竖向驱动机构上，所述切割机构和所述导向机构安装在所述过渡安装板上，所述竖向驱动机构的输出端的运动行程包括连续的第一段行程和第二段行程；所述导向机构包括导向件和滑动连接在所述导向件上的滑动件，所述导向件安装在所述切割机构上，所述滑动件安装在所述过渡安装板上；所述竖向驱动机构的输出端在第一段行程的范围内运动时，所述竖向驱动机构的输出端带动所述导向机构和所述切割机构同步运动，所述滑动件与导向件保持相对静止；所述竖向驱动机构的输出端运动至第一段行程与第二段行程的相接位置时，所述切割机构与贴有薄膜的工件抵靠而保持不动，通过所述滑动件与所述导向件的相对滑动，使得所述竖向驱动机构的输出端继续朝着所述切割机构运动以完成第二段行程。可选地，所述切割机构包括气缸固定板、上夹头、下夹头和第一气缸，所述气缸固定板安装在所述过渡安装板上，所述第一气缸和所述下夹头安装在所述气缸固定板上，所述下夹头上设置有用于切割薄膜的尖端，所述上夹头在所述第一气缸的驱动下与所述下夹头配合夹紧切割后的薄膜。可选地，所述撕膜装置还包括水平驱动机构，在所述水平驱动机构的带动下所述切割机构对工件上的薄膜进行切割，以使得薄膜与工件分离。可选地，所述导向机构还包括限位板，所述导向件的一端安装在所述切割机构上，所述导向件的另一端连接在所述限位板上，以使所述滑动件的滑动行程限制在所述限位板与所述切割机构之间。可选地，所述导向机构还包括安装在所述过渡安装板上的滑动件安装板，所述滑动件安装板上设置有多个所述滑动件，每一所述滑动件上均对应连接在一个所述导向件上。可选地，每一所述导向件上均套设有弹簧。可选地，所述撕膜装置还包括用于撕取切割后的薄膜的多个撕取机构，多个所述撕取机构安装在所述过渡安装板上。可选地，所述撕取机构包括第二气缸、两个夹爪和转接件，所述转接件安装在所述夹爪的内侧，两个所述夹爪在所述第二气缸的带动下闭合时，所述转接件抵触在薄膜的表面。可选地，所述撕膜装置还包括光电开关和感应片，所述光电开关安装在所述过渡安装板上，所述感应片安装在所述切割机构上，通过所述光电开关对所述感应片的感应，以判断所述竖向驱动机构的输出端的第二段行程是否完成。可选地，所述撕膜装置还包括直线导轨机构，所述直线导轨机构的导轨安装在所述过渡安装板上，所述直线导轨机构的滑块安装在所述切割机构上。本技术中，所述竖向驱动机构的输出端的行程大于所述切割机构与工件的距离，多出的行程由所述导向机构消耗掉。所述竖向驱动机构的输出端在第一段行程时，所述切割机构的底部触碰到工件时，所述切割机构停止并保持不动，所述切割机构准确地达到撕膜切入口处，相比于现有技术中通过距离感应器测量薄膜位置来确定切入口，具有更高的撕膜切入口的准确性。第二段行程中，所述竖向驱动机构的输出端继续向下运动，由于工件的阻挡，所述切割机构保持不动，所述滑动件相对所述导向件滑动，消耗掉所述竖向驱动机构的输出端多出的行程，使得所述切割机构能够与工件能够完全接触，切割工件上的薄膜时有利于薄膜的分离，且不会对工件增加更多的压力。另外，本技术中通过设置竖向驱动机构，实现晶圆表面薄膜自动化的撕取，避免了手工操作，整个过程无需手动，调试简易，运动平稳可靠顺畅，使用寿命长，具有推广性。附图说明图1是本技术一实施例提供的撕膜装置的侧面结构示意图；图2是本技术一实施例提供的撕膜装置的立体结构示意图；图3是本技术一实施例提供的切割机构与撕取机构的装配示意图；图4是本技术一实施例提供的切割机构与撕取机构的装配立体示意图；图5是本技术一实施例提供的导向机构与切割机构的装配结构示意图；图6是本技术一实施例提供的导向机构与切割机构的另一装配结构示意图；图7是本技术一实施例提供的切割机构的结构示意图。说明书中的附图标记如下：1、水平驱动机构；11、第一电机；12、水平丝杠模组；2、竖向驱动机构；21、第二电机；22、竖直丝杠模组；3、静电消除系统；4、撕取机构；41、第二气缸；42、夹爪；43、转接件；5、过渡安装板；61、气缸固定板；62、上夹头；63、下夹头；64、第一气缸；65、滑槽；7、导向机构；71、导柱；72、衬套；73、限位板；74、滑动件安装板；75、弹簧；8、直线导轨机构；91、光电开关；92、感应片。具体实施方式为了使本技术所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。如图1至图7所示，本技术一实施例提供的一种撕膜装置，包括竖向驱动机构2、导向机构7、过渡安装板5和用于切割薄膜的切割机构。所述过渡安装板5安装在所述竖向驱动机构2上，所述切割机构和所述导向机构7安装在所述过渡安装板5上，所述切割机构位于所述导向机构7的下方，所述竖向驱动机构2上下运动时，会带动着所述切割机构和所述导向机构7一起上下运动。所述竖向驱动机构2的输出端的运动行程包括连续的第一段行程和第二段行程。所述导向机构7包括导向件和滑动连接在所述导向件上的滑动件，所述导向件安装在所述切割机构上，所述滑动件安装在所述过渡安装板5上。所述竖向驱动机构2的输出端在第一段行程的范围内运动时，所述竖向驱动机构2的输出端带动所述导向机构7和所述切割机构同步运动，所述滑动件与导向件保持相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种撕膜装置，其特征在于，包括竖向驱动机构、导向机构、过渡安装板和用于切割薄膜的切割机构；/n所述过渡安装板安装在所述竖向驱动机构上，所述切割机构和所述导向机构安装在所述过渡安装板上，所述竖向驱动机构的输出端的运动行程包括连续的第一段行程和第二段行程；/n所述导向机构包括导向件和滑动连接在所述导向件上的滑动件，所述导向件安装在所述切割机构上，所述滑动件安装在所述过渡安装板上；所述竖向驱动机构的输出端在第一段行程的范围内运动时，所述竖向驱动机构的输出端带动所述导向机构和所述切割机构同步运动，所述滑动件与导向件保持相对静止；/n所述竖向驱动机构的输出端运动至第一段行程与第二段行程的相接位置时，所述切割机构与贴有薄膜的工件抵靠而保持不动，通过所述滑动件与所述导向件的相对滑动，使得所述竖向驱动机构的输出端继续朝着所述切割机构运动以完成第二段行程。/n

【技术特征摘要】
1.一种撕膜装置，其特征在于，包括竖向驱动机构、导向机构、过渡安装板和用于切割薄膜的切割机构；
所述过渡安装板安装在所述竖向驱动机构上，所述切割机构和所述导向机构安装在所述过渡安装板上，所述竖向驱动机构的输出端的运动行程包括连续的第一段行程和第二段行程；
所述导向机构包括导向件和滑动连接在所述导向件上的滑动件，所述导向件安装在所述切割机构上，所述滑动件安装在所述过渡安装板上；所述竖向驱动机构的输出端在第一段行程的范围内运动时，所述竖向驱动机构的输出端带动所述导向机构和所述切割机构同步运动，所述滑动件与导向件保持相对静止；
所述竖向驱动机构的输出端运动至第一段行程与第二段行程的相接位置时，所述切割机构与贴有薄膜的工件抵靠而保持不动，通过所述滑动件与所述导向件的相对滑动，使得所述竖向驱动机构的输出端继续朝着所述切割机构运动以完成第二段行程。


2.如权利要求1所述的撕膜装置，其特征在于，所述切割机构包括气缸固定板、上夹头、下夹头和第一气缸，所述气缸固定板安装在所述过渡安装板上，所述第一气缸和所述下夹头安装在所述气缸固定板上，所述下夹头上设置有用于切割薄膜的尖端，所述上夹头在所述第一气缸的驱动下与所述下夹头配合夹紧切割后的薄膜。


3.如权利要求1或2所述的撕膜装置，其特征在于，所述撕膜装置还包括水平驱动机构，在所述水平驱动机构的带动下所述切割机构对工件上的薄膜进行切割，以使得薄膜与工件分离。


4.如权利要求1所述的撕膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：李迁，童灿钊，赵冬冬，巫礼杰，仰瑞，贺少鹏，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44