蒸镀坩埚及具有该蒸镀坩埚的蒸镀设备制造技术

本公开提供了一种蒸镀坩埚及具有该蒸镀坩埚的蒸镀设备，属于显示技术领域，该蒸镀坩埚包括：坩埚支架，包括底座、固定架和连接于底座和固定架之间的支撑件；坩埚本体，包括固定本体和可伸缩本体，固定本体具有固定容纳腔，固定本体的一端设置有排出口，另一端与可伸缩本体的一端连通，可伸缩本体具有可变容纳腔，固定容纳腔和可变容纳腔构成容纳腔，用于容纳蒸镀材料；驱动组件，包括固定部和移动部，固定部固定于底座，移动部连接于可伸缩本体远离排出口的一侧，移动部沿可伸缩本体的伸缩方向往复移动。本公开提供的蒸镀坩埚，驱动组件通过驱动可伸缩本体伸缩，维持蒸镀材料与排出口之间的距离基本不变，确保蒸镀的均一性和稳定性。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚及具有该蒸镀坩埚的蒸镀设备
本公开涉及显示
，尤其涉及一种蒸镀坩埚及具有该蒸镀坩埚的蒸镀设备。
技术介绍
近年随着移动消费电子产品的不断更新换代，带动了显示器行业的迅速发展。在显示器制造工艺中，材料蒸镀是较为核心的一段工艺。蒸镀是指在高真空环境下对镀膜材料进行加热，使其升华并在基板上成膜。目前，在显示产品的蒸镀工艺中，所使用的蒸镀坩埚均为容纳腔体深度固定的结构。随着坩埚容纳腔体内蒸镀材料的减少，蒸镀材料与腔体顶部的距离逐渐增加，从而影响蒸镀均一性及稳定性。所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种蒸镀坩埚及具有该蒸镀坩埚的蒸镀设备，该蒸镀坩埚坩埚本体包括可伸缩本体，驱动组件通过驱动可伸缩本体伸缩，进而改变可变容纳腔的大小，并进一步改变容纳腔内蒸镀材料与排出口之间的距离，维持蒸镀材料与排出口之间的距离基本不变，从而确保蒸镀的均一性和稳定性。为实现上述专利技术目的，本公开采用如下技术方案：根据本公开的第一个方面，提供一种蒸镀坩埚，包括：坩埚支架，所述坩埚支架包括底座、固定架和连接于所述底座和所述固定架之间的支撑件；坩埚本体，所述坩埚本体包括固定本体和可伸缩本体，所述固定本体固定于所述固定架，所述固定本体具有固定容纳腔，所述固定本体的一端设置有排出口，所述固定本体的另一端与所述可伸缩本体的一端连通，所述可伸缩本体的另一端为封闭端，所述可伸缩本体沿所述固定本体和所述可伸缩本体的叠加方向伸缩，所述可伸缩本体具有可变容纳腔，所述排出口、所述固定容纳腔和所述可变容纳腔相互连通，所述固定容纳腔和所述可变容纳腔构成容纳腔，用于容纳蒸镀材料；驱动组件，所述驱动组件包括固定部和移动部，所述固定部固定于所述底座，所述移动部连接于所述可伸缩本体远离所述排出口的一侧，所述移动部沿所述可伸缩本体的伸缩方向往复移动。在本公开的一种示例性实施例中，所述驱动组件还包括驱动电路，所述移动部为第一磁力件，所述固定部为第二磁力件，所述第一磁力件和所述第二磁力件中的至少一者与所述驱动电路电连接。在本公开的一种示例性实施例中，所述蒸镀坩埚还包括：导轨，所述导轨连接于所述底座和所述固定架之间，所述移动部与所述导轨滑动连接。在本公开的一种示例性实施例中，所述移动部与所述导轨之间设置有连接板，所述连接板的一端固定连接于所述移动部，所述连接板的另一端滑动连接于所述导轨。在本公开的一种示例性实施例中，所述连接板与所述导轨的连接处设置有直线轴承，所述连接板连接所述导轨的一端贯穿设置有安装孔，所述安装孔与所述直线轴承的轴承孔同轴设置，所述导轨贯穿所述安装孔和所述轴承孔，所述安装孔、所述轴承孔和所述导轨的形状大小相匹配。在本公开的一种示例性实施例中，所述连接板与所述直线轴承之间设置有垫块，所述垫块贯穿设置有通孔，所述通孔与所述轴承孔同轴设置。在本公开的一种示例性实施例中，所述支撑件包括多个支撑柱，所述支撑柱周向均匀分布于所述可伸缩本体的外围，所述支撑柱的顶端与所述固定架可拆卸连接，所述支撑柱的底端与所述底座固定连接。在本公开的一种示例性实施例中，所述支撑柱位于所述导轨远离所述可伸缩本体的一侧。在本公开的一种示例性实施例中，所述可伸缩本体为弹性波纹管。根据本公开的第二个方面，提供一种蒸镀设备，包括上述第一方面所述的蒸镀坩埚。本公开提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、驱动组件和坩埚支架。其中坩埚本体包括固定本体和可伸缩本体，固定本体的一端设置有排出口，固定本体的另一端与可伸缩本体连通。固定本体具有固定容纳腔，可伸缩本体具有可变容纳腔。固定容纳腔和可变容纳腔构成容纳腔，用于容纳蒸镀材料。可变容纳腔由于具有伸缩性，其本身的容纳空间可调。坩埚支架包括底座、固定架和连接于底座和固定架之间的支撑件。驱动组件包括固定部和移动部，固定部固定于底座，移动部连接于可伸缩本体远离排出口的一侧，移动部沿可伸缩本体的伸缩方向往复移动。在实际蒸镀过程中，本公开提供的蒸镀坩埚，坩埚本体包括可伸缩本体，驱动组件通过驱动可伸缩本体伸缩，进而改变可变容纳腔的大小，并进一步改变容纳腔内蒸镀材料与排出口之间的距离，维持蒸镀材料与排出口之间的距离基本不变，从而确保蒸镀的均一性和稳定性。另外，坩埚本体还包括固定本体，固定本体可避免可伸缩本体在蒸镀过程中收缩过渡，以保证蒸镀的安全性。附图说明通过参照附图详细描述其示例实施方式，本公开的上述和其它特征及优点将变得更加明显。图1是相关技术中坩埚内蒸镀材料蒸镀前状态示意图；图2是相关技术中坩埚内蒸镀材料蒸镀后状态示意图；图3是本公开示例性实施例中蒸镀坩埚蒸镀前结构示意图；图4是本公开示例性实施例中蒸镀坩埚蒸镀后收缩结构示意图。图中主要元件附图标记说明如下：100-坩埚本体；110-固定本体；111-固定容纳腔；112-排出口；120-可伸缩本体；121-可变容纳腔；200-驱动组件；210-移动部；220-固定部；300-坩埚支架；310-底座；320-固定架；330-支撑件；400-导轨；500-直线轴承；600-连接板；700-垫块；10-坩埚；20-蒸镀材料。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施例使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。在图中，为了清晰，可能夸大了区域和层的厚度。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、材料等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本公开的主要技术创意。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。用语“一个”、“一”、“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。用语“第一”和“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。相关技术中，蒸镀设备包括壳体和设置于壳体内的坩埚，坩埚配置有加热件。其中，坩埚为具有固定腔体深度的结构体，腔体用于容纳蒸镀材料。在加热本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：/n坩埚支架，所述坩埚支架包括底座、固定架和连接于所述底座和所述固定架之间的支撑件；/n坩埚本体，所述坩埚本体包括固定本体和可伸缩本体，所述固定本体固定于所述固定架，所述固定本体具有固定容纳腔，所述固定本体的一端设置有排出口，所述固定本体的另一端与所述可伸缩本体的一端连通，所述可伸缩本体的另一端为封闭端，所述可伸缩本体沿所述固定本体和所述可伸缩本体的叠加方向伸缩，所述可伸缩本体具有可变容纳腔，所述排出口、所述固定容纳腔和所述可变容纳腔相互连通，所述固定容纳腔和所述可变容纳腔构成容纳腔，用于容纳蒸镀材料；/n驱动组件，所述驱动组件包括固定部和移动部，所述固定部固定于所述底座，所述移动部连接于所述可伸缩本体远离所述排出口的一侧，所述移动部沿所述可伸缩本体的伸缩方向往复移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：
坩埚支架，所述坩埚支架包括底座、固定架和连接于所述底座和所述固定架之间的支撑件；
坩埚本体，所述坩埚本体包括固定本体和可伸缩本体，所述固定本体固定于所述固定架，所述固定本体具有固定容纳腔，所述固定本体的一端设置有排出口，所述固定本体的另一端与所述可伸缩本体的一端连通，所述可伸缩本体的另一端为封闭端，所述可伸缩本体沿所述固定本体和所述可伸缩本体的叠加方向伸缩，所述可伸缩本体具有可变容纳腔，所述排出口、所述固定容纳腔和所述可变容纳腔相互连通，所述固定容纳腔和所述可变容纳腔构成容纳腔，用于容纳蒸镀材料；
驱动组件，所述驱动组件包括固定部和移动部，所述固定部固定于所述底座，所述移动部连接于所述可伸缩本体远离所述排出口的一侧，所述移动部沿所述可伸缩本体的伸缩方向往复移动。


2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述驱动组件还包括驱动电路，所述移动部为第一磁力件，所述固定部为第二磁力件，所述第一磁力件和所述第二磁力件中的至少一者与所述驱动电路电连接。


3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括：
导轨，所述导轨连接于所述底座和所述固定架之间，所述移动部与所述导轨滑动连接。


4....

【专利技术属性】
技术研发人员：徐海，
申请(专利权)人：合肥京东方卓印科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34