一种防尘效果好的芯片制造防尘装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及芯片制造技术领域，且公开了一种防尘效果好的芯片制造防尘装置，包括防护罩，所述防护罩的内部固定安装有电动导轨，所述电动导轨的顶部活动安装有物料放置移动座，所述防护罩的左右两侧均嵌入有海绵块，所述海绵块上开设有穿孔，所述防护罩内腔的顶壁固定安装有清洁辊，所述防护罩内腔的顶壁固定安装有电动机，所述电动机的输出轴处与清洁辊的外部均固定安装有传动盘。该防尘效果好的芯片制造防尘装置，实现了清理的产生的灰尘通过吸尘管吸入收集箱内进行储存，同时密封网盖实现了对灰尘的隔离避免灰尘进入软管内，从而方便了对上扬的灰尘进行处理，避免灰尘再次落到物料上，达不到好的防潮效果。

【技术实现步骤摘要】
一种防尘效果好的芯片制造防尘装置
本专利技术涉及芯片制造
，具体为一种防尘效果好的芯片制造防尘装置。
技术介绍
集成电路英语：integratedcircuit，缩写IC；或称微电路(microcircuit)、微芯片(microchip)和晶片/芯片(chip)在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。随着时代和科技的发展，科技的进步同时促进了芯片制造防尘装置的技术进步，但是依然存在着缺陷，现在的芯片制造防尘装置结构简单，达不到好的防尘效果的同时，不便于对灰尘进行处理，故而提出了一种防尘效果好的芯片制造防尘装置解决这一问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种防尘效果好的芯片制造防尘装置，具备防尘效果好，便于处理灰尘等优点，解决了现在的芯片制造防尘装置结构简单，达不到好的防尘效果的同时，不便于对灰尘进行处理的问题。(二)技术方案为实现上述防尘效果好，便于处理灰尘目的，本专利技术提供如下技术方案：一种防尘效果好的芯片制造防尘装置，包括防护罩，所述防护罩的内部固定安装有电动导轨，所述电动导轨的顶部活动安装有物料放置移动座，所述防护罩的左右两侧均嵌入有海绵块，所述海绵块上开设有穿孔，所述防护罩内腔的顶壁固定安装有清洁辊，所述防护罩内腔的顶壁固定安装有电动机，所述电动机的输出轴处与清洁辊的外部均固定安装有传动盘，两个所述传动盘的外部均与传动带套接，所述防护罩的顶部固定安装有数量为两个的抽气泵，所述防护罩内腔顶壁的左侧固定安装有数量为两个的伸缩杆，两个所述伸缩杆的底部均与圆盘固定连接，所述圆盘的底部连通有吸头，所述防护罩的顶部固定安装有与圆盘固定连接的电动推杆，所述防护罩的顶部固定安装有传动电机，左侧所述抽气泵的顶部与圆盘之间连通有连接管，所述防护罩内腔的顶壁开设有导动槽，所述导动槽内滑动连接有移动架，所述移动架的右侧固定安装有齿条，所述传动电机的输出轴处固定安装有与齿条啮合的齿盘，所述移动架的顶部固定安装有伺服电机，所述伺服动机的输出轴处固定安装有清洁刷盘，所述防护罩内腔的底壁固定安装有吸尘管，所述吸尘管的顶部连通有吸管，所述防护罩的前表面固定安装有与吸管连通的收集箱，所述收集箱的顶部插接有密封网盖，右侧所述抽气泵与密封网盖之间连通有软管。优选的，所述防护罩前表面的左侧固定安装有充电蓄电池，所述电动导轨、电动机、抽气泵、电动推杆、传动电机和伺服电机均与充电蓄电池电连接。优选的，所述吸尘管有直管和吸尘头组成，所述直管的顶部连通有吸尘头。优选的，所述圆盘由空心圆盘和吸头组成，所述空心圆盘的底部连通有吸头。优选的，所述导动槽呈长方形，所述移动架位于导动槽的后侧时清洁刷盘位于圆盘的后侧。优选的，所述齿条为齿盘状长方体，且齿条的长度等于导动槽的长度。优选的，所述清洁辊的外侧活动安装有稳定架，且清洁辊与稳定架的连接方式为转动连接。优选的，所述密封网盖的底部固定安装有防尘网，收集箱的顶部呈开口状。优选的，所述伸缩杆由外筒和内杆组成，所述外筒的内部滑动连接有贯穿并延伸至外筒外部的内杆。(三)有益效果与现有技术相比，本专利技术提供了一种防尘效果好的芯片制造防尘装置，具备以下有益效果：1、该防尘效果好的芯片制造防尘装置，通过设置的电动导轨，从而实现了物料放置移动座在电动导轨上移动的同时，配合电动机带动传动盘转动的同时传动带传动，带动清洁辊转动对物料放置移动座上的芯片进行清理防尘，同时待物料放置移动座移动至圆盘下方的同时配合电动推杆推动圆盘向下移动，伸缩杆同步进行伸缩支撑，使抽气泵工作通过抽气泵、连接管、圆盘和吸头之间的互相连通，使吸头对芯片进行吸附上升，平时配合传动电机带动齿盘转动，利用齿盘与齿条啮合，实现了齿条带动移动架在导动槽内移动，使清洁刷盘位于圆盘的下方，通过伺服电机带动清洁刷盘转动对芯片的背面进行清洁防尘，同时待清理防尘完成后电动推杆推动圆盘下移，使吸头上的芯片放置在物料放置移动座上，如此往复从而实现了对物料的清理防尘。2、该防尘效果好的芯片制造防尘装置，通过设置的抽气泵，从而实现了抽气泵工作，利用抽气泵、软管、密封网盖、收集箱、吸管和吸尘管之间的互相连通，实现了清理的产生的灰尘通过吸尘管吸入收集箱内进行储存，同时密封网盖实现了对灰尘的隔离避免灰尘进入软管内，从而方便了对上扬的灰尘进行处理，避免灰尘再次落到物料上，达不到好的防潮效果。附图说明图1为本专利技术提出的一种防尘效果好的芯片制造防尘装置的剖视图；图2为本专利技术提出的一种防尘效果好的芯片制造防尘装置的正视图。图中：1防护罩、2电动导轨、3物料放置移动座、4海绵块、5穿孔、6清洁辊、7电动机、8传动盘、9传动带、10抽气泵、11伸缩杆、12圆盘、13吸头、14电动推杆、15齿条、16传动电机、17连接管、18导动槽、19移动架、20伺服电机、21清洁刷盘、22齿盘、23吸尘管、24吸管、25收集箱、26密封网盖、27软管、28充电蓄电池。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-2，一种防尘效果好的芯片制造防尘装置，包括防护罩1，防护罩1的内部固定安装有电动导轨2，电动导轨2的顶部活动安装有物料放置移动座3，防护罩1的左右两侧均嵌入有海绵块4，海绵块4上开设有穿孔5，防护罩1内腔的顶壁固定安装有清洁辊6，清洁辊6的外侧活动安装有稳定架，且清洁辊6与稳定架的连接方式为转动连接，防护罩1内腔的顶壁固定安装有电动机7，电动机7的输出轴处与清洁辊6的外部均固定安装有传动盘8，两个传动盘8的外部均与传动带9套接，防护罩1的顶部固定安装有数量为两个的抽气泵10，防护罩1内腔顶壁的左侧固定安装有数量为两个的伸缩杆11，伸缩杆11由外筒和内杆组成，外筒的内部滑动连接有贯穿并延伸至外筒外部的内杆，两个伸缩杆11的底部均与圆盘12固定连接，圆盘12由空心圆盘和吸头组成，空心圆盘的底部连通有吸头，圆盘12的底部连通有吸头13，防护罩1的顶部固定安装有与圆盘12固定连接的电动推杆14，防护罩1的顶部固定安装有传动电机16，左侧抽气泵10的顶部与圆盘12之间连通有连接管17，防护罩1内腔的顶壁开设有导动槽18，导动槽18内滑动连接有移动架19，移动架19的右侧固定安装有齿条15，传动电机16的输出轴处固定安装有与齿条15啮合的齿盘22，移动架19的顶部固定安装有伺服电机20，伺服动机20的输出轴处固定安装有清洁刷盘21，导动槽18呈长方形，移动架19位于导动槽18的后侧时清洁刷盘21位于圆盘12的后侧，齿条15为齿盘状长方体，且齿条15的长度等于导动槽18的长度，防护罩1内腔的底壁固定安装有吸尘本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防尘效果好的芯片制造防尘装置，包括防护罩(1)，其特征在于：所述防护罩(1)的内部固定安装有电动导轨(2)，所述电动导轨(2)的顶部活动安装有物料放置移动座(3)，所述防护罩(1)的左右两侧均嵌入有海绵块(4)，所述海绵块(4)上开设有穿孔(5)，所述防护罩(1)内腔的顶壁固定安装有清洁辊(6)，所述防护罩(1)内腔的顶壁固定安装有电动机(7)，所述电动机(7)的输出轴处与清洁辊(6)的外部均固定安装有传动盘(8)，两个所述传动盘(8)的外部均与传动带(9)套接，所述防护罩(1)的顶部固定安装有数量为两个的抽气泵(10)，所述防护罩(1)内腔顶壁的左侧固定安装有数量为两个的伸缩杆(11)，两个所述伸缩杆(11)的底部均与圆盘(12)固定连接，所述圆盘(12)的底部连通有吸头(13)，所述防护罩(1)的顶部固定安装有与圆盘(12)固定连接的电动推杆(14)，所述防护罩(1)的顶部固定安装有传动电机(16)，左侧所述抽气泵(10)的顶部与圆盘(12)之间连通有连接管(17)，所述防护罩(1)内腔的顶壁开设有导动槽(18)，所述导动槽(18)内滑动连接有移动架(19)，所述移动架(19)的右侧固定安装有齿条(15)，所述传动电机(16)的输出轴处固定安装有与齿条(15)啮合的齿盘(22)，所述移动架(19)的顶部固定安装有伺服电机(20)，所述伺服动机(20)的输出轴处固定安装有清洁刷盘(21)，所述防护罩(1)内腔的底壁固定安装有吸尘管(23)，所述吸尘管(23)的顶部连通有吸管(24)，所述防护罩(1)的前表面固定安装有与吸管(24)连通的收集箱(25)，所述收集箱(25)的顶部插接有密封网盖(26)，右侧所述抽气泵(10)与密封网盖(26)之间连通有软管(27)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种防尘效果好的芯片制造防尘装置，包括防护罩(1)，其特征在于：所述防护罩(1)的内部固定安装有电动导轨(2)，所述电动导轨(2)的顶部活动安装有物料放置移动座(3)，所述防护罩(1)的左右两侧均嵌入有海绵块(4)，所述海绵块(4)上开设有穿孔(5)，所述防护罩(1)内腔的顶壁固定安装有清洁辊(6)，所述防护罩(1)内腔的顶壁固定安装有电动机(7)，所述电动机(7)的输出轴处与清洁辊(6)的外部均固定安装有传动盘(8)，两个所述传动盘(8)的外部均与传动带(9)套接，所述防护罩(1)的顶部固定安装有数量为两个的抽气泵(10)，所述防护罩(1)内腔顶壁的左侧固定安装有数量为两个的伸缩杆(11)，两个所述伸缩杆(11)的底部均与圆盘(12)固定连接，所述圆盘(12)的底部连通有吸头(13)，所述防护罩(1)的顶部固定安装有与圆盘(12)固定连接的电动推杆(14)，所述防护罩(1)的顶部固定安装有传动电机(16)，左侧所述抽气泵(10)的顶部与圆盘(12)之间连通有连接管(17)，所述防护罩(1)内腔的顶壁开设有导动槽(18)，所述导动槽(18)内滑动连接有移动架(19)，所述移动架(19)的右侧固定安装有齿条(15)，所述传动电机(16)的输出轴处固定安装有与齿条(15)啮合的齿盘(22)，所述移动架(19)的顶部固定安装有伺服电机(20)，所述伺服动机(20)的输出轴处固定安装有清洁刷盘(21)，所述防护罩(1)内腔的底壁固定安装有吸尘管(23)，所述吸尘管(23)的顶部连通有吸管(24)，所述防护罩(1)的前表面固定安装有与吸管(24)连通的收集箱(25)，所述收集箱(25)的顶部插接有密封网盖(26)，右侧所述抽气泵(10)与密封网盖(26)之间连通有软管(27)。
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【专利技术属性】
技术研发人员：赵文，
申请(专利权)人：谦筑科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31