链式滚涂装置及其应用制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种链式滚涂装置，包括涂液辊和同步轮；同步轮上设有安装孔，同步轮的外侧设有接近开关，同步轮上还设有可被接近开关感应的触发件；涂液辊通过连接轴与同步轮的安装孔装配；连接轴的轴主体配有支承其转动的转动支承装置，转动支承装置配有驱动其垂直升降的第一升降驱动装置；涂液辊的正上方还设有测距传感器。本发明专利技术链式滚涂装置，其能调节涂液辊和挤液辊的间距，可控制涂液辊对挤液辊的压入量，还能实现涂液辊与挤液辊脱离，避免因涂液辊在停机后还处于局部挤压状态而导致涂液辊变形严重，进而提高涂液辊的使用寿命，保证滚涂效果。本发明专利技术链式滚涂装置可应用于链式扩散工艺、链式吸杂处理工艺或激光掺杂SE工艺。

【技术实现步骤摘要】
链式滚涂装置及其应用
本专利技术涉及光伏领域，具体涉及一种链式滚涂装置及其应用。
技术介绍
太阳能电池生产过程中，需要对硅片进行掺杂扩散处理。掺杂扩散可分为源沉积、源推进两个步骤。源沉积是将掺杂源沉积在硅片表面。源推进是对沉积有掺杂源的硅片进行热处理，使掺杂元素扩散进硅片内部。源沉积可采用液态掺杂源，并采用涂液辊将液态掺杂源均匀滚涂在硅片表面，为了向涂液辊供应液态掺杂源，需要给涂液辊配置挤液辊、带液辊和储液槽，储液槽存储液态掺杂源，带液辊的下部浸入储液槽中，带液辊的上部位于储液槽上方，涂液辊位于储液槽外侧，挤液辊位于带液辊和涂液辊之间，且挤液辊的两侧分别与带液辊、涂液辊接触；带液辊从储液槽中带出液态掺杂源，带液辊上的掺杂源传至挤液辊，再经挤液辊滚匀后传至涂液辊并由涂液辊涂覆在硅片表面。为了不损伤硅片，涂液辊会采用外表面柔软的海绵辊，滚涂过程中，为了保证挤液辊能将掺杂源稳定地传至海绵辊，需要控制海绵辊对挤液辊的压入量，使海绵辊与挤液辊接触的部位处于局部挤压状态。而停机后，如果海绵辊长时间处于局部挤压状态，会导致海绵辊变形严重，进而影响滚涂效果。这就需要设计一种能调节涂液辊位置的链式滚涂装置。
技术实现思路
本专利技术提供一种能调节涂液辊位置的链式滚涂装置，包括：用于传送硅片的辊道，以及用于对辊道上硅片滚涂掺杂源的平置涂液辊；所述辊道包括：沿辊道传送方向依次设置的多个传送辊，以及驱动该多个传送辊转动的传动机构；该多个传送辊平置且相互平行；所述涂液辊与传送辊平行；涂液辊配有驱动其转动的同步轮，同步轮位于涂液辊轴向一端外侧，同步轮的轴心与涂液辊的轴心平行，且同步轮的轴心与涂液辊的轴心位于同一竖直平面；同步轮配有驱动其转动的驱动机构；所述同步轮还设有安装孔，安装孔为直条孔，安装孔沿同步轮的径向延伸，且安装孔跨越同步轮的轴心；同步轮的外侧还设有接近开关，且接近开关与同步轮的轴心位于同一竖直平面；同步轮上还设有可被接近开关感应的触发件，触发件位于安装孔外部，且触发件与安装孔位于同一直线；触发件可随同步轮转动，且触发件转动至可被接近开关感应的位置时，触发件转动至与同步轮轴心位于同一竖直平面；所述涂液辊通过连接轴与同步轮装配；连接轴包括：与涂液辊连接、且与涂液辊共轴心的轴主体，以及由轴主体远离涂液辊一端延伸出、且插入安装孔中的轴凸部；轴凸部与安装孔滑动配合；所述连接轴的轴主体配有支承其转动的转动支承装置，转动支承装置位于涂液辊和同步轮之间；转动支承装置配有驱动其垂直升降的第一升降驱动装置；所述涂液辊的正上方还设有测距传感器。优选的，所述同步轮、接近开关、第一升降驱动装置、测距传感器都由机架支承。优选的，所述涂液辊配有向其供应掺杂源的供料机构；供料机构包括由机架支承的：用于存储液态掺杂源的储液槽，以及将储液槽中的掺杂源转移至涂液辊的带液辊和挤液辊；带液辊、挤液辊都平置且都与传送辊平行；带液辊的下部浸入储液槽中，带液辊的上部位于储液槽上方；涂液辊位于储液槽外侧；挤液辊位于带液辊和涂液辊之间，且挤液辊的底部两侧分别与带液辊、涂液辊接触。优选的，所述机架配有驱动其垂直升降的第二升降驱动装置。优选的，所述安装孔为矩形孔，轴凸部为方棒状。优选的，所述轴凸部与轴主体共轴心。优选的，所述转动支承装置包括：套装在轴主体上的轴承，以及分别与轴承、第一升降驱动装置连接的连接件。优选的，所述第一升降驱动装置为直线电机或气缸。优选的，所述触发件设置在同步轮的外端面上。优选的，所述接近开关位于同步轮上方，触发件伸至同步轮外围。本专利技术还提供上述链式滚涂装置的应用，将上述链式滚涂装置应用于链式扩散工艺、链式吸杂处理工艺或激光掺杂制备SE电池。本专利技术的优点和有益效果在于：提供一种链式滚涂装置，其能调节涂液辊和挤液辊的间距，可控制涂液辊对挤液辊的压入量，还能实现涂液辊与挤液辊脱离，避免因涂液辊在停机后还处于局部挤压状态而导致涂液辊变形严重，进而提高涂液辊的使用寿命，保证滚涂效果。本专利技术链式滚涂装置可应用于链式扩散工艺、链式吸杂处理工艺或激光掺杂SE工艺，适用于制备TOPCon电池或HJT电池，实现全自动化生产线，提高生产效率。附图说明图1是本专利技术的侧视示意图；图2是本专利技术的正视示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本专利技术的技术方案，而不能以此来限制本专利技术的保护范围。本专利技术具体实施的技术方案是：如图1和图2所示，一种链式滚涂装置，包括：用于传送硅片的辊道，以及用于对辊道上硅片滚涂掺杂源的平置涂液辊1；所述辊道包括：沿辊道传送方向依次设置的多个传送辊，以及驱动该多个传送辊转动的传动机构；该多个传送辊平置且相互平行；所述涂液辊1与传送辊平行；涂液辊1配有驱动其转动的同步轮2，同步轮2位于涂液辊1轴向一端外侧，同步轮2的轴心与涂液辊1的轴心平行，且同步轮2的轴心与涂液辊1的轴心位于同一竖直平面；同步轮2配有驱动其转动的驱动机构；所述同步轮2还设有安装孔21，安装孔21为直条孔，安装孔21沿同步轮2的径向延伸，且安装孔21跨越同步轮2的轴心；同步轮2的外侧还设有接近开关3，且接近开关3与同步轮2的轴心位于同一竖直平面；同步轮2上还设有可被接近开关3感应的触发件4，触发件4位于安装孔21外部，且触发件4与安装孔21位于同一直线；接近开关3位于同步轮2上方，触发件4设置在同步轮2的外端面上，且触发件4伸至同步轮2外围；触发件4可随同步轮2转动，且触发件4转动至可被接近开关3感应的位置时，触发件4转动至与同步轮2轴心位于同一竖直平面；所述涂液辊1通过连接轴5与同步轮2装配；连接轴5包括：与涂液辊1连接、且与涂液辊1共轴心的轴主体51，以及由轴主体51远离涂液辊1一端延伸出、且插入安装孔21中的轴凸部52；轴凸部52与轴主体51共轴心；安装孔21为矩形孔，轴凸部52为方棒状；轴凸部52与安装孔21滑动配合；所述连接轴5的轴主体51配有支承其转动的转动支承装置6，转动支承装置6位于涂液辊1和同步轮2之间；转动支承装置6配有驱动其垂直升降的第一升降驱动装置7；第一升降驱动装置7为直线电机或气缸；转动支承装置6包括：套装在轴主体51上的轴承，以及分别与轴承、第一升降驱动装置7连接的连接件；所述涂液辊1的正上方还设有测距传感器8；所述同步轮2、接近开关3、第一升降驱动装置7、测距传感器8都由机架支承；所述涂液辊1配有向其供应掺杂源的供料机构；供料机构包括由机架支承的：用于存储液态掺杂源的储液槽，以及将储液槽中的掺杂源转移至涂液辊1的带液辊91和挤液辊92；带液辊91、挤液辊92都平置且都与传送辊平行；带液辊91的下部浸入储液槽中，带液辊91的上部位于储液槽上方；涂液辊1位于储液槽外侧；挤液辊92位于带液辊91和涂液辊1之间，且挤液辊92的底部两侧分别与带液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.链式滚涂装置，其特征在于，包括：用于传送硅片的辊道，以及用于对辊道上硅片滚涂掺杂源的平置涂液辊；/n所述辊道包括：沿辊道传送方向依次设置的多个传送辊，以及驱动该多个传送辊转动的传动机构；该多个传送辊平置且相互平行；/n所述涂液辊与传送辊平行；涂液辊配有驱动其转动的同步轮，同步轮位于涂液辊轴向一端外侧，同步轮的轴心与涂液辊的轴心平行，且同步轮的轴心与涂液辊的轴心位于同一竖直平面；同步轮配有驱动其转动的驱动机构；/n所述同步轮还设有安装孔，安装孔为直条孔，安装孔沿同步轮的径向延伸，且安装孔跨越同步轮的轴心；同步轮的外侧还设有接近开关，且接近开关与同步轮的轴心位于同一竖直平面；同步轮上还设有可被接近开关感应的触发件，触发件位于安装孔外部，且触发件与安装孔位于同一直线；触发件可随同步轮转动，且触发件转动至可被接近开关感应的位置时，触发件转动至与同步轮轴心位于同一竖直平面；/n所述涂液辊通过连接轴与同步轮装配；连接轴包括：与涂液辊连接、且与涂液辊共轴心的轴主体，以及由轴主体远离涂液辊一端延伸出、且插入安装孔中的轴凸部；轴凸部与安装孔滑动配合；/n所述连接轴的轴主体配有支承其转动的转动支承装置，转动支承装置位于涂液辊和同步轮之间；转动支承装置配有驱动其垂直升降的第一升降驱动装置；/n所述涂液辊的正上方还设有测距传感器。/n...

【技术特征摘要】
1.链式滚涂装置，其特征在于，包括：用于传送硅片的辊道，以及用于对辊道上硅片滚涂掺杂源的平置涂液辊；
所述辊道包括：沿辊道传送方向依次设置的多个传送辊，以及驱动该多个传送辊转动的传动机构；该多个传送辊平置且相互平行；
所述涂液辊与传送辊平行；涂液辊配有驱动其转动的同步轮，同步轮位于涂液辊轴向一端外侧，同步轮的轴心与涂液辊的轴心平行，且同步轮的轴心与涂液辊的轴心位于同一竖直平面；同步轮配有驱动其转动的驱动机构；
所述同步轮还设有安装孔，安装孔为直条孔，安装孔沿同步轮的径向延伸，且安装孔跨越同步轮的轴心；同步轮的外侧还设有接近开关，且接近开关与同步轮的轴心位于同一竖直平面；同步轮上还设有可被接近开关感应的触发件，触发件位于安装孔外部，且触发件与安装孔位于同一直线；触发件可随同步轮转动，且触发件转动至可被接近开关感应的位置时，触发件转动至与同步轮轴心位于同一竖直平面；
所述涂液辊通过连接轴与同步轮装配；连接轴包括：与涂液辊连接、且与涂液辊共轴心的轴主体，以及由轴主体远离涂液辊一端延伸出、且插入安装孔中的轴凸部；轴凸部与安装孔滑动配合；
所述连接轴的轴主体配有支承其转动的转动支承装置，转动支承装置位于涂液辊和同步轮之间；转动支承装置配有驱动其垂直升降的第一升降驱动装置；
所述涂液辊的正上方还设有测距传感器。


2.根据权利要求1所述的链式滚涂装置，其特征在于，所述同步轮、接近开关、第一升降驱动装置、测距传感器都由机架支承。


3.根据权利要求2所述的链式滚涂装置，其特征在于，所述涂液辊配有向其供应掺...

【专利技术属性】
技术研发人员：任常瑞，王敏，潘浩，张云，
申请(专利权)人：常州时创能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32