一种用于减少气泡产生的供酸系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于减少气泡产生的供酸系统，涉及到去气泡技术领域，包括骨架、帮浦、加热式缓冲器、主管路、辅助管路、酸液过滤器和固定阀件用板，其中，帮浦、加热式缓冲器和酸液过滤器分别设于骨架上，且加热式缓冲器和酸液过滤器位于帮浦的上侧，加热式缓冲器位于酸液过滤器的一侧，帮浦通过主管路分别与酸液过滤器和加热式缓冲器连接，加热式缓冲器通过辅助管路与酸液过滤器连接，每一主管路分别通过一固定阀件用板与骨架连接固定。本发明专利技术中能够减少酸液的结晶产生以及气泡堆积的现象，避免间歇性的输液造成不稳定的浓度输出的问题导致的工艺进行产生的晶圆表面不平整现象。

【技术实现步骤摘要】
一种用于减少气泡产生的供酸系统
本专利技术涉及到去气泡
，尤其涉及到一种用于减少气泡产生的供酸系统。
技术介绍
在半导体制造领域，尤其在湿法工艺的进行，常态性的使用各种溶液，如酸、碱、有机溶液以及特殊的处理浆料等。在半导体晶圆的处理工艺如清洗、蚀刻、电镀、抛光、研磨等工艺皆会使用上述溶剂或是混合溶液，而在学界以及产业界行内皆有相关的文献指出在晶圆使用湿法工艺过程中，因晶圆与溶液之间在反应前后所产生的气泡皆会在接触时产生对工艺过程产品无法解决的缺失，导致产品损坏或是需要报废的状况产生，故建立一种可在湿法工艺的液体管路即可产生去除气泡的装置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于减少气泡产生的供酸系统，用于解决上述技术问题。本专利技术采用的技术方案如下：一种用于减少气泡产生的供酸系统，包括骨架、帮浦、加热式缓冲器、主管路、辅助管路、酸液过滤器和固定阀件用板，其中，所述帮浦、所述加热式缓冲器和所述酸液过滤器分别设于所述骨架上，且所述加热式缓冲器和所述酸液过滤器位于所述帮浦的上侧，所述加热式缓冲器位于所述酸液过滤器的一侧，所述帮浦通过所述主管路分别与所述酸液过滤器和所述加热式缓冲器连接，所述加热式缓冲器通过所述辅助管路与所述酸液过滤器连接，每一所述主管路分别通过一所述固定阀件用板与所述骨架连接固定。作为优选，还包括加热膜，所述辅助管路以及每一所述主管路的外侧分别覆盖有所述加热膜。作为优选，还包括配重块，所述帮浦的一侧设有所述配重块。作为优选，还包括过滤器固定件，所述酸液过滤器的上端设有所述过滤器固定件。作为优选，每一所述主管路分别竖直设置。作为优选，还包括分流管路，所述酸液过滤器的上端设有两出液口，每一所述出液口的一端分别连接一所述分流管路。作为进一步的优选，每一所述分流管路均包括第一管路和第二管路，且所述第一管路的一端与一所述出液口连接，所述第一管路的另一端与所述第二管路的一端连接。作为进一步的优选，所述第一管路与所述第二管路垂直。上述技术方案具有如下优点或有益效果：(1)本专利技术中，利用混成酸液组成在一动力作用的推送，将粘稠酸液与气泡在密度作用与管路的切面影响作用，达成气泡移除的作用；(2)本专利技术中，利用加热式缓冲器与输液方式的控制优化进行SPM等工艺酸液的无间断调节酸液进行，以输液控制达成基础面的单位截面积下的气泡数与粘稠度的控制，避免间歇性的输液造成不稳定的浓度输出的问题导致的工艺进行产生的晶圆表面不平整现象；(3)本专利技术中，采取全面性的管路以及存液与输液过程皆具有加热过程的控制达成全道式的持温能力，确保一惯化的酸液的相对浓度的稳定，减少酸液的结晶产生以及气泡堆积的现象。附图说明图1是本专利技术用于减少气泡产生的供酸系统的立体图；图2是本专利技术用于减少气泡产生的供酸系统未安装骨架时的结构示意图；图3是本专利技术中的分流管路的结构示意图。图中：1、骨架；2、帮浦；3、加热式缓冲器；4、主管路；5、辅助管路；6、酸液过滤器；7、固定阀件用板；8、配重块；9、过滤器固定件；10、出液口；11、第一管路；12、第二管路；13、液体回流面；14、破气泡结构；15、导流结构。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，但不作为本专利技术的限定。图1是本专利技术用于减少气泡产生的供酸系统的立体图；图2是本专利技术用于减少气泡产生的供酸系统未安装骨架时的结构示意图；图3是本专利技术中的分流管路的结构示意图。请参见图1至图3所示，示出了一种较佳的实施例，示出的一种用于减少气泡产生的供酸系统，包括骨架1、帮浦2、加热式缓冲器3、主管路4、辅助管路5、酸液过滤器6和固定阀件用板7，其中，帮浦2、加热式缓冲器3和酸液过滤器6分别设于骨架1上，且加热式缓冲器3和酸液过滤器6位于帮浦2的上侧，加热式缓冲器3位于酸液过滤器6的一侧，帮浦2通过主管路4分别与酸液过滤器6和加热式缓冲器3连接，加热式缓冲器3通过辅助管路5与酸液过滤器6连接，每一主管路4分别通过一固定阀件用板7与骨架1连接固定。本实施例中，如图2所示，主管路4设有若干个，且辅助管路5设有两个，加热式缓冲器3的两端通过两个辅助管路5与酸液过滤器6连接，用于将酸混合液加热后送入酸液过滤器6，而帮浦2也可将酸混合液泵入酸液过滤器6内，经过过滤后再通过酸液过滤器6的出液口10排出。本实施例中，加热式缓冲器3可用于作为备用供液装置，当帮浦2供液出现故障时，可通过加热式缓冲器3进行供液，可以实现无间断调节酸液进行，以输液控制达成基础面的单位截面积下的气泡数与粘稠度的控制，避免间歇性的输液造成不稳定的浓度输出的问题导致的工艺进行产生的晶圆表面不平整现象。本实施例中，如图1所示，固定阀件用板7用于将主管路4固定在骨架1上，可避免主管路4在输液过程中出现振动而导致气泡增加的现象出现。本实施例中，加热式缓冲器3也通过一固定阀件用板7与骨架1连接固定。进一步，作为一种较佳的实施方式，还包括加热膜，辅助管路5以及每一主管路4的外侧分别覆盖有加热膜。本实施例中，通过设置加热膜，实现全面性的管路加热，可以维持酸混合液浓度的稳定，减少酸液的结晶产生以及气泡堆积的现象。进一步，作为一种较佳的实施方式，还包括配重块8，帮浦2的一侧设有配重块8。本实施例中，设置的配重块8用于降低帮浦2的重心，可以降低帮浦2的振动频率，从根本上减少气泡的产生。进一步，作为一种较佳的实施方式，还包括过滤器固定件9，酸液过滤器6的上端设有过滤器固定件9。本实施例中，设置的过滤器固定件9用于将酸液过滤器6与外界支架连接，设置的过滤器固定件9用于维持酸液过滤器6的上端应力的分配。进一步，作为一种较佳的实施方式，每一主管路4分别竖直设置。进一步，作为一种较佳的实施方式，还包括分流管路，酸液过滤器6的上端设有两出液口10，每一出液口10的一端分别连接一分流管路。进一步，作为一种较佳的实施方式，每一分流管路均包括第一管路11和第二管路12，且第一管路11的一端与一出液口10连接，第一管路11的另一端与第二管路12的一端连接。进一步，作为一种较佳的实施方式，第一管路11与第二管路12垂直。以上所述仅为本专利技术较佳的实施例，并非因此限制本专利技术的保护范围及实施方式。本专利技术在上述实施例的基础上，还具有如下较佳的实施方式：进一步，作为一种较佳的实施方式，第二管路12的一端内壁上设有一液体回流面13和破气泡结构14，第二管路12的一端内壁上还一导流结构，导流结构与破气泡结构14相正对。其中，破气泡结构14设于液体回流面13的下侧。本实施例中，如图3所示，液体回流面13呈弧形面结构，第一管路11与第二管路12之间相互垂直，且第一管路11与第二管路12之间通过嵌合式接口连接，第一管路11水平设置，第二管路12垂直设置，导流结构为导流板，且由上至下向靠近破气泡结构14的一侧倾斜设置。如图3所示，第一管路11的一端靠近第二管路12的一侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于减少气泡产生的供酸系统，其特征在于，包括骨架、帮浦、加热式缓冲器、主管路、辅助管路、酸液过滤器和固定阀件用板，其中，所述帮浦、所述加热式缓冲器和所述酸液过滤器分别设于所述骨架上，且所述加热式缓冲器和所述酸液过滤器位于所述帮浦的上侧，所述加热式缓冲器位于所述酸液过滤器的一侧，所述帮浦通过所述主管路分别与所述酸液过滤器和所述加热式缓冲器连接，所述加热式缓冲器通过所述辅助管路与所述酸液过滤器连接，每一所述主管路分别通过一所述固定阀件用板与所述骨架连接固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于减少气泡产生的供酸系统，其特征在于，包括骨架、帮浦、加热式缓冲器、主管路、辅助管路、酸液过滤器和固定阀件用板，其中，所述帮浦、所述加热式缓冲器和所述酸液过滤器分别设于所述骨架上，且所述加热式缓冲器和所述酸液过滤器位于所述帮浦的上侧，所述加热式缓冲器位于所述酸液过滤器的一侧，所述帮浦通过所述主管路分别与所述酸液过滤器和所述加热式缓冲器连接，所述加热式缓冲器通过所述辅助管路与所述酸液过滤器连接，每一所述主管路分别通过一所述固定阀件用板与所述骨架连接固定。


2.如权利要求1所述的用于减少气泡产生的供酸系统，其特征在于，还包括加热膜，所述辅助管路以及每一所述主管路的外侧分别覆盖有所述加热膜。


3.如权利要求1所述的用于减少气泡产生的供酸系统，其特征在于，还包括配重块，所述帮浦的一侧设有所述配重块。
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【专利技术属性】
技术研发人员：邓信甫，国天增，刘大威，陈丁堃，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，至微半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31