一种蓝膜剥离机构制造技术

本实用新型专利技术公开一种蓝膜剥离机构，包括固定底座和移动剥膜装置，移动剥膜装置架设在固定底座上方，移动剥膜装置包括双层固定架、伸缩内轴和侧滑块；伸缩内轴穿过并设置在双层固定架底部，伸缩内轴下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块滑动设置在双层固定架底部的四边；所述伸缩内轴向下运动时，伸缩内轴推动四个所述的侧滑块呈十字方向向外水平运动。所述固定底座上设置有铁环限位凸起。所述侧滑块上设置有与伸缩内轴接触的滑轮，所述侧滑块底部设置有供铁环上蓝膜接触的摩擦片。本案将伸缩内轴下部为向下收缩的圆台，使得在蓝膜边缘剥离铁环边缘时，可以缓和的力量进行剥离。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝膜剥离机构
本技术涉及晶圆生产
，特别涉及一种蓝膜剥离机构。
技术介绍
铁环是在晶圆生产中极为重要的一个部件，生产过程中，铁环会包覆着蓝膜，在生产过后需要将铁环与蓝膜分开。在半导体行业，膜环分离是靠外力将内环脱离，然后在将外环与残膜进行剥离的方式进行，并且对分离后的内环、外环、残膜分开单独收集。目前行业内大部分采用人工进行拆环动作，人工拆环的速度低，很难保证内环、外环朝向一致，影响加工效率，增加企业生产成本，存在不足。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种蓝膜剥离机构，克服上述缺陷，膜环边缘剥离更加均匀。为达成上述目的，本技术的解决方案为：一种蓝膜剥离机构，包括固定底座和移动剥膜装置，移动剥膜装置架设在固定底座上方，移动剥膜装置包括双层固定架、伸缩内轴和侧滑块；伸缩内轴穿过并设置在双层固定架底部，伸缩内轴下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块滑动设置在双层固定架底部的四边；所述伸缩内轴向下运动时，伸缩内轴推动四个所述的侧滑块呈十字方向向外水平运动。优选的，所述固定底座上设置有铁环限位凸起。优选的，所述侧滑块上设置有与伸缩内轴接触的滑轮，所述侧滑块底部设置有供铁环上蓝膜接触的摩擦片。采用上述方案后，本技术的有益效果在于：本案将伸缩内轴下部为向下收缩的圆台，使得在蓝膜边缘剥离铁环边缘时，可以缓和的力量进行剥离。附图说明图1是本技术第一蓝膜剥离机构的立体图一；图2是本技术第一蓝膜剥离机构的立体图二；图3是本技术第一蓝膜剥离机构的剖视图；图4是本技术侧滑块的立体图一；图5是本技术侧滑块的立体图二。标号说明：固定底座(41)、移动剥膜装置(42)、双层固定架(43)、伸缩内轴(44)、侧滑块(45)、滑轮(451)、摩擦片(452)、铁环限位凸起(411)。具体实施方式以下结合附图及具体实施例对本技术做详细的说明。如图1-5所示，本技术提供一种蓝膜剥离机构，包括固定底座41和移动剥膜装置42，移动剥膜装置42架设在固定底座41上方，移动剥膜装置42包括双层固定架43、伸缩内轴44和侧滑块45；伸缩内轴44穿过并设置在双层固定架43底部，伸缩内轴44下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块45滑动设置在双层固定架43底部的四边；所述伸缩内轴44向下运动时，伸缩内轴44推动四个所述的侧滑块45呈十字方向向外水平运动。在本案中，蓝膜剥离机构所涉及的“剥离”的步骤，是指蓝膜的边缘与铁环的边缘分开，经剥离后，蓝膜主体还是与铁环在一起。本案中，将伸缩内轴44下部设计为向下收缩的圆台是可以使得让伸缩内轴44在向下运动时，利用圆台形的侧面均匀地将侧滑块45横向推出，可以缓和的力量进行剥离。在本案中，伸缩内轴44由气动马达驱动进行伸缩。固定底座41上设置有铁环限位凸起411，所述铁环限位凸起411用于对铁环进行限位。侧滑块45上设置有与伸缩内轴44接触的滑轮451，所述侧滑块45底部设置有供铁环上蓝膜接触的摩擦片452。工作原理：待加工的为包覆着蓝膜的铁环，本方案的目的是完成蓝膜边缘与铁环边缘剥离，便于后续的加工。启动机器，移动剥膜装置42朝固定底座41运动，在移动剥膜装置42接近固定底座41后，其中的伸缩内轴44开始运动，伸缩内轴44下部为向下收缩的圆台，在伸缩内轴44向下运动时，会将贴在伸缩内轴44的侧滑块45向外推。侧滑块45下的摩擦片452会将蓝膜边缘与铁环边缘剥离。以上所述仅为本技术的较佳实施例，并非对本案设计的限制，凡依本案的设计关键所做的等同变化，均落入本案的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蓝膜剥离机构，其特征在于：包括固定底座(41)和移动剥膜装置(42)，移动剥膜装置(42)架设在固定底座(41)上方，移动剥膜装置(42)包括双层固定架(43)、伸缩内轴(44)和侧滑块(45)；伸缩内轴(44)穿过并设置在双层固定架(43)底部，伸缩内轴(44)下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块(45)滑动设置在双层固定架(43)底部的四边；所述伸缩内轴(44)向下运动时，伸缩内轴(44)推动四个所述的侧滑块(45)呈十字方向向外水平运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种蓝膜剥离机构，其特征在于：包括固定底座(41)和移动剥膜装置(42)，移动剥膜装置(42)架设在固定底座(41)上方，移动剥膜装置(42)包括双层固定架(43)、伸缩内轴(44)和侧滑块(45)；伸缩内轴(44)穿过并设置在双层固定架(43)底部，伸缩内轴(44)下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块(45)滑动设置在双层固定架(43)底部的四边；所述伸缩内轴(44)向下运动时，伸缩...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢传播，
申请(专利权)人：厦门市弘瀚电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35