一种扫描电子显微镜制造技术

本实用新型专利技术提供了一种扫描电子显微镜，其使得整个产品美观，且使得操作员的使用和维修方便，提升了电镜产品的整体体验。其包括立体的底部安装座，底部安装座的上部设置有矩形机架，矩形机架支承于底部安装座的对应立柱的支承位置，矩形机架的上表面上固设有样品仓放置板，样品仓支承于样品放置板上，底部安装座还设置有连接管路连接镜筒，镜筒的底部固装于样品仓的顶部安装接口，镜筒的外露表面盖装有镜筒罩壳，镜筒罩壳的底部固接于样品仓的对应上表面区域，镜筒罩壳对应于镜头的正上方设置有缺口槽，小罩壳盖装于缺口槽，底部安装座侧四周环布有外面侧板，矩形机架的上表面盖装有上面板，上面板的对应于样品仓放置板的区域设置有避让缺口。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电子显微镜
本技术涉及电子显微镜的
，具体为一种扫描电子显微镜。
技术介绍
随着扫描电子显微镜在我国各科研高校、企业单位广泛使用，不断推动着我国在精密测量仪器方面的发展，其中扫描电镜的国产化标志着我国在测量仪器的研究取得了突破性的进步，缩短了与国外相关技术的差距。扫描电子显微镜是利用阴极与阳极之间的高压产生高速电子，将电子加速到0.1倍的光束左右，再经过几级聚焦形成极细的电子束，在试样表面逐点扫描激发试样表面的各种信号，最后通过不同传感器收集成像。电镜外观看分为电子枪镜筒部分、样品仓和样品台部分、机柜部分(分子泵和控制电路等)三大部分，现有的整个电镜系统的零件、线路、各种探测器组装在一起很不美观、且操作员的使用和维修不便，导致电镜产品整体体验差。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种扫描电子显微镜，其使得整个产品美观，且使得操作员的使用和维修方便，提升了电镜产品的整体体验。一种扫描电子显微镜，其特征在于：其包括立体的底部安装座，所述底部安装座的上部设置有矩形机架，所述矩形机架支承于所述底部安装座的对应立柱的支承位置，所述矩形机架的上表面上固设有样品仓放置板，样品仓支承于所述样品放置板上，所述底部安装座还设置有连接管路连接镜筒，所述镜筒的底部固装于所述样品仓的顶部安装接口，所述镜筒的外露表面盖装有镜筒罩壳，所述镜筒罩壳的底部固接于所述样品仓的对应上表面区域，所述镜筒罩壳对应于镜头的正上方设置有缺口槽，小罩壳盖装于所述缺口槽，所述底部安装座侧四周环布有外面侧板，所述矩形机架的上表面盖装有上面板，所述上面板的对应于所述样品仓放置板的区域设置有避让缺口。其进一步特征在于：所述底部安装座的一侧的设置有开关盒，其中一块所述外面侧板对应于所述开关盒的位置设置有安装接口，所述开关盒固装于安装接口后按钮外露，确保整个结构美观、且操作方便；所述样品仓放置板固装于水平放置架，所述水平放置架包括有两组横梁杆、以及对应于样品仓放置板之间区域的连接杆，每根横梁杆两端分别通过连接块固接所述矩形机架的对应横杆，其使得样品放置板稳固可靠；所述底部安装座的四根立柱的内侧分别设置有侧凸支架，每根所述侧凸支架上布置有减震弹簧，所述横梁杆的对应于减震弹簧的上方设置有连接定位块，所述减震弹簧的顶部顶装于所述连接定位块的下表面，所述矩形机架的对应于每根立柱的位置处设置有仿形导向孔；每根立柱的顶部安装有仿形导向块，所述仿形导向块插装于所述仿形导向孔后垂直向调整动作；所述样品仓的安装位置与整个矩形机架的杆件成45°布置，确保操作者手动操作样品仓方便快捷；所述底部安装座的底部设置有支撑脚和支撑滚轮，所述支撑滚轮可快速的移动整个电镜，所述支撑脚通过螺纹可调整高度以达到支撑整个电镜的作用；所述上面板、外侧面板均通过扣装结构组装、其表面没有螺钉孔，确保整体外表面光滑美观。采用本技术后，矩形机架与上面板、底部安装座、四周的外面侧板组成电镜机柜，内部装配固定各种PCB板、高压油箱、工作站、高压电源、PLC之类的设备，上面板、外面侧板的布置达到了美观需求，且镜筒的外露表面盖装有镜筒罩壳，所述镜筒罩壳的底部固接于所述样品仓的对应上表面区域，所述镜筒罩壳对应于镜头的正上方设置有缺口槽，小罩壳盖装于所述缺口槽，使得镜筒方便观察，每块面板均可单独且快速的安装与拆卸，方便安装与维修；其使得整个产品美观，且使得操作员的使用和维修方便，提升了电镜产品的整体体验。附图说明图1为本技术的立体图结构示意图；图2为本技术的立体图爆炸结构示意图；图3为本技术的去除上面板和其中一块外面侧板的立体图结构示意图；图中序号所对应的名称如下：底部安装座1、立柱101、矩形机架2、横杆201、样品仓放置板3、样品仓4、顶部安装接口41、连接管路5、镜筒6、镜筒罩壳7、缺口槽71、小罩壳8、外面侧板9、上面板10、避让缺口11、开关盒12、安装接口13、水平放置架14、横梁杆15、连接杆16、连接块17、侧凸支架18、减震弹簧19、连接定位块20、仿形导向孔21、仿形导向块22、支撑脚23、支撑滚轮24。具体实施方式一种扫描电子显微镜，见图1-图3：其包括立体的底部安装座1，底部安装座1的上部设置有矩形机架2，矩形机架2支承于底部安装座1的对应立柱101的支承位置，矩形机架2的上表面上固设有样品仓放置板3，样品仓4支承于样品放置板3上，底部安装座1还设置有连接管路5连接镜筒6，镜筒6的底部固装于样品仓4的顶部安装接口41，镜筒6的外露表面盖装有镜筒罩壳7，镜筒罩壳7的底部固接于样品仓4的对应上表面区域，镜筒罩壳7对应于镜头的正上方设置有缺口槽71，小罩壳8盖装于缺口槽71，底部安装座1侧四周环布有外面侧板9，矩形机架2的上表面盖装有上面板10，上面板10的对应于样品仓放置板3的区域设置有避让缺口11。底部安装座1的一侧的设置有开关盒12，其中一块外面侧板9对应于开关盒12的位置设置有安装接口13，开关盒12固装于安装接口13后按钮外露，确保整个结构美观、且操作方便；样品仓放置板3固装于水平放置架14，水平放置架14包括有两组横梁杆15、以及对应于样品仓放置板3之间区域的连接杆16，每根横梁杆15两端分别通过连接块17固接矩形机架2的对应横杆201，其使得样品放置板3稳固可靠；底部安装座1的四根立柱101的内侧分别设置有侧凸支架18，每根侧凸支架18上布置有减震弹簧19，横梁杆15的对应于减震弹簧19的上方设置有连接定位块20，减震弹簧19的顶部顶装于连接定位块20的下表面，矩形机架2的对应于每根立柱101的位置处设置有仿形导向孔21；每根立柱101的顶部安装有仿形导向块22，仿形导向块22插装于仿形导向孔21后垂直向调整动作；样品仓4的安装位置与整个矩形机架2的杆件成45°布置，确保操作者手动操作样品仓方便快捷；底部安装座1的底部设置有支撑脚23和支撑滚轮24，支撑滚轮24可快速的移动整个电镜，支撑脚23通过螺纹可调整高度以达到支撑整个电镜的作用；上面板10、外侧面板9均通过扣装结构组装、其表面没有螺钉孔，确保整体外表面光滑美观。其工作原理如下：矩形机架与上面板、底部安装座、四周的外面侧板组成电镜机柜，内部装配固定各种PCB板、高压油箱、工作站、高压电源、PLC之类的设备，上面板、外面侧板的布置达到了美观需求，且镜筒的外露表面盖装有镜筒罩壳，镜筒罩壳的底部固接于样品仓的对应上表面区域，镜筒罩壳对应于镜头的正上方设置有缺口槽，小罩壳盖装于缺口槽，使得镜筒方便观察，每块面板均可单独且快速的安装与拆卸，方便安装与维修；其使得整个产品美观，且使得操作员的使用和维修方便，提升了电镜产品的整体体验。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描电子显微镜，其特征在于：其包括立体的底部安装座，所述底部安装座的上部设置有矩形机架，所述矩形机架支承于所述底部安装座的对应立柱的支承位置，所述矩形机架的上表面上固设有样品仓放置板，样品仓支承于所述样品放置板上，所述底部安装座还设置有连接管路连接镜筒，所述镜筒的底部固装于所述样品仓的顶部安装接口，所述镜筒的外露表面盖装有镜筒罩壳，所述镜筒罩壳的底部固接于所述样品仓的对应上表面区域，所述镜筒罩壳对应于镜头的正上方设置有缺口槽，小罩壳盖装于所述缺口槽，所述底部安装座侧四周环布有外面侧板，所述矩形机架的上表面盖装有上面板，所述上面板的对应于所述样品仓放置板的区域设置有避让缺口。/n

【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜，其特征在于：其包括立体的底部安装座，所述底部安装座的上部设置有矩形机架，所述矩形机架支承于所述底部安装座的对应立柱的支承位置，所述矩形机架的上表面上固设有样品仓放置板，样品仓支承于所述样品放置板上，所述底部安装座还设置有连接管路连接镜筒，所述镜筒的底部固装于所述样品仓的顶部安装接口，所述镜筒的外露表面盖装有镜筒罩壳，所述镜筒罩壳的底部固接于所述样品仓的对应上表面区域，所述镜筒罩壳对应于镜头的正上方设置有缺口槽，小罩壳盖装于所述缺口槽，所述底部安装座侧四周环布有外面侧板，所述矩形机架的上表面盖装有上面板，所述上面板的对应于所述样品仓放置板的区域设置有避让缺口。


2.如权利要求1所述的一种扫描电子显微镜，其特征在于：所述底部安装座的一侧的设置有开关盒，其中一块所述外面侧板对应于所述开关盒的位置设置有安装接口，所述开关盒固装于安装接口后按钮外露。


3.如权利要求1所述的一种扫描电子显微镜，其特征在于：所述样品仓放置板固装于水平放置架，所述水平放置架包括有两组横梁杆、以及对应于...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴晓鹏，张凡凡，赫松龄，张伟，贺羽，
申请(专利权)人：国仪量子合肥技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34