一种晶圆光刻机制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆光刻机，其结构包括机体、调节装置、显示屏、通风机、指示灯、工作腔、散热口，本发明专利技术在进行使用时，通过平滑片与羊角斜块配合将晶圆芯片卡持在两块卡持凹盘之间，保证晶圆芯片可以稳定定位在两块卡持凹盘之间，使得晶圆芯片与载台之间存在间隙，便于工作人员对加工后的晶圆芯片进行拿取，通过转轮带动卡接头对晶圆芯片进行顺时针翻转度，翻转后通过接触弧片会直接与摩擦板相接触产生较大的摩擦阻力，保证翻转后晶圆芯片的平稳性，使得工作腔内部的光刻元件可以精准对晶圆芯片的另一面进行光刻加工处理，提高晶圆芯片的光刻效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆光刻机
本专利技术涉及单晶硅加工领域，具体涉及到一种晶圆光刻机。
技术介绍
随着科技的发展，光刻技术的发展极为迅速，光刻技术对于微电子产业的发展十分重要，光刻技术是利用类似照相制版的原理，在半导体晶片表面的掩膜层上面刻蚀精细图形的表面加工技术，再经过蚀刻工艺去除无用部分，通过翻转元件对晶圆芯片进行转动调整，便于双面光刻，在进行光刻处理时，需要改进的地方：在对晶圆进行光刻处理时，在光照作用下，借助光致抗蚀剂将掩膜版上的图形转移到基片上，在处理过程中，都是直接将晶圆芯片平放在载台上，由于晶圆芯片外表呈圆盘状与光盘结构相似，使得晶圆芯片会平贴在载台上，不便于工作人员拿取，且在对晶圆芯片双面进行加工过程中，需要工作人员对其进行翻面，使得晶圆芯片的光刻位置不准确，降低晶圆芯片的光刻效率。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆光刻机，其结构包括机体、调节装置、显示屏、通风机、指示灯、工作腔、散热口，所述机体底部设有散热口，所述机体与工作腔连为一体，所述工作腔内部安装有调节装置，所述工作腔与显示屏通过电线连接，所述显示屏与指示灯相接通，所述工作腔上设有与之相通的通风机。作为
技术实现思路
的进一步优化，所述调节装置包括有限位元件、转杆、翻转组件、卡持凹盘、牵拉条，所述限位元件设有两个，两个限位元件对称紧扣在两个卡持凹盘上，两个所述卡持凹盘通过牵拉条相连接，所述卡持凹盘远离牵拉条的一端与转杆固定连接，所述转杆与翻转组件活动卡合，所述翻转组件安装在工作腔内部。作为
技术实现思路
的进一步优化，所述转杆包括有杆体、摩擦板、卡接头，所述杆体上设有与之相焊接的卡接头，所述卡接头与摩擦板相套合，所述杆体平行插嵌在卡持凹盘上，所述卡接头与翻转组件活动卡合。作为
技术实现思路
的进一步优化，所述翻转组件包括有本体、转轮、抵制件、支杆、活动连板，所述本体中间位置连接有支杆，所述本体上设有与之相连接的活动连板，所述活动连板两端均设有转轮，所述活动连板朝向转轮的一端中间位置上设有与之相接的抵制件，所述转轮与转杆活动卡合，所述本体安装在工作腔内部。作为
技术实现思路
的进一步优化，所述抵制件包括有对抵杆、弹拉条、三角撑板、接触弧片，所述对抵杆设有两根，两根对抵杆对称连接在三角撑板两侧且两者相扣接，所述三角撑板远离对抵杆的一端设有与之相贴合的接触弧片，两根所述对抵杆之间连接有弹拉条，所述对抵杆连接在活动连板内部。作为
技术实现思路
的进一步优化，所述对抵杆包括有推块、衔接条、弧滑块、引导弯板、弹韧板，所述推块设有两块，两块推块通过衔接条相连接，两块所述推块远离衔接条的一端贴合在引导弯板内壁，所述引导弯板一端与弧滑块固定连接，另一端与弹韧板相扣接，所述弹韧板远离引导弯板的一端与三角撑板相扣接，所述引导弯板与弹拉条相连接，所述引导弯板连接在活动连板内部。作为
技术实现思路
的进一步优化，所述限位元件包括有凹接槽、接板、贴块，所述凹接槽两侧均设有与之相连接的贴块，所述贴块固定连接在接板上，所述接板紧扣在卡持凹盘上。作为
技术实现思路
的进一步优化，所述凹接槽包括有气垫、软板、三角连块、平滑片、防护件，所述气垫设有两块，两块气垫对称连接在三角连块两侧，所述三角连块中间位置设有与之相贴合的软板，所述三角连块朝向软板的一端安装有防护件，所述防护件设有八个，八个防护件平均等分在三角连块两侧，所述三角连块通过气垫与平滑片相连接，所述气垫与贴块相接。作为
技术实现思路
的进一步优化，所述防护件包括有弹簧、形变条、羊角斜块，所述弹簧与形变条相接触，弹簧远离形变条的一端与三角连块相连接，所述形变条两侧均设有与之相扣合的羊角斜块。有益效果本专利技术一种晶圆光刻机，具有以下有益效果：1、本专利技术通过杆体、摩擦板、卡接头的结合设置，卡接头在转轮的作用下带动杆体进行转动，摩擦板会随着卡接头的活动进行顺时针旋转度后，使得两块摩擦板的互相翻转，有效对晶圆进行翻转调整。2、本专利技术通过推块、衔接条、弧滑块、引导弯板、弹韧板的结合设置，弹韧板具有一定的弹韧性，在受到卡接头的推力后会向下活动，引导弯板会在弧滑块的作用下向外活动弯折，两根引导弯板对抵在一起产生互斥力，可以有效对翻转后的杆体卡持。3、本专利技术通过气垫、软板、三角连块、平滑片、防护件的结合设置，晶圆接触在软板上，软板受到晶圆的重力中间位置会向下凹陷，两侧会向内收缩，将三角连块向内牵制会，使得平滑片和防护件会接触在晶圆两端上，有效对晶圆进行定位，防止在翻转过程中出现脱落现象。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本专利技术一种晶圆光刻机的结构示意图；图2为本专利技术调节装置的俯视结构示意图。图3为本专利技术转杆的侧视结构示意图。图4为本专利技术翻转组件的内部结构示意图。图5为本专利技术抵制件的剖面结构示意图。图6为本专利技术对抵杆的内部剖面结构示意图。图7为本专利技术限位元件的侧视平面结构示意图。图8为本专利技术凹接槽的俯视剖面结构示意图。图9为图8中A的放大结构示意图。图中：机体-1、调节装置-2、显示屏-3、通风机-4、指示灯-5、工作腔-6、散热口-7、限位元件-21、转杆-22、翻转组件-23、卡持凹盘-24、牵拉条-25、杆体-221、摩擦板-222、卡接头-223、本体-231、转轮-232、抵制件-233、支杆-234、活动连板-235、对抵杆-331、弹拉条-332、三角撑板-333、接触弧片-334、推块-T1、衔接条-T2、弧滑块-T3、引导弯板-T4、弹韧板-T5、凹接槽-211、接板-212、贴块-213、气垫-111、软板-112、三角连块-113、平滑片-114、防护件-115、弹簧-U1、形变条-U2、羊角斜块-U3。具体实施方式为使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本专利技术。实施例一请参阅图1，本专利技术提供一种技术方案：一种晶圆光刻机，其结构包括机体1、调节装置2、显示屏3、通风机4、指示灯5、工作腔6、散热口7，所述机体1底部设有散热口7，所述机体1与工作腔6连为一体，所述工作腔6内部安装有调节装置2，所述工作腔6与显示屏3通过电线连接，所述显示屏3与指示灯5相接通，所述工作腔6上设有与之相通的通风机4。请参阅图2，所述调节装置2包括有限位元件21、转杆22、翻转组件23、卡持凹盘24、牵拉条25，所述限位元件21设有两个，两个限位元件21对称紧扣在两个卡持凹盘24上，两个所述卡持凹盘24通过牵拉条25相连接，所述卡持凹盘24远离牵拉条25的一端与转杆22固定连接，所述转杆22与翻转组件23活动卡合，所述翻转组件23安装在工作腔6内部。上述的牵拉条25是用于配合卡持凹盘24，将晶圆连接在两块卡持凹盘24之间，通过牵拉条25对两块卡持凹盘24进行牵制，防止晶圆在加工过程中，卡持凹盘2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆光刻机，其结构包括机体(1)、调节装置(2)、显示屏(3)、通风机(4)、指示灯(5)、工作腔(6)、散热口(7)，其特征在于：/n所述机体(1)底部设有散热口(7)，所述机体(1)与工作腔(6)连为一体，所述工作腔(6)内部安装有调节装置(2)，所述工作腔(6)与显示屏(3)、指示灯(5)相通电，所述工作腔(6)上设有与之相通的通风机(4)；/n所述调节装置(2)包括有限位元件(21)、转杆(22)、翻转组件(23)、卡持凹盘(24)、牵拉条(25)，所述限位元件(21)紧扣在卡持凹盘(24)上，所述卡持凹盘(24)与牵拉条(25)相连接，所述卡持凹盘(24)与转杆(22)固定连接，所述转杆(22)与翻转组件(23)活动卡合，所述翻转组件(23)安装在工作腔(6)内部。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆光刻机，其结构包括机体(1)、调节装置(2)、显示屏(3)、通风机(4)、指示灯(5)、工作腔(6)、散热口(7)，其特征在于：
所述机体(1)底部设有散热口(7)，所述机体(1)与工作腔(6)连为一体，所述工作腔(6)内部安装有调节装置(2)，所述工作腔(6)与显示屏(3)、指示灯(5)相通电，所述工作腔(6)上设有与之相通的通风机(4)；
所述调节装置(2)包括有限位元件(21)、转杆(22)、翻转组件(23)、卡持凹盘(24)、牵拉条(25)，所述限位元件(21)紧扣在卡持凹盘(24)上，所述卡持凹盘(24)与牵拉条(25)相连接，所述卡持凹盘(24)与转杆(22)固定连接，所述转杆(22)与翻转组件(23)活动卡合，所述翻转组件(23)安装在工作腔(6)内部。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻机，其特征在于：所述转杆(22)包括有杆体(221)、摩擦板(222)、卡接头(223)，所述杆体(221)上设有卡接头(223)，所述卡接头(223)与摩擦板(222)相套合，所述杆体(221)插嵌在卡持凹盘(24)上，所述卡接头(223)与翻转组件(23)活动卡合。


3.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻机，其特征在于：所述翻转组件(23)包括有本体(231)、转轮(232)、抵制件(233)、支杆(234)、活动连板(235)，所述本体(231)连接有支杆(234)，所述本体(231)上安装有活动连板(235)，所述活动连板(235)两端均设有转轮(232)，所述活动连板(235)上设有抵制件(233)，所述转轮(232)与转杆(22)活动卡合，所述本体(231)安装在工作腔(6)内部。


4.根据权利要求3所述的一种晶圆光刻机，其特征在于：所述抵制件(233)包括有对抵杆(331)、弹拉条(332)、三角撑板(333)、接触弧片(334...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘雪霞，
申请(专利权)人：广州玩聚玩具有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44