一种4H‑SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，包括底座，底座上端固接有支座和支架，传送轴前端连接有传动组件，传送辊上传动连接有传送履带，支撑板上设置有拉伸组件，升降板与固定板之间设置有弹簧，升降板上设置有清扫组件，连杆下端安装有喷胶头；通过传动组件带动托盘及基片间歇性往右输送，对基片输送方便，通过拉伸组件带动清扫刷接触基片，同时通过清扫组件使得清扫刷对基片进行清扫，避免了基片上沾染的各种灰尘异物而导致涂覆光刻胶后表面不平整均匀的情况，通过刮板将基片上的光刻胶刮涂均匀，提高了基片的涂覆效果，本装置同一时间在对多个基片进行加工，避免了现有需要人工一个个装卸进行涂覆，省时省力且极大提高了基片的光刻胶涂覆效率。
【技术实现步骤摘要】
一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置
本技术涉及光刻胶涂覆设备
，具体为一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置。
技术介绍
整流桥就是将整流管封在一个壳内，分全桥和半桥。全桥是将连接好的桥式整流电路的四个二极管封在一起。半桥是将四个二极管桥式整流的一半封在一起，用两个半桥可组成一个桥式整流电路，一个半桥也可以组成变压器带中心抽头的全波整流电路，选择整流桥要考虑整流电路和工作电压。整流桥作为一种功率元器件，非常广泛。应用于各种电源设备。4H是碳化硅的一种常用晶体类型，在对4H-SiC整流桥的生产加工过程中，晶圆基片在进行光刻之前需要进行光刻胶的涂覆，其涂覆质量的好坏直接影响到4H-SiC整流桥的的性能优劣。目前对4H-SiC整流桥的涂覆时，一般是通过人工将基片放在托盘上涂覆完毕后，再关闭装置装卸下一个基片，这种方式要控制多个工位启停，工作强度大，而且光刻胶涂覆效率低，不适用于进行较大的工作量；还有现有的涂覆的基片在搬运装卸过程中，极易沾染各种灰尘异物，会造成待涂覆的基片在涂覆光刻胶后表面不平整均匀，而导致各种不良情况的发生，不能满足4H-SiC整流桥的涂覆质量要求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，以解决上述
技术介绍
中出现的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，包括底座，所述底座上端固接有支座和支架，所述支座上侧转动连接有传送轴，所述传送轴前端连接有传动组件，所述传送轴外壁固接有传送辊，所述传送辊上传动连接有传送履带，所述传送履带外壁均匀固接有若干个连接柱，所述连接柱另一端固接有托盘，所述支架左端固接有固定板、滑轨和支撑板，所述支撑板上设置有拉伸组件，所述滑轨左端滑动连接有滑块，所述滑块左端固接有升降板，所述升降板与固定板之间设置有弹簧，所述升降板上设置有清扫组件，所述升降板下端固接有连杆，所述连杆下端安装有喷胶头，所述喷胶头上端连通有喷胶软管，所述支架上开设有两个通槽。优选的，一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，所述传动组件包括第一电机，所述第一电机设置于底座上端，所述第一电机输出端固接有第一带轮，所述传送轴前端固接有第二带轮，所述第二带轮与第一带轮之间传动连接有第一皮带。优选的，一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，所述拉伸组件包括第二电机和安装座，所述第二电机和安装座设置于支撑板上端，所述安装座前后壁转动连接有转杆，所述转杆后端固接于第二电机输出端，所述转杆外壁设置有绕绳轮，所述绕绳轮上缠绕有牵引绳，所述牵引绳另一端固接于升降板下端。优选的，一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，所述清扫组件包括第一转轴，所述第一转轴转动连接于升降板左侧，所述第一转轴中部固接有第一直齿轮，所述升降板下端设置有第三电机，所述第三电机输出端固接有第二直齿轮，所述第二直齿轮与第一直齿轮啮合传动，所述第一转轴下端安装有清扫刷。优选的，一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，所述升降板中部转动连接有第二转轴，所述第二转轴和第一转轴上端分别固接有第三带轮和第四带轮，所述三带轮和第四带轮之间传动连接有第二皮带，所述第二转轴下端安装有刮板。优选的，一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，所述托盘上端开设有放置槽。本技术的有益效果是：1、本技术结构设计合理，启动第一电机通过第一带轮、第一皮带、第二带轮、传送轴、传送辊和传送履带配合，带动托盘及基片间歇性往右输送，对基片输送方便，避免了人工单次涂覆时只能单次装卸，不但省时省力，而且涂覆效率高。2、第二电机通过转杆、绕绳轮和牵引绳配合，带动升降板和清扫组件下降，清扫刷接触基片，同时第三电机通过第二直齿轮、第一直齿轮和第一转轴配合，带动清扫刷转动对基片进行清扫，避免了基片上沾染的各种灰尘异物而导致涂覆光刻胶后表面不平整均匀的情况，提高了基片的涂覆效果，提高了4H-SiC整流桥的生产质量。3、第一转轴转动同时通过第四带轮、第二皮带和第三带轮配合带动第二转轴和刮板转动，通过刮板将基片上的光刻胶刮涂均匀，提高了基片的涂覆效果，进一步提高了4H-SiC整流桥的质量。4、本装置同一时间在对多个基片进行加工，例如本装置在通过对基片喷胶涂覆的同时清扫刷也对下一个待喷胶涂覆的基片进行清扫，避免了现有需要人工一个个装卸进行涂覆，不但省时省力，而且极大提高了基片的光刻胶涂覆效率，实用性强。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单的介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术结构示意图；图2为本技术传动组件结构示意图；图3为本技术拉伸组件左视结构示意图；图4为本技术清扫组件结构示意图。附图中，各标号所代表的部件列表如下：1-底座，2-支座，3-支架，4-传送轴，5-传动组件，501-第一电机，502-第一带轮，503-第二带轮，504-第一皮带，6-传送辊，7-传送履带，8-连接柱，9-托盘，10-固定板，11-滑轨，12-支撑板，13-拉伸组件，1301-第二电机，1302-安装座，1303-转杆，1304-绕绳轮，1305-牵引绳，14-滑块，15-升降板，16-清扫组件，1601-第一转轴，1602-第一直齿轮，1603-第三电机，1604-第二直齿轮，1605-清扫刷，17-连杆，18-喷胶头，19-喷胶软管，20-弹簧，21-第二转轴，22-第三带轮，23-第四带轮，24-第二皮带，25-刮板，26-放置槽。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。请参阅图1-4所示，本实施例为一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，包括底座1，底座1上端固接有支座2和支架3，支座2上侧转动连接有传送轴4，传送轴4前端连接有传动组件5，传送轴4外壁固接有传送辊6，传送辊6上传动连接有传送履带7，传送履带7外壁均匀固接有若干个连接柱8，连接柱8另一端固接有托盘9，支架3左端固接有固定板10、滑轨11和支撑板12，支撑板12上设置有拉伸组件13，滑轨11左端滑动连接有滑块14，滑块本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端固接有支座(2)和支架(3)，所述支座(2)上侧转动连接有传送轴(4)，所述传送轴(4)前端连接有传动组件(5)，所述传送轴(4)外壁固接有传送辊(6)，所述传送辊(6)上传动连接有传送履带(7)，所述传送履带(7)外壁均匀固接有若干个连接柱(8)，所述连接柱(8)另一端固接有托盘(9)，所述支架(3)左端固接有固定板(10)、滑轨(11)和支撑板(12)，所述支撑板(12)上设置有拉伸组件(13)，所述滑轨(11)左端滑动连接有滑块(14)，所述滑块(14)左端固接有升降板(15)，所述升降板(15)与固定板(10)之间设置有弹簧(20)，所述升降板(15)上设置有清扫组件(16)，所述升降板(15)下端固接有连杆(17)，所述连杆(17)下端安装有喷胶头(18)，所述喷胶头(18)上端连通有喷胶软管(19)，所述支架(3)上开设有两个通槽。/n
【技术特征摘要】
1.一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端固接有支座(2)和支架(3)，所述支座(2)上侧转动连接有传送轴(4)，所述传送轴(4)前端连接有传动组件(5)，所述传送轴(4)外壁固接有传送辊(6)，所述传送辊(6)上传动连接有传送履带(7)，所述传送履带(7)外壁均匀固接有若干个连接柱(8)，所述连接柱(8)另一端固接有托盘(9)，所述支架(3)左端固接有固定板(10)、滑轨(11)和支撑板(12)，所述支撑板(12)上设置有拉伸组件(13)，所述滑轨(11)左端滑动连接有滑块(14)，所述滑块(14)左端固接有升降板(15)，所述升降板(15)与固定板(10)之间设置有弹簧(20)，所述升降板(15)上设置有清扫组件(16)，所述升降板(15)下端固接有连杆(17)，所述连杆(17)下端安装有喷胶头(18)，所述喷胶头(18)上端连通有喷胶软管(19)，所述支架(3)上开设有两个通槽。
2.根据权利要求1所述的一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，其特征在于：所述传动组件(5)包括第一电机(501)，所述第一电机(501)设置于底座(1)上端，所述第一电机(501)输出端固接有第一带轮(502)，所述传送轴(4)前端固接有第二带轮(503)，所述第二带轮(503)与第一带轮(502)之间传动连接有第一皮带(504)。
3.根据权利要求1所述的一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，其特征在于：所述拉伸组件(13)包括第二电机(13...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡明挽，
申请(专利权)人：广东深科电子有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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