一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，包括箱体，箱体右侧的中端固定安装有伺服电机，伺服电机的输出端贯穿箱体右侧中端的内表面固定连接有螺纹杆，且螺纹杆的左侧活动连接于箱体内腔左侧的中端，箱体上下两端的内表面均开设有滑槽，滑槽内腔的右端均滑动连接有滑块，滑块的内侧固定连接有活动板，活动板上下两端的内表面均开设有滑孔，活动板中端的内表面开设有螺纹槽，螺纹杆右端的外表面螺纹连接于螺纹槽的内腔。本实用新型专利技术设置了滑槽、螺纹杆、滑块和滑杆，达到了稳定的目的，解决了现有的相干探测显微镜不具备稳定性好的功能，导致满足不了人们使用需求的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜
本技术涉及半导体检测
，具体为一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜。
技术介绍
半导体器件生产中，为了确保产品性能合格、稳定可靠，并有高的成品率，根据各种产品的生产情况，对所有工艺步骤都要有严格的具体要求，其中涉及到相干探测显微镜，而现有的相干探测显微镜不具备稳定性好的功能，导致满足不了人们的使用需求，为此，我们提出一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，包括箱体，所述箱体右侧的中端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端贯穿箱体右侧中端的内表面固定连接有螺纹杆，且螺纹杆的左侧活动连接于箱体内腔左侧的中端，所述箱体上下两端的内表面均开设有滑槽，所述滑槽内腔的右端均滑动连接有滑块，所述滑块的内侧固定连接有活动板，所述活动板上下两端的内表面均开设有滑孔，所述活动板中端的内表面开设有螺纹槽，所述螺纹杆右端的外表面螺纹连接于螺纹槽的内腔，所述箱体内腔的上下两端均固定连接有滑杆，所述滑杆右端的外表面滑动连接于滑孔的内腔。优选的，所述滑块的顶部固定连接有底座，所述底座的顶部设置有支架。优选的，所述支架左侧的上端设置有镜筒，所述镜筒的右下端设置有调节螺丝，所述支架左侧的下端固定连接有放置架。优选的，所述镜筒的顶部设置有目镜，所述镜筒的底部设置有物镜。优选的，所述箱体底部的四周均固定连接有支撑腿，且支撑腿的底部均设置有防滑垫。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：本技术设置了滑槽、螺纹杆、滑块和滑杆，通过外置控制器开启伺服电机工作，伺服电机带动螺纹杆转动，螺纹杆通过螺纹槽带动活动板左右移动，活动板通过滑孔在滑杆的外表面左右滑动，稳定活动板的左右运动，活动板带动滑块在滑槽的内腔左右运动，滑块带动底座平稳的左右运动，达到了稳定的目的，解决了现有的相干探测显微镜不具备稳定性好的功能，导致满足不了人们使用需求的问题。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术箱体剖视结构示意图；图3为本技术活动板剖视结构示意图。图中：1、箱体；2、支撑腿；3、放置架；4、物镜；5、镜筒；6、目镜；7、调节螺丝；8、支架；9、底座；10、伺服电机；11、螺纹槽；12、滑槽；13、螺纹杆；14、滑块；15、滑杆；16、活动板；17、滑孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。本技术的箱体1、支撑腿2、放置架3、物镜4、镜筒5、目镜6、调节螺丝7、支架8、底座9、伺服电机10、螺纹槽11、滑槽12、螺纹杆13、滑块14、滑杆15、活动板16和滑孔17部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。请参阅图1-3，一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，包括箱体1，箱体1底部的四周均固定连接有支撑腿2，且支撑腿2的底部均设置有防滑垫，箱体1右侧的中端固定安装有伺服电机10，伺服电机10的输出端贯穿箱体1右侧中端的内表面固定连接有螺纹杆13，且螺纹杆13的左侧活动连接于箱体1内腔左侧的中端，箱体1上下两端的内表面均开设有滑槽12，滑槽12内腔的右端均滑动连接有滑块14，滑块14的顶部固定连接有底座9，底座9的顶部设置有支架8，支架8左侧的上端设置有镜筒5，镜筒5的右下端设置有调节螺丝7，支架8左侧的下端固定连接有放置架3，镜筒5的顶部设置有目镜6，镜筒5的底部设置有物镜4，滑块14的内侧固定连接有活动板16，活动板16上下两端的内表面均开设有滑孔17，活动板16中端的内表面开设有螺纹槽11，螺纹杆13右端的外表面螺纹连接于螺纹槽11的内腔，箱体1内腔的上下两端均固定连接有滑杆15，滑杆15右端的外表面滑动连接于滑孔17的内腔，设置了滑槽12、螺纹杆13、滑块14和滑杆15，通过外置控制器开启伺服电机10工作，伺服电机10带动螺纹杆13转动，螺纹杆13通过螺纹槽11带动活动板16左右移动，活动板16通过滑孔17在滑杆15的外表面左右滑动，稳定活动板16的左右运动，活动板16带动滑块14在滑槽12的内腔左右运动，滑块14带动底座9平稳的左右运动，达到了稳定的目的，本申请中外置控制器为PLC控制器，同时，外置控制器的两个接线端通过导线连接有电源插头，且本申请中采用市电进行供电。使用时，设置了滑槽12、螺纹杆13、滑块14和滑杆15，通过外置控制器开启伺服电机10工作，伺服电机10带动螺纹杆13转动，螺纹杆13通过螺纹槽11带动活动板16左右移动，活动板16通过滑孔17在滑杆15的外表面左右滑动，稳定活动板16的左右运动，活动板16带动滑块14在滑槽12的内腔左右运动，滑块14带动底座9平稳的左右运动，达到了稳定的目的，解决了现有的相干探测显微镜不具备稳定性好的功能，导致满足不了人们使用需求的问题。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）右侧的中端固定安装有伺服电机（10），所述伺服电机（10）的输出端贯穿箱体（1）右侧中端的内表面固定连接有螺纹杆（13），且螺纹杆（13）的左侧活动连接于箱体（1）内腔左侧的中端，所述箱体（1）上下两端的内表面均开设有滑槽（12），所述滑槽（12）内腔的右端均滑动连接有滑块（14），所述滑块（14）的内侧固定连接有活动板（16），所述活动板（16）上下两端的内表面均开设有滑孔（17），所述活动板（16）中端的内表面开设有螺纹槽（11），所述螺纹杆（13）右端的外表面螺纹连接于螺纹槽（11）的内腔，所述箱体（1）内腔的上下两端均固定连接有滑杆（15），所述滑杆（15）右端的外表面滑动连接于滑孔（17）的内腔。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）右侧的中端固定安装有伺服电机（10），所述伺服电机（10）的输出端贯穿箱体（1）右侧中端的内表面固定连接有螺纹杆（13），且螺纹杆（13）的左侧活动连接于箱体（1）内腔左侧的中端，所述箱体（1）上下两端的内表面均开设有滑槽（12），所述滑槽（12）内腔的右端均滑动连接有滑块（14），所述滑块（14）的内侧固定连接有活动板（16），所述活动板（16）上下两端的内表面均开设有滑孔（17），所述活动板（16）中端的内表面开设有螺纹槽（11），所述螺纹杆（13）右端的外表面螺纹连接于螺纹槽（11）的内腔，所述箱体（1）内腔的上下两端均固定连接有滑杆（15），所述滑杆（15）右端的外表面滑动连接于滑孔（17）的内腔。


2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张富军，
申请(专利权)人：上海垚智电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31