蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模制造技术

本实用新型专利技术涉及蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模。具备带状部和包围带状部的框状部。带状部具备形成有多个掩模孔的掩模部和包围掩模部的周边部。周边部以及框状部具有第一板厚。带状部的边缘包括第一边缘和第二边缘。第一边缘包括在带状部的宽度方向上与掩模部对置的部分。将第一边缘从框状部分离的分离部位于第一边缘与框状部之间。具有比第一板厚薄的第二板厚的线状的半蚀刻部位于第二边缘与框状部之间。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模
本技术涉及蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模。
技术介绍
在使用了卷对卷(rolltoroll)方式的蒸镀掩模的制造中，在从卷出辊向卷取辊输送金属片材的期间，针对金属片材进行蚀刻等各种处理。在蒸镀掩模的制造过程中，由金属片材形成蒸镀掩模中间体。蒸镀掩模中间体例如具备用于形成蒸镀掩模的带状部和包围带状部的框状部。带状部的边缘包括沿着金属片材的输送方向延伸的长边和沿着金属片材的宽度方向延伸的短边。长边被从框状部切断即被从框状部分离，另一方面，短边通过齿孔与框状部连接。通过齿孔的切断使得带状部被从框状部切断，从而由带状部形成蒸镀掩模(例如，参照专利文献1)。[专利文献1]日本特开2015-55007号公报然而，在将带状部从框状部切断的工序中，对于蒸镀掩模中间体，带状部与框状部的边界被赋予切断用的外力。从抑制带状部变形这一情况的观点出发，希望对带状部与框状部的边界赋予的外力十分小。另一方面，如果为了将框状部从带状部切断所需要的外力过小，则通过在蒸镀掩模中间体的输送时作用于带状部的外力，会导致带状部被从框状部切断。鉴于此，对蒸镀掩模中间体而言，要求在蒸镀掩模中间体的输送时确保带状部与框状部的连接并且在从带状部获得蒸镀掩模时带状部容易切断、即容易从框状部切除带状部。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供在蒸镀掩模中间体的输送时能够确保带状部与框状部的连接、并且在蒸镀掩模的制造时能够容易切断带状部的蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模。用于解决上述课题的蒸镀掩模中间体具备带状部和包围所述带状部的框状部。所述带状部具备形成有多个掩模孔的掩模部和包围所述掩模部的周边部。所述周边部以及所述框状部具有第一板厚。所述带状部的边缘包括第一边缘和第二边缘，所述第一边缘包括在所述带状部的宽度方向上与所述掩模部对置的部分，将所述第一边缘从所述框状部分离的分离部位于所述第一边缘与所述框状部之间，具有比所述第一板厚薄的第二板厚的线状的半蚀刻部位于所述第二边缘与所述框状部之间。用于解决上述课题的蒸镀掩模是具备形成有多个掩模孔的掩模部、包围所述掩模部的周边部、以及具有带状的边缘的蒸镀掩模。所述边缘包括第一边缘和第二边缘，所述第一边缘包括在所述蒸镀掩模的宽度方向上与所述掩模部对置的部分。蒸镀掩模还具备位于所述第二边缘的切断痕。根据上述蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模，相比于带状部通过齿孔与框状部连接的情况，在带状部与框状部的连接部分的整体中能够减少该连接部分的厚度。因此，与将齿孔中的贯通部间切断的情况相比，能够通过更小的力将带状部与框状部的连接部分切断。因此，在蒸镀掩模的制造时，容易从框状部裁去带状部。另一方面，在蒸镀掩模中间体的输送时，由将带状部的边缘中的第二边缘从框状部划分的线状的半蚀刻部来确保带状部与框状部的连接。在上述蒸镀掩模中间体中，所述线状的半蚀刻部具有沿着所述线状半蚀刻部延伸的方向排列的一个以上的贯通部，所述贯通部在所述蒸镀掩模中间体的厚度方向上贯通所述蒸镀掩模中间体。根据该蒸镀掩模中间体，该半蚀刻部容易沿着线状的半蚀刻部延伸的方向以线状的半蚀刻部具有贯通部的量被切断。在上述蒸镀掩模中间体中，所述带状部的所述边缘包括沿着所述带状部的所述宽度方向延伸的一对短边，各短边具有朝向另一个所述短边凹陷的切口，所述带状部的所述边缘中的所述第一边缘以及所述切口以外的部分的至少一部分是所述第二边缘，所述半蚀刻线具有沿着所述第二边缘的形状，所述切口通过所述分离部被从所述框状部分离。通过带状部被从框状部切断而从带状部形成的蒸镀掩模在蒸镀掩模的使用时被安装于对蒸镀掩模进行支承的框架。此时，为了抑制在蒸镀掩模产生褶皱，一边将蒸镀掩模的边缘中的一对短边朝向远离另一个短边的方向拉动一边将蒸镀掩模安装于框架。在半蚀刻部的切断痕位于带状部的边缘中的短边所具有的切口的情况下，会在蒸镀掩模产生因切断痕引起的褶皱。关于该点，根据上述蒸镀掩模中间体，由于半蚀刻部的切断痕不位于切口，所以在蒸镀掩模的使用时可抑制在蒸镀掩模产生褶皱这一情况。在上述蒸镀掩模中间体中，所述带状部的所述边缘具备被所述一对短边和一对长边划分的矩形状，所述第二边缘包括由所述短边和所述长边形成的角部，所述半蚀刻线包括沿着所述角部的具有L字状的部分。根据上述蒸镀掩模中间体，由于带状部的边缘所包含的角部通过半蚀刻部而与框状部连接，所以在蒸镀掩模中间体的输送时，能够抑制带状部的边缘中的角部与带状部中的其他部分相比从框状部浮起这一情况。由此，在蒸镀掩模中间体的输送时，能够抑制因角部勾挂到蒸镀掩模中间体的周围设置的设备等而带状部发生变形这一情况。在上述蒸镀掩模中间体中，所述框状部具备具有从所述分离部朝向所述框状部的外侧边缘延伸的线状的脆弱部，所述脆弱部的机械强度比所述框状部中的所述脆弱部以外的部分的机械强度低。根据上述蒸镀掩模中间体，由于脆弱部的机械强度比框状部中的脆弱部以外的部分的机械强度低，所以框状部容易沿着脆弱部被切断。并且，由于脆弱部中的一方端部与分离部相连，所以在从框状部取下带状部时能够将框状部形成的环切断。由此，容易进行半蚀刻部的切断。技术的效果根据本技术，在蒸镀掩模中间体的输送时会确保带状部与框状部的连接，并且在蒸镀掩模的制造时带状部容易切断。附图说明图1是表示一个实施方式中的蒸镀掩模中间体的构造的俯视图。图2是表示图1所示的蒸镀掩模中间体的构造中的第一例的局部俯视图。图3是表示图1所示的蒸镀掩模中间体的构造中的第二例的局部俯视图。图4是表示沿着图1的IV-IV线的构造的剖视图。图5是表示沿着图1的V-V线的构造的剖视图。图6是表示图1所示的带状部具备的掩模孔的构造中的第一例的剖视图。图7是表示图1所示的带状部具备的掩模孔的构造中的第二例的剖视图。图8是表示具备由图1所示的蒸镀掩模中间体形成的蒸镀掩模的掩模装置的构造的俯视图。图9是表示图8的区域A中的构造的第一例的俯视图。图10是表示图8的区域A中的构造的第二例的俯视图。图11是表示蒸镀掩模中间体的第一变更例中的构造的俯视图。图12是将上游侧脆弱部中的上游端部的构造放大表示的俯视图。图13是将下游侧脆弱部中的下游端部的构造放大表示的俯视图。图14是将图11所示的切断线的第一例中的一部分放大表示的俯视图。图15是将图11所示的切断线的第二例中的一部分放大表示的俯视图。图16是将图11所示的切断线的第三例中的一部分放大表示的俯视图。图17是表示蒸镀掩模中间体的第二变更例中的构造的俯视图。附图标记说明：10…蒸镀掩模中间体；11…带状部；12…框状部；13…切断线；14…半蚀刻线；20…掩模装置；21…框架；31…蒸镀掩模。具体实施方式参照图1至图10，对蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模的一个实施方式进行说明。以下，按顺序对蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模进行说明。...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模中间体，其特征在于，/n具备带状部以及包围所述带状部的框状部，/n所述带状部具备：/n形成有多个掩模孔的掩模部；以及/n包围所述掩模部的周边部，/n所述周边部以及所述框状部具有第一板厚，/n所述带状部的边缘包括第一边缘和第二边缘，/n所述第一边缘包括在所述带状部的宽度方向上与所述掩模部对置的部分，/n从所述框状部分离所述第一边缘的分离部，位于所述第一边缘与所述框状部之间，/n具有比所述第一板厚薄的第二板厚的线状的半蚀刻部，位于所述第二边缘与所述框状部之间。/n

【技术特征摘要】
20190906 JP 2019-1628081.一种蒸镀掩模中间体，其特征在于，
具备带状部以及包围所述带状部的框状部，
所述带状部具备：
形成有多个掩模孔的掩模部；以及
包围所述掩模部的周边部，
所述周边部以及所述框状部具有第一板厚，
所述带状部的边缘包括第一边缘和第二边缘，
所述第一边缘包括在所述带状部的宽度方向上与所述掩模部对置的部分，
从所述框状部分离所述第一边缘的分离部，位于所述第一边缘与所述框状部之间，
具有比所述第一板厚薄的第二板厚的线状的半蚀刻部，位于所述第二边缘与所述框状部之间。


2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模中间体，其特征在于，
所述线状的半蚀刻部具有沿着所述线状的半蚀刻部延伸的方向排列的一个以上的贯通部，所述贯通部在所述蒸镀掩模中间体的厚度方向上贯通所述蒸镀掩模中间体。


3.根据权利要求1所述的蒸镀掩模中间体，其特征在于，
所述带状部的所述边缘包括沿着所述带...

【专利技术属性】
技术研发人员：松隈香，相川建一郎，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP