一种具有旋转挂架机构的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有旋转挂架机构的真空镀膜机，包括镀膜腔、左膜腔、右膜腔和支架装置，所述镀膜腔为半圆柱形，所述镀膜腔中心开设有正面中心开设有半圆柱形凹槽，所述镀膜腔一侧通过铰链转动连接有左膜腔，所述镀膜腔另一侧通过铰链转动连接有右膜腔，所述左膜腔和所述右膜腔内部中心开设有半圆柱形凹槽，所述左膜腔和所述右膜腔内部中心凹槽与所述镀膜腔内部中心凹槽相匹配，且组合成圆柱体，所述镀膜腔底端表面固定焊接有底座；该装置在使用时，通过设置有支架体，旋转过程中，由于离心力的作用会向两侧进行拉伸，保持一个扩张状态，提高靶材之间的间隔，提高镀膜速率，提高镀膜的品质，不会使得靶材相互拥挤，影响镀膜效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种具有旋转挂架机构的真空镀膜机


[0001]本技术涉及一种潜水搅拌装置，特别涉及一种具有旋转挂架机构的真空镀膜机，属于污水处理技术


技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种；然而，现有的真空镀膜机旋转挂架在使用时对靶材的固定不够紧密，而且不能根据靶材的形状和体积进行伸缩变化，使得靶材镀膜不够均匀，镀膜效果不好。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种具有旋转挂架机构的真空镀膜机，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上的现有的真空镀膜机旋转挂架在使用时对靶材的固定不够紧密，而且不能根据靶材的形状和体积进行伸缩变化，使得靶材镀膜不够均匀，镀膜效果不好的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：包括镀膜腔、左膜腔、右膜腔和支架装置，所述镀膜腔为半圆柱形，所述镀膜腔中心开设有正面中心开设有半圆柱形凹槽，所述镀膜腔一侧通过铰链转动连接有左膜腔，所述镀膜腔另一侧通过铰链转动连接有右膜腔，所述左膜腔和所述右膜腔内部中心开设有半圆柱形凹槽，所述左膜腔和所述右膜腔内部中心凹槽与所述镀膜腔内部中心凹槽相匹配，且组合成圆柱体，所述左膜腔和所述右膜腔内部中心转动连接有支架装置，所述镀膜腔底端表面固定焊接有底座。
[0005]作为本技术的一种优选技术方案，所述支架装置包括支架体、第一固定盘和第二固定盘，所述支架体为矩形框架，所述支架体在所述第一固定盘两侧对称固定焊接有两个，所述第一固定盘呈三边形柱体，且顶面开设有转动轴连接孔，所述第一固定盘和所述第二固定盘之间固定焊接有两根支撑柱，所述支撑柱设置有两根，且相较于所述第二固定盘中心对称，所述第二固定盘呈圆盘型，底部表面连接有转动装置。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案，所述支架体顶底端支杆均设置有三根，且通过设置有转动结构进行连接，所述转动结构为转动连接结构，所述转动结构内转轴外侧表面套接有扭簧，所述支架体通过设置有转动结构保持波浪形弯折结构。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述支撑柱外侧表面均匀设置有悬挂支杆，所述悬挂支杆垂直于所述支撑柱外侧表面，两个所述支撑柱外侧表面设置的所述悬挂支杆相对称。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述悬挂支杆还包括支杆体，所述支杆体为圆柱体，所述悬挂支杆外侧表面均匀凸起有间隔柱，所述间隔柱通过螺纹连接于所述支杆体表面，所述支杆体顶端凸起有螺纹杆。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述支架装置一半体积位于所述左膜腔内
部中心，且另一半位于所述左膜腔外侧，所述左膜腔横切面与所述镀膜腔横切面相匹配，且连接面设置有密封胶条。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该装置在使用时，通过设置有支架体，可在对靶材进行镀膜时，通过转动结构进行拉伸或收缩，通过在转动结构转动轴内部设置有扭簧，若将靶材包裹于支架体外侧表面进行固定，通过扭簧所产生的弹力，可将靶材向外扩张进行固定，通过设置有悬挂支杆，可将悬挂靶材进行悬挂固定，并且通过设置有螺纹杆进行螺纹连接，可根据需要进行拆卸，同时设置有间隔柱可可根据固定需求进行拆卸，方便对悬挂式靶材进行进行固定，通过设置有对称形式的支架体，悬挂时可使其保持正常舒展状态，旋转过程中，由于离心力的作用会向两侧进行拉伸，保持一个扩张状态，提高靶材之间的间隔，提高镀膜速率，提高镀膜的品质，不会使得靶材相互拥挤，影响镀膜效果。
附图说明
[0011]图1为本技术主视结构示意图；
[0012]图2为本技术侧视结构示意图；
[0013]图3为本技术俯视结构示意图；
[0014]图4为本技术俯视结构示意图。
[0015]图中：1、镀膜腔；2、左膜腔；3、右膜腔；4、支架装置；401、支架体；402、第一固定盘；403、支撑柱；404、第二固定盘；405、悬挂支杆；406、转动结构；407、支杆体；408、间隔柱；409、螺纹杆；5、底座。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：包括镀膜腔1、左膜腔2、右膜腔3和支架装置4，所述镀膜腔1为半圆柱形，所述镀膜腔1中心开设有正面中心开设有半圆柱形凹槽，所述镀膜腔1一侧通过铰链转动连接有左膜腔2，所述镀膜腔1另一侧通过铰链转动连接有右膜腔3，所述左膜腔2和所述右膜腔3内部中心开设有半圆柱形凹槽，所述左膜腔2和所述右膜腔3内部中心凹槽与所述镀膜腔1内部中心凹槽相匹配，且组合成圆柱体，所述左膜腔2和所述右膜腔3内部中心转动连接有支架装置4，所述镀膜腔1底端表面固定焊接有底座5。
[0018]优选的，所述支架装置4包括支架体401、第一固定盘402和第二固定盘404，所述支架体401为矩形框架，所述支架体401在所述第一固定盘402两侧对称固定焊接有两个，所述第一固定盘402呈三边形柱体，且顶面开设有转动轴连接孔，所述第一固定盘402和所述第二固定盘404之间固定焊接有两根支撑柱403，所述支撑柱403设置有两根，且相较于所述第二固定盘404中心对称，所述第二固定盘404呈圆盘型，底部表面连接有转动装置。
[0019]优选的，所述支架体401顶底端支杆均设置有三根，且通过设置有转动结构406进行连接，所述转动结构406为转动连接结构，所述转动结构406内转轴外侧表面套接有扭簧，
所述支架体401通过设置有转动结构406保持波浪形弯折结构。
[0020]优选的，所述支撑柱403外侧表面均匀设置有悬挂支杆405，所述悬挂支杆405垂直于所述支撑柱403外侧表面，两个所述支撑柱403外侧表面设置的所述悬挂支杆405相对称。
[0021]优选的，所述悬挂支杆405还包括支杆体407，所述支杆体407为圆柱体，所述悬挂支杆405外侧表面均匀凸起有间隔柱408，所述间隔柱408通过螺纹连接于所述支杆体407表面，所述支杆体407顶端凸起有螺纹杆409。
[0022]优选的，所述支架装置4一半体积位于所述左膜腔2内部中心，且另一半位于所述左膜腔2外侧，所述左膜腔2横切面与所述镀膜腔1横切面相匹配，且连接面设置有密封胶条。
[0023]工作原理：在使用时，通过设置有支架体401，可在对靶材进行镀膜时，通过转动结构406进行拉伸或收缩，通过在转动结构406转动轴内部设置有扭簧，若将靶材包裹于支架体401外侧表面进行固定，通过扭簧所产生的弹力，可将靶材向外扩张进行固定，通过设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有旋转挂架机构的真空镀膜机，包括镀膜腔（1）、左膜腔（2）、右膜腔（3）和支架装置（4），其特征在于：所述镀膜腔（1）为半圆柱形，所述镀膜腔（1）中心开设有正面中心开设有半圆柱形凹槽，所述镀膜腔（1）一侧通过铰链转动连接有左膜腔（2），所述镀膜腔（1）另一侧通过铰链转动连接有右膜腔（3），所述左膜腔（2）和所述右膜腔（3）内部中心开设有半圆柱形凹槽，所述左膜腔（2）和所述右膜腔（3）内部中心凹槽与所述镀膜腔（1）内部中心凹槽相匹配，且组合成圆柱体，所述左膜腔（2）和所述右膜腔（3）内部中心转动连接有支架装置（4），所述镀膜腔（1）底端表面固定焊接有底座（5）。2.根据权利要求1所述的一种具有旋转挂架机构的真空镀膜机，其特征在于：所述支架装置（4）包括支架体（401）、第一固定盘（402）和第二固定盘（404），所述支架体（401）为矩形框架，所述支架体（401）在所述第一固定盘（402）两侧对称固定焊接有两个，所述第一固定盘（402）呈三边形柱体，且顶面开设有转动轴连接孔，所述第一固定盘（402）和所述第二固定盘（404）之间固定焊接有两根支撑柱（403），所述支撑柱（403）设置有两根，且相较于所述第二固定盘（404）中心对称，所述第二固定盘（404）呈圆盘型，底部表面连接有转动装置。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：李龙辉，
申请(专利权)人：佛山市百思特电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：