一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，包括机箱，所述机箱的顶部固定连接有成像椭偏仪本体，所述机箱的右侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面套设有螺纹套，所述螺纹套的顶部固定连接有安装板。本实用新型专利技术通过驱动电机、螺纹杆、螺纹套、安装板、液压伸缩缸、转轮、连接杆、微型电机、传动机构和放置槽的配合，驱动电机的输出轴通过螺纹杆带动螺纹套左右移动，通过液压伸缩缸带动转轮上下移动，调节高度，微型电机的输出轴通过齿轮和圆形齿牙板带动转轮旋转，调节被测物体的角度，从而达到测量精准度高的效果，解决了现有装置测量精准度低的问题。现有装置测量精准度低的问题。现有装置测量精准度低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪


[0001]本技术涉及半导体检测
，具体为一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪。

技术介绍

[0002]椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器，椭偏技术是测量检测薄膜的介电性质（复折射系数或介电函数）、膜厚以及表面形貌的一种光学测量技术，成像椭偏仪可对微区薄膜进行分析，也可实现动态的椭偏测量，并和其他各种技术联用，现有的椭偏仪不能对被测物体的位置和角度进行调节，导致测量数据的精准度有所下降。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，具备测量精准度高的优点，解决了现有装置测量精准度低的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，包括机箱，所述机箱的顶部固定连接有成像椭偏仪本体，所述机箱的右侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面套设有螺纹套，所述螺纹套的顶部固定连接有安装板，所述安装板的顶部固定连接有液压伸缩缸，所述液压伸缩缸的顶部通过轴承座活动连接有转轮，所述液压伸缩缸的右侧固定连接有连接杆，所述连接杆的右侧固定连接有微型电机，所述微型电机的输出轴固定连接有传动机构，所述转轮的顶部设置有放置槽。
[0005]优选的，所述安装板的底部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底部固定连接有滑轮，所述滑轮的底部滑动连接有滑槽。
[0006]优选的，所述传动机构包括齿轮和圆形齿牙板，所述微型电机的输出轴固定连接有齿轮，所述齿轮的表面啮合有圆形齿牙板，所述圆形齿牙板的内侧与转轮的表面固定连接。
[0007]优选的，所述放置槽内腔的左右两侧均固定连接有弹簧，所述弹簧的另一端固定连接有固定板。
[0008]优选的，所述机箱的正面设置有控制箱，所述机箱的顶部设置有限位槽。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0010]1、本技术通过驱动电机、螺纹杆、螺纹套、安装板、液压伸缩缸、转轮、连接杆、微型电机、传动机构和放置槽的配合，驱动电机的输出轴通过螺纹杆带动螺纹套左右移动，通过液压伸缩缸带动转轮上下移动，调节高度，微型电机的输出轴通过齿轮和圆形齿牙板带动转轮旋转，调节被测物体的角度，从而达到测量精准度高的效果，解决了现有装置测量精准度低的问题。
[0011]2、本技术通过支撑杆、滑轮和滑槽的配合，便于对安装板进行支撑，提高安装
板移动的流畅性，通过弹簧和固定板的配合，便于对被测物体进行固定，避免被测物体在调节角度的过程中晃动。
附图说明
[0012]图1为本技术结构示意图；
[0013]图2为本技术图1中A处局部放大图；
[0014]图3为本技术结构主视图。
[0015]图中：1、机箱；2、成像椭偏仪本体；3、驱动电机；4、螺纹杆；5、螺纹套；6、安装板；7、液压伸缩缸；8、转轮；9、微型电机；10、传动机构；101、齿轮；102、圆形齿牙板；11、放置槽；12、支撑杆；13、滑轮；14、滑槽；15、弹簧；16、固定板；17、控制箱；18、限位槽；19、连接杆。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
‑
3，一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，包括机箱1，机箱1的正面设置有控制箱17，机箱1的顶部设置有限位槽18，通过支撑杆12、滑轮13和滑槽14的配合，便于对安装板6进行支撑，提高安装板6移动的流畅性，通过弹簧15和固定板16的配合，便于对被测物体进行固定，避免被测物体在调节角度的过程中晃动，机箱1的顶部固定连接有成像椭偏仪本体2，机箱1的右侧固定连接有驱动电机3，驱动电机3的输出轴固定连接有螺纹杆4，螺纹杆4的表面套设有螺纹套5，螺纹套5的顶部固定连接有安装板6，安装板6的底部固定连接有支撑杆12，支撑杆12的底部固定连接有滑轮13，滑轮13的底部滑动连接有滑槽14，安装板6的顶部固定连接有液压伸缩缸7，液压伸缩缸7的顶部通过轴承座活动连接有转轮8，液压伸缩缸7的右侧固定连接有连接杆19，连接杆19的右侧固定连接有微型电机9，微型电机9的输出轴固定连接有传动机构10，传动机构10包括齿轮101和圆形齿牙板102，微型电机9的输出轴固定连接有齿轮101，齿轮101的表面啮合有圆形齿牙板102，圆形齿牙板102的内侧与转轮8的表面固定连接，转轮8的顶部设置有放置槽11，放置槽11内腔的左右两侧均固定连接有弹簧15，弹簧15的另一端固定连接有固定板16，通过驱动电机3、螺纹杆4、螺纹套5、安装板6、液压伸缩缸7、转轮8、连接杆19、微型电机9、传动机构10和放置槽11的配合，驱动电机3的输出轴通过螺纹杆4带动螺纹套5左右移动，通过液压伸缩缸7带动转轮8上下移动，调节高度，微型电机9的输出轴通过齿轮101和圆形齿牙板102带动转轮8旋转，调节被测物体的角度，从而达到测量精准度高的效果，解决了现有装置测量精准度低的问题。
[0018]使用时，将被测物体放置在放置槽11中，通过弹簧15和固定板16的作用，便于对被测物体进行固定，避免被测物体在调节角度的过程中晃动，驱动电机3的输出轴通过螺纹杆4带动螺纹套5左右移动，通过液压伸缩缸7带动转轮8上下移动，调节高度，微型电机9的输出轴通过齿轮101和圆形齿牙板102带动转轮8旋转，调节被测物体的角度，从而达到测量精准度高的效果。
[0019]在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
[0020]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，包括机箱（1），其特征在于：所述机箱（1）的顶部固定连接有成像椭偏仪本体（2），所述机箱（1）的右侧固定连接有驱动电机（3），所述驱动电机（3）的输出轴固定连接有螺纹杆（4），所述螺纹杆（4）的表面套设有螺纹套（5），所述螺纹套（5）的顶部固定连接有安装板（6），所述安装板（6）的顶部固定连接有液压伸缩缸（7），所述液压伸缩缸（7）的顶部通过轴承座活动连接有转轮（8），所述液压伸缩缸（7）的右侧固定连接有连接杆（19），所述连接杆（19）的右侧固定连接有微型电机（9），所述微型电机（9）的输出轴固定连接有传动机构（10），所述转轮（8）的顶部设置有放置槽（11）。2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，其特征在于：所述安装板（6）的底部固定连接有支撑杆（12），所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎君玲，张弓，
申请(专利权)人：张弓，
类型：新型
国别省市：