一种石墨舟和石墨舟镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种石墨舟和石墨舟镀膜设备，涉及太阳能电池技术领域，以解决石墨舟片容易松动的问题。该石墨舟包括M个石墨舟片以及多列用于固定M个石墨舟片的绝缘固定件。每列绝缘固定件为一体式结构或分体式结构，一体式结构的绝缘固定件包含一个绝缘固定单元，分体式结构的绝缘固定件包含两个以上绝缘固定单元。每个绝缘固定单元通过开设的凹槽与相应石墨舟片卡接在一起。各列绝缘固定件中绝缘固定单元的数量、分布设置成，使M个石墨舟片的间距得以固定。本实用新型专利技术提供的石墨舟和石墨舟镀膜设备用于等离子体增强化学气相淀积镀膜工艺。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟和石墨舟镀膜设备
本技术涉及太阳能电池
，尤其涉及一种石墨舟和石墨舟镀膜设备。
技术介绍
太阳能电池片的制作流程主要包括表面制绒、扩散制结、后清洗、表面镀膜、丝网印刷和高温烧结等步骤。其中，表面镀膜工艺，主要是采用等离子体增强化学气相沉积法(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，缩写为PECVD)在已经形成PN结的硅片表面形成减反射膜，以提高最终所制作的太阳能电池片的光电转换效率。在硅片表面镀膜的过程中，硅片挂设在石墨舟的石墨舟片上，多个石墨舟片通过陶瓷螺杆和石墨螺母固定连接。挂设有硅片的石墨舟置于镀膜设备中，进行镀膜处理。但是，在石墨舟长时间工作后，固定石墨舟片的陶瓷螺杆和石墨螺母容易松动，导致石墨舟片松动。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种石墨舟和石墨舟镀膜设备，以解决石墨舟片容易松动的问题。第一方面，本技术提供一种石墨舟。该石墨舟包括M个石墨舟片以及多列用于固定M个石墨舟片的绝缘固定件。每列绝缘固定件为一体式结构或分体式结构，一体式结构的绝缘固定件包含一个绝缘固定单元，分体式结构的绝缘固定件包含两个以上绝缘固定单元。每个绝缘固定单元通过开设的凹槽与相应石墨舟片卡接在一起。绝缘固定单元开设有至少两个凹槽，凹槽间距与其卡接的石墨舟片的间距一致。各列绝缘固定件中绝缘固定单元的数量、分布设置成，使M个石墨舟片的间距得以固定。采用上述技术方案时，绝缘固定件的每个绝缘固定单元通过开设的凹槽与相应石墨舟片卡接在一起，从而可以利用一体式结构或分体式结构的绝缘固定件固定M个石墨舟片。此时，各个石墨舟片通过与相应的凹槽卡接的方式固定，无需连接件辅助，从而解决了因连接件连接松动导致的石墨舟片松动的问题。鉴于石墨舟片松动后，石墨舟片偏离设定位置，需要利用校舟器矫正位置后再次固定。本技术石墨舟的石墨舟片不易松动，可以降低校舟器矫正石墨舟片位置的次数。此外，由于石墨舟片位置稳固，因此，当机械手取放晶片时，可以提高机械手抓取、放置晶片的成功率，避免插碎石墨舟片或插碎晶片。在一些可能的实现方式中，至少一列绝缘固定件为一体式结构，至少一列绝缘固定件开设的凹槽数量为M。也就是，绝缘固定件开设的凹槽数量与上述石墨舟片的数量相同。此时可以采用铸造等方式加工制造该一体式结构的绝缘固定件，在绝缘固定件上对应石墨舟片的位置统一开凹槽即可，加工方便。安装时，将各个石墨舟片卡入绝缘固定件上对应的凹槽即可，操作简单、省时省力，能够有效提高生产效率。在一些可能的实现方式中，各列绝缘固定件均为一体式结构，每列绝缘固定件开设的凹槽数量为M。此时，一列一体式结构的绝缘固定件即可实现对M个石墨舟片相对位置的固定。多列一体式结构的绝缘固定件组合使用，可以大大提升对石墨舟片的固定效果，进一步降低石墨舟片松动的几率。在一些可能的实现方式中，至少一列绝缘固定件为分体式结构。此时，分体式结构的绝缘固定件长度相对较小，从而具有较好的强度，较长的使用寿命。并且，在设备维修、更换时，仅需维修、更换少量破损的分体式结构绝缘固定件即可，鉴于单个分体式结构的绝缘固定件成本较低，可以有效降低生产太阳能电池片的设备维护成本。在一些可能的实现方式中，各列所述绝缘固定件均为分体式结构。此时，可以通过各列绝缘固定单元的数量、分布情况进行设计，从而具有多种固定石墨舟片的方式，使得石墨舟片的固定方式更加灵活。在一些可能的实现方式中，绝缘固定单元的凹槽数量均为2。此时，绝缘固定单元的凹槽数量最少，能够固定相邻的两个石墨舟片的相对位置。多个绝缘固定单元组合使用方式、更换、维护更加灵活。在一些可能的实现方式中，每列绝缘固定件中相邻绝缘固定单元之间间隔0或1个石墨舟片。在一些可能的实现方式中，各列绝缘固定件的绝缘固定单元依次交替从第一个和第二个墨舟片开始卡接。此时，与各列的绝缘固定件设置位置一致相比，各列的绝缘固定件交错设置，可以起到更好的固定效果。第二方面，本技术提供一种石墨舟，绝缘固定单元的凹槽结构相对于上述方案可以具有以下变形。该石墨舟包括M个石墨舟片以及多列用于固定M个石墨舟片的绝缘固定件。每列绝缘固定件为一体式结构或分体式结构，一体式结构的绝缘固定件包含一个绝缘固定单元，分体式结构的绝缘固定件包含两个以上绝缘固定单元。每个绝缘固定单元开设有至少一个凹槽，每个凹槽跨过N片石墨舟片，从而限定该N片石墨舟片中两侧舟片的间距，其中N>1；各列绝缘固定件中绝缘固定单元的数量、分布设置成，使M个石墨舟片的间距得以固定。采用上述技术方案时，绝缘固定件的每个绝缘固定单元通过凹槽跨过N片石墨舟片，从而限定该N片石墨舟片中两侧舟片的间距，多个绝缘固定单元相互配合起来固定M个石墨舟片。此时，各个石墨舟片被相应的绝缘固定单元限定其相对位置，无需连接件辅助，从而解决了因连接件连接松动导致的石墨舟片松动的问题。鉴于石墨舟片松动后，石墨舟片偏离设定位置，需要利用校舟器矫正位置后再次固定。本技术石墨舟的石墨舟片不易松动，可以降低校舟器矫正石墨舟片位置的次数。此外，由于石墨舟片位置稳固，因此，当机械手取放晶片时，可以提高机械手抓取、放置晶片的成功率，避免插碎石墨舟片或插碎晶片。在一些可能的实现方式中，各列绝缘固定件均为分体式结构。此时，相邻列的绝缘固定单元相互配合，实现限定各石墨舟片见间距(各石墨舟片的相对位置)的目的。在一些可能的实现方式中，N＝2。此时，每个凹槽跨过2个石墨舟片，限定相邻2个石墨舟片的间距，各列绝缘固定件交错设置即可实现对石墨舟片的固定，设置方式简单，便于操作。在一些可能的实现方式中，每列绝缘固定件中相邻绝缘固定单元之间间隔0或1个石墨舟片。在一些可能的实现方式中，各列绝缘固定件的绝缘固定单元依次交替从第一个和第二个墨舟片开始设置。此时，各列的绝缘固定单元交错设置，各列的绝缘固定单元相互配合，从前后两个方向向石墨舟片施加作用力，从而起到固定各个石墨舟片的作用。第三方面，本技术提供一种石墨舟镀膜设备，其包含上述任一种技术方案记载的石墨舟。绝缘固定件为陶瓷固定件，或者绝缘固定件为塑料固定件。在一些可能的实现方式中，上述石墨舟还包括至少一个电极块。每个电极块沿石墨舟片的长度方向的长度为32mm-36mm。采用上述技术方案时，电极块的长度为32mm-36mm，相比现有技术，电极块的长度缩短。在石墨舟长度不变的情况下，缩短石墨舟两端的电极块的长度，可以为石墨舟片延伸提供可利用空间，以进一步为增加石墨舟片的长度。此时，可以在长度增加的石墨舟片上增加一个插片位，进而提高石墨舟的载片数量，提高生产效率。在一些可能的实现方式中，上述石墨舟还包括至少一个舟脚。多个石墨舟片构成舟体。每个舟脚设在舟体的端部，每个舟脚具有支撑至少一个石墨舟片的支撑台。每个舟脚沿石墨舟片的长度方向的长度为52mm-56mm。采用上述技术方案时，每个舟脚具有支撑台，每个舟脚沿石墨舟片的长度方向的长度为52mm-56本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨舟，其特征在于，包括M个石墨舟片以及多列用于固定M个所述石墨舟片的绝缘固定件；/n每列所述绝缘固定件为一体式结构或分体式结构，所述一体式结构的绝缘固定件包含一个绝缘固定单元，所述分体式结构的绝缘固定件包含两个以上绝缘固定单元；每个所述绝缘固定单元通过开设的凹槽与相应所述石墨舟片卡接在一起；/n所述绝缘固定单元开设有至少两个凹槽，凹槽间距与其卡接的石墨舟片的间距一致；/n各列绝缘固定件中绝缘固定单元的数量、分布设置成，使所述M个石墨舟片的间距得以固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟，其特征在于，包括M个石墨舟片以及多列用于固定M个所述石墨舟片的绝缘固定件；
每列所述绝缘固定件为一体式结构或分体式结构，所述一体式结构的绝缘固定件包含一个绝缘固定单元，所述分体式结构的绝缘固定件包含两个以上绝缘固定单元；每个所述绝缘固定单元通过开设的凹槽与相应所述石墨舟片卡接在一起；
所述绝缘固定单元开设有至少两个凹槽，凹槽间距与其卡接的石墨舟片的间距一致；
各列绝缘固定件中绝缘固定单元的数量、分布设置成，使所述M个石墨舟片的间距得以固定。


2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，至少一列所述绝缘固定件为一体式结构，所述至少一列绝缘固定件开设的凹槽数量为M。


3.根据权利要求2所述的石墨舟，其特征在于，各列所述绝缘固定件均为一体式结构，每列绝缘固定件开设的凹槽数量为M。


4.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，至少一列所述绝缘固定件为分体式结构。


5.根据权利要求4所述的石墨舟，其特征在于，各列所述绝缘固定件均为分体式结构。


6.根据权利要求5所述的石墨舟，其特征在于，绝缘固定单元的凹槽数量均为2。


7.根据权利要求6所述的石墨舟，其特征在于，每列所述绝缘固定件中相邻绝缘固定单元之间间隔0或1个石墨舟片。


8.根据权利要求7所述的石墨舟，其特征在于，各列绝缘固定件的绝缘固定单元依次交替从第一个和第二个墨舟片开始卡接。


9.一种石墨舟，其特征在于，包括M个石墨舟片以及多列用于固定M个所述石墨舟片的绝缘固定件；
每列所述绝缘固定件为一体式结构或分体式结构，所述一体式结构的绝缘固定件包含一个绝缘固定单元，所述分体式结构的绝缘固定件包含两个以...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑峰峰，
申请(专利权)人：宁夏隆基乐叶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64