一种MEMS微泵测试系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种MEMS微泵测试系统，包括，补液组件、贮液组件、控制模块和量测器；所述补液组件分别与所述贮液组件和待测微泵相连接；所述贮液组件分别与所述待测微泵和所述量测器相连接；所述控制模块与所述补液组件、所述待测微泵及所述贮液组件的控制端相连。本实用新型专利技术使用补液组件和贮液组件辅助进行MEMS微泵测试，能够测试较小的输出液体体积和流量，同时，通过控制贮液组件的压力，可测试MEMS微泵在不同压力下的输出液体体积和流量，且系统中使用了单向阀的设计，保证了测试过程中不存在液体倒流的情况，保证了测试精度。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS微泵测试系统
本技术涉及MEMS微泵
，尤其涉及一种MEMS微泵测试系统。
技术介绍
近年来，由于MEMS技术的发展，带动了相关技术的发展，MEMS微泵也进入快速发展阶段，但是，由于MEMS微泵体积极小，流量、压力也非常小，对于MEMS微泵的性能测试存在极大困难，目前常规的测试装置系统以手动测试为主，一般是通过微泵压出的液柱高度来计算出口压力，一方面，这种测试方式不仅无法通过直接控制出口压力来测流量，也就是无法测试MEMS微泵在特定压力下的输出液体体积和流量，另一方面，手动测试的精确度不高。
技术实现思路
本部分的目的在于概述本技术的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本技术的范围。鉴于上述现有存在的问题，提出了本技术。因此，本技术目的是提供一种MEMS微泵测试系统，能够精准测试MEMS微泵在特定压力下的输出液体体积和流量。为解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：包括，补液组件、贮液组件、控制模块和量测器；所述补液组件分别与所述贮液组件和待测微泵相连接；所述贮液组件分别与所述待测微泵和所述量测器相连接；所述控制模块与所述补液组件、所述待测微泵及所述贮液组件的控制端相连。作为本技术所述的MEMS微泵测试系统的一种优选方案，其中：所述补液组件包括补液容器和补液泵；所述补液容器的第一输出口经由所述补液泵与所述贮液组件相连，所述补液容器的第二输出口与所述待测微泵相连，所述补液泵的控制端与所述控制模块相连。作为本技术所述的MEMS微泵测试系统的一种优选方案，其中：所述补液组件还包括第一单向阀，所述补液泵经由所述第一单向阀与所述贮液组件相连。作为本技术所述的MEMS微泵测试系统的一种优选方案，其中：所述贮液组件包括贮液容器和开关件；其中，所述贮液容器的第一输入口与所述补液组件相连，所述贮液容器的第二输入口与所述待测微泵相连，所述贮液容器的输出口经由所述开关件与所述量测器相连。作为本技术所述的MEMS微泵测试系统的一种优选方案，其中：所述贮液组件还包括压力传感器；所述压力传感器设置在所述贮液容器上，且所述压力传感器和所述开关件的控制端均与所述控制模块相连。作为本技术所述的MEMS微泵测试系统的一种优选方案，其中：所述量测器上设置有量测刻度。作为本技术所述的MEMS微泵测试系统的一种优选方案，其中：所述控制模块根据所述量测器的所述量测刻度和内径，计算得到所述待测微泵的输液体积。作为本技术所述的MEMS微泵测试系统的一种优选方案，其中：还包括计时器，其设置于所述控制模块的上表面，用于记录测试时长。作为本技术所述的MEMS微泵测试系统的一种优选方案，其中：还包括，所述贮液组件与所述量测器关断，则所述计时器完成测试的时间。作为本技术所述的MEMS微泵测试系统的一种优选方案，其中：还包括，根据测试时长和已经测试得到的所述待测微泵的输出液体体积得到所述待测微泵输出液体的流量。本技术的有益效果：本技术使用补液组件和贮液组件辅助进行MEMS微泵测试，能够测试较小的输出液体体积和流量，同时，通过控制贮液组件的压力，可测试MEMS微泵在不同压力下的输出液体体积和流量，且系统中使用了单向阀的设计，保证了测试过程中不存在液体倒流的情况，保证了测试精度。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：图1为本技术提供的一种实施例中MEMS微泵测试系统的整体结构示意图；图2为本技术提供的一种实施例中MEMS微泵测试系统的系统使用流程示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是本技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似推广，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。其次，此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本技术至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例，也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。再其次，本专利技术结合示意图进行详细描述，在详述本专利技术实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本专利技术保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。实施例1参照图1，为本技术的第一个实施例，提供了一种MEMS微泵测试系统，包括，补液组件100、贮液组件200、控制模块300和量测器400；补液组件100分别与贮液组件200和待测微泵500相连接，贮液组件200分别与待测微泵500和量测器400相连接，控制模块300与补液组件100、待测微泵500及贮液组件200的控制端相连。具体的，补液组件100包括补液容器101和补液泵102，其中，补液容器101的第一输出口101a与补液泵102的输入端相连，补液容器101的第二输出口101b与待测微泵500的输入端相连，补液容器101为整个测试系统提供测试用液体，在测试过程中，分别向补液泵102和待测微泵500输出液体，同时，补液泵102的输出端与贮液组件200相连，补液泵102的控制端与控制模块300相连。进一步的，补液泵102从补液容器101中抽取液体并输出至贮液组件200，实现补液组件100向贮液组件200输出液体的功能，为了快速的向贮液组件中输出液体、使其内部压力在短时间内达到预设的第一阈值，可选择输出液体体积与贮液组件容积数量级相当的补液泵。较佳的是，补液组件100还包括第一单向阀103，补液泵102的输出端与第一单向阀103的输入端相连，第一单向阀103的输出端与贮液组件200的输入端相连；由于第一单向阀103只能按照预设的方向输送液体，即从补液泵向贮液组件输出液体，因此，可防止贮液组件中的液体回流至补液泵中，提高系统测试精度。本实施例还需要说明的是，贮液组件200包括贮液容器201、压力传感器202及开关件203，其中，贮液容器201的第一输入口201a与补液组件100相连，液容器121的第一输入口201a通过第一单向阀103与补液泵102相连，贮液容器201的第二输入口201b与待测微泵500相连，贮液容器201的输出口201c经由开关件203与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS微泵测试系统，其特征在于：包括，补液组件(100)、贮液组件(200)、控制模块(300)和量测器(400)；/n所述补液组件(100)分别与所述贮液组件(200)和待测微泵(500)相连接；/n所述贮液组件(200)分别与所述待测微泵(500)和所述量测器(400)相连接；/n所述控制模块(300)与所述补液组件(100)、所述待测微泵(500)及所述贮液组件(200)的控制端相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS微泵测试系统，其特征在于：包括，补液组件(100)、贮液组件(200)、控制模块(300)和量测器(400)；
所述补液组件(100)分别与所述贮液组件(200)和待测微泵(500)相连接；
所述贮液组件(200)分别与所述待测微泵(500)和所述量测器(400)相连接；
所述控制模块(300)与所述补液组件(100)、所述待测微泵(500)及所述贮液组件(200)的控制端相连。


2.根据权利要求1所述的MEMS微泵测试系统，其特征在于：所述补液组件(100)包括补液容器(101)和补液泵(102)；
所述补液容器(101)的第一输出口经由所述补液泵(102)与所述贮液组件(200)相连，所述补液容器(101)的第二输出口与所述待测微泵(500)相连，所述补液泵(102)的控制端与所述控制模块(300)相连。


3.根据权利要求2所述的MEMS微泵测试系统，其特征在于：所述补液组件(100)还包括第一单向阀(103)，所述补液泵(102)经由所述第一单向阀(103)与所述贮液组件(200)相连。


4.根据权利要求1或3所述的MEMS微泵测试系统，其特征在于：所述贮液组件(200)包括贮液容器(201)和开关件(203)；
其中，所述贮液容器(201)的第一输入口与所述补液组件(100)相连，所述贮液容器(201)...

【专利技术属性】
技术研发人员：卞达，赵晓燕，郭永信，赵永武，王永光，
申请(专利权)人：江南大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32