一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，涉及加热保护领域，针对气相沉积钽腔体的底座加热保护的问题，现提出如下方案，包括固定盒，所述固定盒的正面壳体内壁通过螺栓连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆靠近驱动电机的一端外圈转动套接有隔离板，所述隔离板的外壁周圈固定套接在固定盒的内壁周圈里，所述螺纹杆的外圈转动套接有螺纹套，所述螺纹套的左侧壳体外壁焊接有固定杆，所述固定杆的左端固定连接有连接块。本实用新型专利技术设计新颖，方便对气相沉积钽腔体的底座进行固定、加持，从而在对气相沉积钽腔体的底座进行加热的时候可以快速的安装，由此提高了效率，适合进行市场推广。

【技术实现步骤摘要】
一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置
本技术涉及加热保护
，尤其涉及一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置。
技术介绍
气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。气相沉积技术按照成膜机理，可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积。物理气相沉积是通过蒸发，电离或溅射等过程，产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理气象沉积方法有真空镀，真空溅射和离子镀三种，应用较广的是离子镀。离子镀是借助于惰性气体辉光放电，使镀料(如金属钛)气化蒸发离子化，离子经电场加速，以较高能量轰击工件表面，此时如通入CO2，N2等反应气体，便可在工件表面获得TiC,TiN覆盖层，硬度高达2000HV。离子镀的重要特点是沉积温度只有500℃左右，且覆盖层附着力强，适用于高速钢工具，热锻模等。由于在进行加热试验时，需要使装置安装、固定在加热装置的上方，现有的固定装置安装非常繁琐、耗时，不利于进行高效的试验。为此我们提出一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置。
技术实现思路
本技术提出的一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，解决了气相沉积钽腔体的底座加热保护的问题。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，包括固定盒，所述固定盒的正面壳体内壁通过螺栓连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆靠近驱动电机的一端外圈转动套接有隔离板，所述隔离板的外壁周圈固定套接在固定盒的内壁周圈里，所述螺纹杆的外圈转动套接有螺纹套，所述螺纹套的左侧壳体外壁焊接有固定杆，所述固定杆的左端固定连接有连接块，且固定杆的外圈滑动套接在固定盒的左侧壳体内圈里，所述连接块的左侧焊接有第一夹板，所述螺纹杆的中部外圈固定套接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮的右侧设有第二锥齿轮，且第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合传动，所述第二锥齿轮的右侧内圈固定套接有螺纹栓，所述螺纹栓的外圈转动贯穿固定盒的右侧壳体。优选的，所述固定盒的背面壳体和隔离板的中部壳体均开设有第一通孔，所述第一通孔的内圈固定套接有第一轴承，所述第一轴承的内圈固定套接在螺纹杆的外圈上。优选的，所述固定盒的左侧壳体开设有滑道，所述固定杆的外圈滑动套接在滑道的内圈里。优选的，所述固定盒的右侧壳体开设有第二通孔，所述第二通孔的内圈固定套接有第二轴承，所述第二轴承的外圈固定套接在螺纹栓的外圈上。优选的，两个所述第一夹板相互靠近的一侧均固定连接有弹簧，两个所述弹簧相互靠近的一端均固定连接有第二夹板。优选的，所述第一夹板和第二夹板相互靠近的一侧设有三个弹簧，两个所述第二夹板相互靠近的一侧均固定连接有橡胶垫。与现有的技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过安装驱动电机、螺纹杆、螺纹套、固定杆、连接块、第一夹板、弹簧、第二夹板、第一锥齿轮、第二锥齿轮、螺纹栓等结构，驱动电机带动螺纹杆进行转动，螺纹杆通过螺纹套带动两个固定杆向相互远离或相互靠近的方向进行移动，进而固定杆带动两个连接块、第一夹板、弹簧和第二夹板向相互远离或相互靠近的方向进行移动，同时螺纹杆带动第一锥齿轮进行转动，第一锥齿轮通过第二锥齿轮带动螺纹栓进行转动，从而达到对底座快速固定的同时，能够使其整体与墙体等连接物体进行固定的目的，该装置结构简单设计新颖，方便对气相沉积钽腔体的底座进行固定、加持，从而在对气相沉积钽腔体的底座进行加热的时候可以快速的安装，由此提高了效率，适合进行市场推广。附图说明图1为本技术提出的一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置的正视结构示意图；图2为本技术提出的一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置的固定盒俯视剖视结构示意图。图中：1固定盒、2驱动电机、3螺纹杆、4隔离板、5第一轴承、6螺纹套、7固定杆、8连接块、9第一夹板、10弹簧、11第二夹板、12第一锥齿轮、13第二锥齿轮、14螺纹栓、15第二轴承。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-2，一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，包括固定盒1，固定盒1的正面壳体内壁通过螺栓连接有驱动电机2，驱动电机2的输出轴固定连接有螺纹杆3，螺纹杆3靠近驱动电机2的一端外圈转动套接有隔离板4，隔离板4的外壁周圈固定套接在固定盒1的内壁周圈里，螺纹杆3的外圈转动套接有螺纹套6，螺纹套6的左侧壳体外壁焊接有固定杆7，固定杆7的左端固定连接有连接块8，且固定杆7的外圈滑动套接在固定盒1的左侧壳体内圈里，连接块8的左侧焊接有第一夹板9，螺纹杆3的中部外圈固定套接有第一锥齿轮12，第一锥齿轮12的右侧设有第二锥齿轮13，且第一锥齿轮12与第二锥齿轮13啮合传动，第二锥齿轮13的右侧内圈固定套接有螺纹栓14，螺纹栓14的外圈转动贯穿固定盒1的右侧壳体。固定盒1的背面壳体和隔离板4的中部壳体均开设有第一通孔，第一通孔的内圈固定套接有第一轴承5，第一轴承5的内圈固定套接在螺纹杆3的外圈上，固定盒1的左侧壳体开设有滑道，固定杆7的外圈滑动套接在滑道的内圈里，固定盒1的右侧壳体开设有第二通孔，第二通孔的内圈固定套接有第二轴承15，第二轴承15的外圈固定套接在螺纹栓14的外圈上，两个第一夹板9相互靠近的一侧均固定连接有弹簧10，两个弹簧10相互靠近的一端均固定连接有第二夹板11，第一夹板9和第二夹板11相互靠近的一侧设有三个弹簧10，两个第二夹板11相互靠近的一侧均固定连接有橡胶垫。本实施例中，首先，因为驱动电机2的输出轴固定连接有螺纹杆3，所以驱动电机2可以带动螺纹杆3进行转动，而螺纹杆3的外圈转动套接有螺纹套6，螺纹套6的左侧壳体外壁焊接有固定杆7，且固定盒1的左侧壳体开设有滑道，固定杆7的外圈滑动套接在滑道的内圈里，所以螺纹杆3的转动能够通过螺纹套6带动两个固定杆7向相互远离或相互靠近的方向进行移动，进而通过固定杆7带动两个连接块8、第一夹板9、弹簧10和第二夹板11向相互远离或相互靠近的方向进行移动，由于螺纹杆3的中部外圈固定套接有第一锥齿轮12，因此螺纹杆3的转动可以同时带动第一锥齿轮12进行转动，而第一锥齿轮12的右侧设有第二锥齿轮13，第一锥齿轮12与第二锥齿轮13啮合传动，第二锥齿轮13的右侧内圈固定套接有螺纹栓14，因此第一锥齿轮12的转动能够通过第二锥齿轮13带动螺纹栓14进行转动，由此实现了对底座快速固定的同时，能够使其整体与墙体等连接物体进行固定的功能。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，包括固定盒(1)，其特征在于，所述固定盒(1)的正面壳体内壁通过螺栓连接有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的输出轴固定连接有螺纹杆(3)，所述螺纹杆(3)靠近驱动电机(2)的一端外圈转动套接有隔离板(4)，所述隔离板(4)的外壁周圈固定套接在固定盒(1)的内壁周圈里，所述螺纹杆(3)的外圈转动套接有螺纹套(6)，所述螺纹套(6)的左侧壳体外壁焊接有固定杆(7)，所述固定杆(7)的左端固定连接有连接块(8)，且固定杆(7)的外圈滑动套接在固定盒(1)的左侧壳体内圈里，所述连接块(8)的左侧焊接有第一夹板(9)，所述螺纹杆(3)的中部外圈固定套接有第一锥齿轮(12)，所述第一锥齿轮(12)的右侧设有第二锥齿轮(13)，且第一锥齿轮(12)与第二锥齿轮(13)啮合传动，所述第二锥齿轮(13)的右侧内圈固定套接有螺纹栓(14)，所述螺纹栓(14)的外圈转动贯穿固定盒(1)的右侧壳体。/n

【技术特征摘要】
1.一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，包括固定盒(1)，其特征在于，所述固定盒(1)的正面壳体内壁通过螺栓连接有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的输出轴固定连接有螺纹杆(3)，所述螺纹杆(3)靠近驱动电机(2)的一端外圈转动套接有隔离板(4)，所述隔离板(4)的外壁周圈固定套接在固定盒(1)的内壁周圈里，所述螺纹杆(3)的外圈转动套接有螺纹套(6)，所述螺纹套(6)的左侧壳体外壁焊接有固定杆(7)，所述固定杆(7)的左端固定连接有连接块(8)，且固定杆(7)的外圈滑动套接在固定盒(1)的左侧壳体内圈里，所述连接块(8)的左侧焊接有第一夹板(9)，所述螺纹杆(3)的中部外圈固定套接有第一锥齿轮(12)，所述第一锥齿轮(12)的右侧设有第二锥齿轮(13)，且第一锥齿轮(12)与第二锥齿轮(13)啮合传动，所述第二锥齿轮(13)的右侧内圈固定套接有螺纹栓(14)，所述螺纹栓(14)的外圈转动贯穿固定盒(1)的右侧壳体。


2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，其特征在于，所述固定盒(1)的背面壳体和隔离板(4)的中部壳体均开设有第一通孔，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘祥超，
申请(专利权)人：上海知昊电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31