硅片下片机制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片下片设备领域，尤其是硅片下片机。该下片机包括机架、初段水平直线输送机、中间段水平直线输送机、水平直线输送机、末段上层水平直线输送机、末段下层水平直线输送机、硅片翻面机构、升降机构、花篮定位机构，所述机架上安装有初段水平直线输送机、中间段水平直线输送机、末段上层水平直线输送机、末段下层水平直线输送机。本实用新型专利技术通过初段水平直线输送机及中间段水平直线输送机，将硅片往前传送。通过升降机构来驱使花篮的上下移动，从而选择将填装了硅片的花篮送入末段上层水平直线输送机或是末段下层水平直线输送机上进行传送。本申请提高了硅片入篮传送的效率。

【技术实现步骤摘要】
硅片下片机
本技术涉及硅片下片设备领域，尤其是硅片下片机。
技术介绍
硅片在生产加工的过程中，需要将硅片以预定的面向，逐一移入硅片花篮之中进行装载。但是现有的硅片在移动入篮的工作效率较低。
技术实现思路
为了解决
技术介绍
中描述的技术问题，本技术提供了一种硅片下片机。通过初段水平直线输送机及中间段水平直线输送机，将硅片往前传送。通过升降机构来驱使花篮的上下移动，从而选择将填装了硅片的花篮送入末段上层水平直线输送机或是末段下层水平直线输送机上进行传送。本申请提高了硅片入篮传送的效率。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅片下片机，包括机架、初段水平直线输送机、中间段水平直线输送机、水平直线输送机、末段上层水平直线输送机、末段下层水平直线输送机、硅片翻面机构、升降机构、花篮定位机构，所述机架上安装有初段水平直线输送机、中间段水平直线输送机、末段上层水平直线输送机、末段下层水平直线输送机、硅片翻面机构、升降机构，初段水平直线输送机、中间段水平直线输送机、末段上层水平直线输送机依次首尾衔接成一条水平直线输送线路，末段下层水平直线输送机位于末段上层水平直线输送机的下方，末段上层水平直线输送机与末段下层水平直线输送机相平行，升降机构位于中间段水平直线输送机和末段上层水平直线输送机之间，升降机构的滑座上安装有水平直线输送机和花篮定位机构，花篮定位机构位于水平直线输送机上方。具体地，所述初段水平直线输送机、中间段水平直线输送机、水平直线输送机、末段上层水平直线输送机、末段下层水平直线输送机均为双带式皮带输送机。具体地，所述硅片翻面机构由电机、圆板组成，电机的机体固定在机架上，电机的输出轴上固定有转杆，转杆上固定有两个圆板，两个圆板分别位于中间段水平直线输送机的左右两端，转杆穿过中间段水平直线输送机，圆板上均匀分布有数个用于放置硅片的嵌入槽。具体地，所述升降机构为线性模组。具体地，所述花篮定位机构由定位板和定位气缸组成，定位气缸的缸体固定在升降机构的滑座上，定位板固定在定位气缸的活塞杆上。本技术的有益效果是：本技术提供了一种硅片下片机。通过初段水平直线输送机及中间段水平直线输送机，将硅片往前传送。通过升降机构来驱使花篮的上下移动，从而选择将填装了硅片的花篮送入末段上层水平直线输送机或是末段下层水平直线输送机上进行传送。本申请提高了硅片入篮传送的效率。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图；图中1.机架，2.初段水平直线输送机，3.中间段水平直线输送机，4.水平直线输送机，5.末段上层水平直线输送机，6.末段下层水平直线输送机，7.硅片翻面机构，8.升降机构，9.花篮定位机构，71.电机，72.圆板。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。图1是本技术的结构示意图。一种硅片下片机，包括机架1、初段水平直线输送机2、中间段水平直线输送机3、水平直线输送机4、末段上层水平直线输送机5、末段下层水平直线输送机6、硅片翻面机构7、升降机构8、花篮定位机构9，所述机架1上安装有初段水平直线输送机2、中间段水平直线输送机3、末段上层水平直线输送机5、末段下层水平直线输送机6、硅片翻面机构7、升降机构8，初段水平直线输送机2、中间段水平直线输送机3、末段上层水平直线输送机5依次首尾衔接成一条水平直线输送线路，末段下层水平直线输送机6位于末段上层水平直线输送机5的下方，末段上层水平直线输送机5与末段下层水平直线输送机6相平行，升降机构8位于中间段水平直线输送机3和末段上层水平直线输送机5之间，升降机构8的滑座上安装有水平直线输送机4和花篮定位机构9，花篮定位机构9位于水平直线输送机4上方。初段水平直线输送机2、中间段水平直线输送机3、水平直线输送机4、末段上层水平直线输送机5、末段下层水平直线输送机6均为双带式皮带输送机。硅片翻面机构7由电机71、圆板72组成，电机71的机体固定在机架1上，电机71的输出轴上固定有转杆，转杆上固定有两个圆板72，两个圆板72分别位于中间段水平直线输送机3的左右两端，转杆穿过中间段水平直线输送机3，圆板72上均匀分布有数个用于放置硅片的嵌入槽。硅片翻面机构7的工作方式为，电机71可以驱使转杆及转杆上的两个圆板72旋转，首先将两个圆板72上的嵌入槽的开口旋转至与中间段水平直线输送机3的皮带传送面齐平，接着当中间段水平直线输送机3的皮带将硅片往前传送时，该硅片就会移入两个圆板72的嵌入槽内。接着两个圆板72旋转180度，使得整个硅片反面朝上，最后该硅片重新被放置在中间段水平直线输送机3的皮带上移走。升降机构8为线性模组。花篮定位机构9由定位板和定位气缸组成，定位气缸的缸体固定在升降机构8的滑座上，定位板固定在定位气缸的活塞杆上。如附图1所示，本申请的工作方式为，首先将硅片逐一放置到初段水平直线输送机2的皮带上进行水平传送。初段水平直线输送机2将硅片传送到中间段水平直线输送机3的皮带上继续往前水平传送。在传送的过程中，硅片翻面机构7将硅片翻转180度，使得硅片原先的底面朝上。接着中间段水平直线输送机3将翻转后的硅片水平传送入水平直线输送机4上的花篮内。花篮定位机构9的定位气缸驱使定位板下移，从而将花篮压紧在水平直线输送机4上。当花篮内填入一片硅片之后，花篮就被升降机构8驱使上移或下移一段距离，直到将第二个空置的承载位对准中间段水平直线输送机3的出料口，用来承接硅片，直到将花篮填满。接着升降机构8驱使满载的花篮上下移动，将花篮移入末段上层水平直线输送机5或末段下层水平直线输送机6上，由末段上层水平直线输送机5或末段下层水平直线输送机6将花篮水平移动到出料位。最后花篮定位机构9放开花篮，将花篮取走。以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片下片机，其特征在于：包括机架(1)、初段水平直线输送机(2)、中间段水平直线输送机(3)、水平直线输送机(4)、末段上层水平直线输送机(5)、末段下层水平直线输送机(6)、硅片翻面机构(7)、升降机构(8)、花篮定位机构(9)，所述机架(1)上安装有初段水平直线输送机(2)、中间段水平直线输送机(3)、末段上层水平直线输送机(5)、末段下层水平直线输送机(6)、硅片翻面机构(7)、升降机构(8)，初段水平直线输送机(2)、中间段水平直线输送机(3)、末段上层水平直线输送机(5)依次首尾衔接成一条水平直线输送线路，末段下层水平直线输送机(6)位于末段上层水平直线输送机(5)的下方，末段上层水平直线输送机(5)与末段下层水平直线输送机(6)相平行，升降机构(8)位于中间段水平直线输送机(3)和末段上层水平直线输送机(5)之间，升降机构(8)的滑座上安装有水平直线输送机(4)和花篮定位机构(9)，花篮定位机构(9)位于水平直线输送机(4)上方。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片下片机，其特征在于：包括机架(1)、初段水平直线输送机(2)、中间段水平直线输送机(3)、水平直线输送机(4)、末段上层水平直线输送机(5)、末段下层水平直线输送机(6)、硅片翻面机构(7)、升降机构(8)、花篮定位机构(9)，所述机架(1)上安装有初段水平直线输送机(2)、中间段水平直线输送机(3)、末段上层水平直线输送机(5)、末段下层水平直线输送机(6)、硅片翻面机构(7)、升降机构(8)，初段水平直线输送机(2)、中间段水平直线输送机(3)、末段上层水平直线输送机(5)依次首尾衔接成一条水平直线输送线路，末段下层水平直线输送机(6)位于末段上层水平直线输送机(5)的下方，末段上层水平直线输送机(5)与末段下层水平直线输送机(6)相平行，升降机构(8)位于中间段水平直线输送机(3)和末段上层水平直线输送机(5)之间，升降机构(8)的滑座上安装有水平直线输送机(4)和花篮定位机构(9)，花篮定位机构(9)位于水平直线输送机(4)上方。

【专利技术属性】
技术研发人员：闫善韵，
申请(专利权)人：苏州林赛自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32