一种用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，涉及真空熔制工艺技术领域。本实用新型专利技术包括抽气管、开关阀、真空泵和抽气接头，抽气管一端与真空泵的抽气口固定连通，抽气接头包括固定端和连接端，固定端包括固定管，固定管一端固定有第一法兰，第一法兰顶部固定有套筒，套筒内上部设有螺纹槽道。本实用新型专利技术通过螺纹槽道和螺纹凸起的配合便于连接端和固定端之间的固定和拆除，通过设置内环体、外环体和机械密封，在连接端与固定端进行螺纹固定时，开关阀和抽气管一端不会跟随转动，从而方便抽气管一端和开关阀与抽真空区域之间的固定和拆除，从而方便使用者的使用。

【技术实现步骤摘要】
一种用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置
本技术属于真空熔制工艺
，特别是涉及一种用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置。
技术介绍
针对真空熔制工艺使用的真空管，在抽气过程中会随着气体的流动携带着微量的物料或温度，因此需要时长对真空管进行维护、清洁和定期的更换，现有的管道连接多使用法兰或卡箍的方式进行固定，不利于管道端部的安装和拆除，同时密封性相对不足。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，通过螺纹槽道和螺纹凸起的配合便于连接端和固定端之间的固定和拆除，通过设置内环体、外环体和机械密封，在连接端与固定端进行螺纹固定时，开关阀和抽气管一端不会跟随转动，从而方便抽气管一端和开关阀与抽真空区域之间的固定和拆除，从而方便使用者的使用。为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：本技术为一种用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，包括抽气管、开关阀、真空泵和抽气接头，所述抽气管一端与真空泵的抽气口固定连通；所述抽气接头包括固定端和连接端；所述固定端包括固定管，所述固定管一端固定有第一法兰，所述第一法兰顶部固定有套筒，所述套筒内上部设有螺纹槽道，所述套筒顶端设有第一边沿；所述连接端包括连接管，所述连接管一端固定有第二边沿，所述连接管周侧面且靠近第二边沿的一端设有螺纹凸起，所述连接管设置在套筒内且通过螺纹凸起和螺纹槽道与套筒固定连接；所述第二边沿顶部固定有内环体，所述内环体周侧面通过机械密封转动连接有外环体，所述外环体顶部固定有第二法兰；所述抽气管另一端固定在开关阀的其中一阀口上，所述连接端通过第二法兰与开关阀另一阀口固定连通。进一步地，所述套筒内侧设有凸环，所述凸环顶部设有第一密封槽，所述连接管位于套筒内部的一端位于第一密封槽内的且与第一密封槽间隙配合，所述连接管与第一密封槽之间设有第一密封环。进一步地，所述第二边沿顶面开设有环形槽，所述外环体底端设置在环形槽内且与环形槽间隙配合，所述外环体底端与环形槽之间设有第二密封环。进一步地，所述第二法兰内侧设有侧环，所述内环体内壁固定有垫环，所述垫环上设有第二密封槽，所述侧环底端设置在第二密封槽内且与第二密封槽间隙配合，所述侧环与第二密封槽之间设有第三密封环。进一步地，所述抽气管为螺旋软管，所述螺旋软管上的螺纹槽处设有钢丝。进一步地，所述第一边沿和第二边沿之间设有密封垫，所述第一边沿和第二边沿外侧设有卡箍。本技术具有以下有益效果：1、本技术通过螺纹槽道和螺纹凸起的配合便于连接端和固定端之间的固定和拆除，通过设置内环体、外环体和机械密封，在连接端与固定端进行螺纹固定时，开关阀和抽气管一端不会跟随转动，从而方便抽气管一端和开关阀与抽真空区域之间的固定和拆除，从而方便使用者的使用。2、本技术通过凸环、第一密封槽和第一密封环的配合使用能够提高连接管与套筒之间的密封性能，通过环形槽、外环体和第二密封环的配合使用能够提高第二边沿与外环体之间的密封性能，通过侧环、垫环、第二密封槽和第三密封环的配合使用能够提高第二法兰与内环体之间的密封性能，能够高效的提高连抽气接头的密封性，保证了抽真空管路的密封性，避免出现漏气泄压影响生产工艺的问题。当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的一种用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置的结构示意图；图2为抽气接头的结构剖视图；图3为图2中A处的局部放大图；附图中，各标号所代表的部件列表如下：1-抽气管，2-开关阀，3-抽气接头，4-固定端，5-连接端，6-卡箍，401-固定管，402-第一法兰，403-套筒，404-螺纹槽道，405-第一边沿，406-凸环，407-第一密封槽，408-第一密封环，501-连接管，502-第二边沿，503-螺纹凸起，504-内环体，505-外环体，506-第二法兰，507-环形槽，508-第二密封环，509-侧环，510-垫环，511-第二密封槽，512-第三密封环，513-机械密封，514-密封垫。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3所示，本技术为一种用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，包括抽气管1、开关阀2、真空泵和抽气接头3，抽气管1一端与真空泵的抽气口固定连通，真空泵外侧设置固定支架或可移动支架；抽气接头3包括固定端4和连接端5；固定端4包括固定管401，固定管401一端固定有第一法兰402，第一法兰402顶部固定有套筒403，套筒403内上部设有螺纹槽道404，套筒403顶端设有第一边沿405，固定管401通过第一法兰402和螺钉嵌入安装在抽真空的区域；连接端5包括连接管501，连接管501一端固定有第二边沿502，连接管501周侧面且靠近第二边沿502的一端设有螺纹凸起503，连接管501设置在套筒403内且通过螺纹凸起503和螺纹槽道404与套筒403固定连接；第二边沿502顶部固定有内环体504，内环体504周侧面通过机械密封513转动连接有外环体505，外环体505顶部固定有第二法兰506；抽气管1另一端固定在开关阀2的其中一阀口上，连接端5通过第二法兰506与开关阀2另一阀口固定连通。其中如图2-3所示，套筒403内侧设有凸环406，凸环406顶部设有第一密封槽407，连接管501位于套筒403内部的一端位于第一密封槽407内的且与第一密封槽407间隙配合，连接管501与第一密封槽407之间设有第一密封环408，能够提高连接管501与套筒403之间的密封性能。其中如图2-3所示，第二边沿502顶面开设有环形槽507，外环体505底端设置在环形槽507内且与环形槽507间隙配合，外环体505底端与环形槽507之间设有第二密封环508，能够提高第二边沿502与外环体505之间的密封性能。其中如图2-3所示，第二法兰506内侧设有侧环509，内环体504内壁固定有垫环510，垫环510上设有第二密封槽511，侧环509底端设置在第二密封槽511内且与第二密封槽511间隙配合，侧环509与第二密封槽511之间设有第三密封环512，能够提高第二法兰506与内环体504之间的密封性能。其中，抽气管1为螺旋软管，螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，包括抽气管(1)、开关阀(2)和真空泵，所述抽气管(1)一端与真空泵的抽气口固定连通，其特征在于：还包括抽气接头(3)；/n所述抽气接头(3)包括固定端(4)和连接端(5)；/n所述固定端(4)包括固定管(401)，所述固定管(401)一端固定有第一法兰(402)，所述第一法兰(402)顶部固定有套筒(403)，所述套筒(403)内上部设有螺纹槽道(404)，所述套筒(403)顶端设有第一边沿(405)；/n所述连接端(5)包括连接管(501)，所述连接管(501)一端固定有第二边沿(502)，所述连接管(501)周侧面且靠近第二边沿(502)的一端设有螺纹凸起(503)，所述连接管(501)设置在套筒(403)内且通过螺纹凸起(503)和螺纹槽道(404)与套筒(403)固定连接；/n所述第二边沿(502)顶部固定有内环体(504)，所述内环体(504)周侧面通过机械密封(513)转动连接有外环体(505)，所述外环体(505)顶部固定有第二法兰(506)；/n所述抽气管(1)另一端固定在开关阀(2)的其中一阀口上，所述连接端(5)通过第二法兰(506)与开关阀(2)另一阀口固定连通。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，包括抽气管(1)、开关阀(2)和真空泵，所述抽气管(1)一端与真空泵的抽气口固定连通，其特征在于：还包括抽气接头(3)；
所述抽气接头(3)包括固定端(4)和连接端(5)；
所述固定端(4)包括固定管(401)，所述固定管(401)一端固定有第一法兰(402)，所述第一法兰(402)顶部固定有套筒(403)，所述套筒(403)内上部设有螺纹槽道(404)，所述套筒(403)顶端设有第一边沿(405)；
所述连接端(5)包括连接管(501)，所述连接管(501)一端固定有第二边沿(502)，所述连接管(501)周侧面且靠近第二边沿(502)的一端设有螺纹凸起(503)，所述连接管(501)设置在套筒(403)内且通过螺纹凸起(503)和螺纹槽道(404)与套筒(403)固定连接；
所述第二边沿(502)顶部固定有内环体(504)，所述内环体(504)周侧面通过机械密封(513)转动连接有外环体(505)，所述外环体(505)顶部固定有第二法兰(506)；
所述抽气管(1)另一端固定在开关阀(2)的其中一阀口上，所述连接端(5)通过第二法兰(506)与开关阀(2)另一阀口固定连通。


2.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，其特征在于，所述套筒(403)内侧设有凸环(406)，所述凸环(406)顶部设有第一密封槽(407)，所述连...

【专利技术属性】
技术研发人员：张国忠，高文送，汪涵，朱海江，李国洪，朱燕亚，
申请(专利权)人：无锡市尚领石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32