半导体清洗设备的传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种半导体清洗设备的传输装置，该传输装置包括半导体清洗设备的传输装置，用于在清洗槽与容器货架之间传输可盛放待清洗件的容器，包括主体框架、机械臂、驱动源和动力传输机构，其特征在于，机械臂的两个端部分别与主体框架的左右两侧连接；主体框架的左右两侧分别设置有动力传输机构，且动力传输机构与其位于同侧的端部连接；驱动源设置在主体框架上，且与动力传输机构连接；动力传输机构用于将驱动源输出的动力传输至机械臂上，以带动机械臂沿主体框架、在竖直方向上下移动。应用本实用新型专利技术，可以避免机械臂在水平位置发生偏移，也可避免容器件在机械臂上传输时由于机械臂向下倾斜而造成传输误差。

【技术实现步骤摘要】
半导体清洗设备的传输装置
本技术涉及半导体
，具体地，涉及一种半导体清洗设备的传输装置。
技术介绍
随着半导体行业的快速发展，客户越来越倾向于稳定可靠的生产设备，同时设备的产能对于设备供应商来说越来越凸显其重要的意义。例如，对晶圆进行清洗的清洗设备，其上往往具有传输晶圆的机械传输机构，该传输机构的机械臂大多是采用一端固定的悬置设置，则在传输过程中，机械臂可能会由于单边受力而向下倾斜，致使传输位置不够精确；或者由于晶圆在传输过程中在机械臂末端快速移动时引起共振而导致裂片、碎片等。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种半导体清洗设备的传输装置，以避免机械臂在水平位置发生偏移。为实现本技术的目的，提供一种半导体清洗设备的传输装置，用于在清洗槽与容器货架之间传输可盛放待清洗件的容器，包括主体框架、机械臂、驱动源和动力传输机构，其特征在于，所述机械臂的两个端部分别与所述主体框架的左右两侧连接；所述主体框架的左右两侧分别设置有动力传输机构，且所述动力传输机构与其位于同侧的所述端部连接；所述驱动源设置在所述主体框架上，且与所述动力传输机构连接；所述动力传输机构用于将所述驱动源输出的动力传输至所述机械臂上，以带动所述机械臂沿所述主体框架、在竖直方向上下移动。可选地，所述动力传输机构包括传动组件及平衡杆结构，所述传动组件设置在所述主体框架上，分别与所述驱动源和所述平衡杆结构连接；所述平衡杆结构与所述机械臂连接。可选地，所述传动组件包括齿轮杆、至少一个第一同步带轮、至少一个第二同步带轮以及第一同步带；所述第一同步带轮固定设置于所述主体框架的上部，所述第二同步带轮设置于所述主体框架的底部，所述第一同步带安装于所述第一同步带轮和所述第二同步带轮上，形成闭环；且所述第一同步带与所述平衡杆结构连接；所述齿轮杆固定设置在所述主体框架的上部，用于将所述驱动源输出的动力传输至所述第一同步带轮、第二同步带轮和所述第一同步带，以使得所述同步带带动所述平衡杆结构在竖直方向上下移动。可选地，所述传动组件还包括固定块，用于将所述同步带固定连接到所述平衡杆结构上。可选地，所述传输装置还包括配重件，所述配重件通过传输结构与所述平衡杆机构连接，所述配重件用于平衡所述机械臂的端部的受力。可选地，所述传输结构包括第二同步带和第三同步带轮，所述第三同步带轮固定设置在所述主体框架的上端，所述第二同步带安装在所述第三同步带轮上，且两端分别与所述配重件和所述平衡杆机构连接。可选地，所述主体框架上的左右两侧均设置有竖直导轨，所述机械臂与所述导轨滑动连接。可选地，所述导轨上设置有滑块，所述机械臂通过所述滑块与所述导轨连接。可选地，所述机械臂为条杆状，且沿所述机械臂的长度方向设置有线性导轨。可选地，所述驱动源包括旋转电机，所述旋转电机与所述齿轮杆连接，以驱动所述齿轮杆绕其中心轴转动。本技术具有以下有益效果：本技术提供的半导体清洗设备的传输装置，在机械臂的两端均固定连接有动力传输机构，在两端的动力传输机构可以同时带动机械臂运动，使机械臂的两端同时上下移动，可实现机械臂的水平升降，如此可以避免机械臂在水平位置发生偏移，也可避免容器件在机械臂上传输时由于机械臂向下倾斜而造成传输误差，因此机械臂的传输速度可以大幅度提升(无需为了传输稳定而特意缓慢升降)，同时机械臂水平方向不会因为容器件快速移动而形成共振，使得整体传输过程更加平稳。附图说明图1为本申请实施例提供的半导体清洗设备的传输装置的主视结构的示意图；图2为本申请实施例提供的半导体清洗设备的传输装置的侧视结构的示意图。具体实施方式下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。本
技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。本
技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本申请的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。请一并参照图1和图2，为本申请实施例提供的半导体清洗设备的传输装置的主视结构的示意图和侧视结构的示意图，该传输装置用于在清洗槽与容器货架之间传输可盛放待清洗件的容器，包括主体框架60、机械臂10、驱动源50和动力传输机构。机械臂10的两个端部分别与主体框架60的左右两侧连接；主体框架60的左右两侧分别设置有动力传输机构，且动力传输机构与其位于同侧的端部连接；驱动源50设置在主体框架60上，且与动力传输机构连接；动力传输机构用于将驱动源50输出的动力传输至机械臂10上，以带动机械臂10沿主体框架60、在竖直方向上下移动。如图1和图2所示，机械臂10可以但不限于是水平悬置设置，然后机械臂10可以在其两端的动力传输机构的带动下进行升降运动，且在机械臂10做升降运动的过程中，其机械手(图中未示出)可以在清洗槽与容器货架之间传输盛放晶圆的容器件(也可以是未盛放晶圆的空的容器件)。可以理解的是，械臂10两端的两套动力传输机构可以完全一致，也可以稍有差别，只要二者均能带动机械臂10进行升降运动即可。本实施例提供的半导体清洗设备的传输装置，在机械臂10的两端均固定连接有动力传输机构，在两端的动力传输机构可以同时带动机械臂10运动，使机械臂10的两端同时上下移动，可实现机械臂10的水平升降，如此可以避免机械臂10在水平位置发生偏移，也可避免容器件在机械臂10上传输时由于机械臂10向下倾斜而造成传输误差，因此机械臂10的传输速度可以大幅度提升(无需为了传输稳定而特意缓慢升降)，同时机械臂10水平方向不会因为容器件快速移动而形成共振，使得整体传输过程更加平稳。需要说明的是，本实施例并不限定机械臂10、驱动源及动力传输机构的具体结构和材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体清洗设备的传输装置，用于在清洗槽与容器货架之间传输可盛放待清洗件的容器，包括主体框架、机械臂、驱动源和动力传输机构，其特征在于，所述机械臂的两个端部分别与所述主体框架的左右两侧连接；所述主体框架的左右两侧分别设置有动力传输机构，且所述动力传输机构与其位于同侧的所述端部连接；所述驱动源设置在所述主体框架上，且与所述动力传输机构连接；所述动力传输机构用于将所述驱动源输出的动力传输至所述机械臂上，以带动所述机械臂沿所述主体框架、在竖直方向上下移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗设备的传输装置，用于在清洗槽与容器货架之间传输可盛放待清洗件的容器，包括主体框架、机械臂、驱动源和动力传输机构，其特征在于，所述机械臂的两个端部分别与所述主体框架的左右两侧连接；所述主体框架的左右两侧分别设置有动力传输机构，且所述动力传输机构与其位于同侧的所述端部连接；所述驱动源设置在所述主体框架上，且与所述动力传输机构连接；所述动力传输机构用于将所述驱动源输出的动力传输至所述机械臂上，以带动所述机械臂沿所述主体框架、在竖直方向上下移动。


2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述动力传输机构包括传动组件及平衡杆结构，所述传动组件设置在所述主体框架上，分别与所述驱动源和所述平衡杆结构连接；所述平衡杆结构与所述机械臂连接。


3.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述传动组件包括齿轮杆、至少一个第一同步带轮、至少一个第二同步带轮以及第一同步带；
所述第一同步带轮固定设置于所述主体框架的上部，所述第二同步带轮设置于所述主体框架的底部，所述第一同步带安装于所述第一同步带轮和所述第二同步带轮上，形成闭环；且所述第一同步带与所述平衡杆结构连接；
所述齿轮杆固定设置在所述主体框架的上部，用于将所述驱动源输出的动力传输至所述第一同步带轮、第二同步带轮和所述第一同步带，以使得所述同...

【专利技术属性】
技术研发人员：王智，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11