定位穿刺夹具、内部气氛含量分析仪及其测试方法技术

本发明专利技术涉及一种定位穿刺夹具、内部气氛含量分析仪及其测试方法，定位穿刺夹具用于穿刺密封元器件，包括载物夹持组件，密封元器件设置在载物夹持组件上，载物夹持组件包括移动模块和夹紧件，移动模块沿密封元器件所在平面方向推动密封元器件移动至穿刺点，移动模块周向夹紧密封元器件，夹紧件沿垂直平面方向设置在密封元器件的一侧，夹紧件靠近密封元器件移动以夹紧密封元器件；穿刺组件，穿刺组件设置在密封元器件远离夹紧件的一侧，穿刺组件上包括穿刺针，穿刺针经过穿刺点刺入密封元器件中。本申请提出的定位穿刺夹具，具有可以精确定位待测元器件穿刺位置的优点，可对小型待穿刺元器件实现精准穿刺，且穿刺时不会破坏其内部封装结构。

【技术实现步骤摘要】
定位穿刺夹具、内部气氛含量分析仪及其测试方法
本专利技术涉及集成电路封装
，特别是涉及一种定位穿刺夹具、内部气氛含量分析仪及其测试方法。
技术介绍
内部气氛含量分析仪可以有效检测密封元器件内部气体成分，在电子元器件封装气密性检测领域具有重要应用，是利用破坏性物理实验方法实现电子元器件密封可靠性检测的重要设备。现有内部气氛含量分析仪在测量密封元器件及集成电路气密性时，需要在真空环境下通过探针穿刺元器件的方法释放密封元器件内部气体，通过分析被释放气体成分完成内部气氛含量分析。在实际操作中，由于现有内部气氛含量分析仪的载物夹具与穿刺探针之间的相对位置是固定不变的，因此只能通过操作员将样品放在载物台的不同位置使穿刺针穿刺到所需位置。在穿刺外部气密封装时，由于不清楚元器件内部结构，且密封元器件尺寸较小，穿刺封装操作时有可能因为落针位置偏差，使穿刺位置没有对准空腔体而仅仅穿刺到元器件边壳上；或是因为不确定元器件内部复杂结构使穿刺针误扎到内部集成芯片，破坏内部芯片封装，引入多余气氛，最终导致组分分析测量误差。传统方法不能精确定位待穿刺位置置，只能凭借操作员的直观感受和经验判断，在穿刺元器件的过程中容易造成扎偏、错扎等情况，不能扎穿待穿刺元器件或者扎到其他密封芯片泄露出多余的气氛，造成测量误差。
技术实现思路
基于此，有必要针对当前内部气氛含量分析仪在检测封装芯片中因穿刺位置定位不精确引起气氛测量误差的问题，提供一种定位穿刺夹具。一种定位穿刺夹具，用于穿刺密封元器件，包括载物夹持组件，密封元器件设置在所述载物夹持组件上，所述载物夹持组件包括移动模块和夹紧件，所述移动模块沿所述密封元器件所在平面方向推动所述密封元器件移动至穿刺点，所述移动模块周向夹紧所述密封元器件，所述夹紧件沿垂直所述平面方向设置在所述密封元器件的一侧，所述夹紧件靠近所述密封元器件移动以夹紧所述密封元器件；穿刺组件，所述穿刺组件设置在所述密封元器件远离所述夹紧件的一侧，所述穿刺组件上包括穿刺针，所述穿刺针经过所述穿刺点刺入所述密封元器件中。进一步地，还包括密封板，所述密封板设置在所述载物夹持组件和所述穿刺组件之间，所述密封板上设置所述穿刺点，所述载物夹持组件和所述密封板形成密封腔体。进一步地，所述载物夹持组件还包括载物架，所述移动模块设置在所述载物架上，所述移动模块包括相对设置的限位器和推进装置，所述推进装置沿所述平面方向靠近或远离所述限位器，所述密封元器件夹持在所述限位器和所述推进装置之间。进一步地，所述推进装置包括调节螺母和推杆，所述调节螺母用于控制所述推杆靠近或远离所述限位器。进一步地，所述限位器包括限位挡板和限位弹性体，所述限位弹性体连接所述限位挡板和所述载物架，所述密封元器件夹持在所述推进装置和所述限位挡板之间。进一步地，所述载物架上设置定位点，所述定位点为确定所述推进装置移动距离的基点。进一步地，所述载物夹持组件还包括上盖板，所述上盖板连接所述载物架，所述夹紧件穿过所述上盖板靠近所述密封元器件移动。进一步地，所述穿刺组件还包括下盖板和调节杆，所述调节杆一端连接所述穿刺针，所述调节杆另一端贯穿所述下盖板，所述调节杆用于控制所述穿刺针穿入所述密封元器件。进一步地，还包括连接杆，所述连接杆依次连接所述载物夹持组件、所述密封板和所述穿刺组件，所述连接杆用于调节所述载物夹持组件、所述密封板和所述穿刺组件之间的距离。本申请提出的定位穿刺夹具，将载物夹持组件和穿刺组件整合在一起，载物夹持组件上的移动模块可沿密封元器件所在平面方向推动密封元器件移动到穿刺点处，同时能够沿密封元器件的周向夹紧密封元器件，同时，载物夹持组件上的夹紧件能够沿垂直密封元器件的方向压紧密封元器件，通过移动模块和夹紧件实现密封元器件的三维定位，最后将位于密封元器件另一侧的穿刺针穿过穿刺点以刺入到密封元器件中，实现密封元器件的定位与穿刺。本申请所提供的定位穿刺夹具，具有可以精确定位待测元器件穿刺位置的优点，尤其对微小型待穿刺元器件能够实现精准穿刺，待测元器件的穿刺位置可进行移动，在不破坏待穿刺元器件内部其他封装结构的条件下，能够对具有小腔体结构待穿刺元器件实现精准穿刺，进而提高待测元器件的检测效率，具有较好的市场应用价值。进一步地，提供一种内部气氛含量分析仪，包括以上所述的定位穿刺夹具，还包括X光扫描仪，所述X光扫描仪用于确定所述密封元器件的待穿刺位置。本申请提出的内部气氛含量分析仪，通过X光扫描仪将需要穿刺的密封元器件进行扫描，由X光机扫描仪获得待穿刺密封元器件内部结构图，并对图像进行去噪、锐化、提升对比度等基本处理，对处理后的内部结构图像素点进行数字坐标化，确定每个部件和待穿刺位置对应的坐标。通过框架提取和像素坐标化定位，实现待穿刺位置坐标的标定，利用气氛含量分析仪的自有上位机指导定位穿刺夹具将待穿刺位置移动到穿刺针正上方位置，从而实现精确定位与穿刺，进而便于对密封元器件内部气氛含量进行检测。解决了现有内部气氛含量分析仪只能依靠经验或厂家图例粗略确定待穿刺位置，容易引起穿刺位置偏差，释放其他内置芯片封装气体引起测量误差的问题，避免了因穿刺位置不准造成密封元器件内部结构被破坏而引起的不可逆损失。进一步地，提供一种内部气氛含量测试方法，包括以上所述的内部气氛含量分析仪，包括以下步骤：将密封元器件放置于定位穿刺夹具的载物架中；利用X光扫描仪扫描所述密封元器件，标定其上待穿刺位置的坐标；利用X光扫描仪扫描所述定位穿刺夹具，标定其上穿刺点的坐标；推动所述密封元器件移动，使所述待穿刺位置的坐标与所述穿刺点的坐标重合；夹紧所述密封元器件，调节穿刺针穿过所述穿刺点刺入所述待穿刺位置。进一步地，所述定位穿刺夹具包括载物夹持组件和穿刺组件，所述载物夹持组件包括所述载物架、移动模块和夹紧件，所述移动模块和所述夹紧件连接所述载物架，所述移动模块推动所述密封元器件移动并周向夹紧所述密封元器件，所述夹紧件沿所述密封元器件上方移动以夹紧所述密封元器件，所述穿刺组件包括所述穿刺针，所述穿刺针设置在所述密封元器件远离所述夹紧件的一侧。本申请所提供的内部气氛含量测试方法，针对已有内部气氛含量分析仪不能获得密封元器件集成电路内部结构，易造成穿刺位置错误引起气氛测量误差的问题，通过可移动精确定位的内部气氛含量分析仪，并利用内部气氛含量分析仪上位机对由X光扫描仪获得的待穿刺密封元器件内部结构进行框架提取、像素坐标化定位，使得待穿刺密封元器件上的待穿刺位与穿刺点重合，最终配合穿刺针实现精确定位穿刺。本申请所提供的内部气氛含量测试方法，特别是针对微小型待穿刺元器件，能够实现精准穿刺，提升了内部气氛检测效果，同时避免了穿刺过程中对待穿刺元器件结构的破坏。附图说明图1为本申请一种实施例的定位穿刺夹具的爆炸图；图2为本申请一种实施例的定位穿刺夹具的载物平台的立体图；图3为本申请一种实施例的定位穿刺夹具的夹紧组件的立体图；图4为本申请一种实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种定位穿刺夹具，用于穿刺密封元器件，其特征在于，包括：/n载物夹持组件，密封元器件设置在所述载物夹持组件上，所述载物夹持组件包括移动模块和夹紧件，所述移动模块沿所述密封元器件所在平面方向推动所述密封元器件移动至穿刺点，所述移动模块周向夹紧所述密封元器件，所述夹紧件沿垂直所述平面方向设置在所述密封元器件的一侧，所述夹紧件靠近所述密封元器件移动以夹紧所述密封元器件；/n穿刺组件，所述穿刺组件设置在所述密封元器件远离所述夹紧件的一侧，所述穿刺组件上包括穿刺针，所述穿刺针经过所述穿刺点刺入所述密封元器件中。/n

【技术特征摘要】
1.一种定位穿刺夹具，用于穿刺密封元器件，其特征在于，包括：
载物夹持组件，密封元器件设置在所述载物夹持组件上，所述载物夹持组件包括移动模块和夹紧件，所述移动模块沿所述密封元器件所在平面方向推动所述密封元器件移动至穿刺点，所述移动模块周向夹紧所述密封元器件，所述夹紧件沿垂直所述平面方向设置在所述密封元器件的一侧，所述夹紧件靠近所述密封元器件移动以夹紧所述密封元器件；
穿刺组件，所述穿刺组件设置在所述密封元器件远离所述夹紧件的一侧，所述穿刺组件上包括穿刺针，所述穿刺针经过所述穿刺点刺入所述密封元器件中。


2.根据权利要求1所述的定位穿刺夹具，其特征在于，还包括密封板，所述密封板设置在所述载物夹持组件和所述穿刺组件之间，所述密封板上设置所述穿刺点，所述载物夹持组件和所述密封板形成密封腔体。


3.根据权利要求1所述的定位穿刺夹具，其特征在于，所述载物夹持组件还包括载物架，所述移动模块设置在所述载物架上，所述移动模块包括相对设置的限位器和推进装置，所述推进装置沿所述平面方向靠近或远离所述限位器，所述密封元器件夹持在所述限位器和所述推进装置之间。


4.根据权利要求3所述的定位穿刺夹具，其特征在于，所述推进装置包括调节螺母和推杆，所述调节螺母用于控制所述推杆靠近或远离所述限位器。


5.根据权利要求3所述的定位穿刺夹具，其特征在于，所述限位器包括限位挡板和限位弹性体，所述限位弹性体连接所述限位挡板和所述载物架，所述密封元器件夹持在所述推进装置和所述限位挡板之间。


6.根据权利要求3所述的定位穿刺夹具，其特征在于，所述载物架上设置定位点，所述定位点为确定所述推进装置移动距离的基点。


7.根据权利要求3所述的定位穿刺夹具，其特征在于，所述载...

【专利技术属性】
技术研发人员：滕雷，陈海鑫，王斌，王小强，罗军，周帅，罗宏伟，
申请(专利权)人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所工业和信息化部电子第五研究所中国赛宝实验室，
类型：发明
国别省市：广东;44