【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒滚磨装置
本技术涉及单晶硅棒加工
,具体涉及一种单晶硅棒滚磨装置。
技术介绍
单晶硅作为一种重要的半导体材料,具有良好的电学性能和热稳定性。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好,特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料,集成电路半导体器件大多数硅材料制成的。硼镓共掺杂直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要进行一系列的工序,前期包括截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工,中期还需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工,后期将硅片进行制绒、扩散、结晶和烧结等工序。在单晶硅棒的生产过程中,滚磨处理能够有效对单晶硅棒进行外形塑形,现有的生产装置在对单晶硅棒进行滚磨处理时,存在滚磨不全面,滚磨效果差的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶硅棒滚磨装置,解决上述现有技术的缺陷。本技术通过下述技术方案实现:一种单晶硅棒滚磨装置,包括底架、设置在底架上的单晶硅棒固定装置、设置在底架正上方的顶架、设置在顶架上的液压伸缩缸、设置在液压伸缩缸伸缩端上的固定装置、设置在固定装置上的滚磨柱和设置在固定装置外侧壁上的电机a,所述电机a的输出端与滚磨柱相连接,所述底架包括分别设置于单晶硅棒两端的安装支架a和安装支架b,所述单晶硅棒与所述滚磨柱相平行,所述单晶硅棒固定装置包括通过螺纹连接设置在安装支架a上的夹紧件a、设置在安装支架b上的夹紧件b和输出轴与夹紧件b相连接的电机b。通过拧紧夹紧件a对单晶硅棒夹紧,电机b带动单晶硅棒顺时针 ...
【技术保护点】
1.一种单晶硅棒滚磨装置,包括底架(1)、设置在底架(1)上的单晶硅棒固定装置(7)、设置在底架(1)正上方的顶架(2)、设置在顶架(2)上的液压伸缩缸(3)、设置在液压伸缩缸(3)伸缩端上的固定装置(4)、设置在固定装置(4)上的滚磨柱(5)和设置在固定装置(4)外侧壁上的电机a(6),所述电机a(6)的输出端与滚磨柱(5)相连接,其特征在于,所述底架(1)包括分别设置于单晶硅棒(9)两端的安装支架a(12)和安装支架b(13),所述单晶硅棒(9)与所述滚磨柱(5)相平行,所述单晶硅棒固定装置(7)包括通过螺纹连接设置在安装支架a(12)上的夹紧件a(71)、设置在安装支架b(13)上的夹紧件b(72)和输出轴与夹紧件b(72)相连接的电机b(73)。/n
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒滚磨装置,包括底架(1)、设置在底架(1)上的单晶硅棒固定装置(7)、设置在底架(1)正上方的顶架(2)、设置在顶架(2)上的液压伸缩缸(3)、设置在液压伸缩缸(3)伸缩端上的固定装置(4)、设置在固定装置(4)上的滚磨柱(5)和设置在固定装置(4)外侧壁上的电机a(6),所述电机a(6)的输出端与滚磨柱(5)相连接,其特征在于,所述底架(1)包括分别设置于单晶硅棒(9)两端的安装支架a(12)和安装支架b(13),所述单晶硅棒(9)与所述滚磨柱(5)相平行,所述单晶硅棒固定装置(7)包括通过螺纹连接设置在安装支架a(12)上的夹紧件a(71)、设置在安装支架b(13)上的夹紧件b(72)和输出轴与夹紧件b(72)相连接的电机b(73)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒滚磨装置,其特征在于,所述底架(1)上设置有废料收集孔(11),所述废料收集孔(11)位于单晶硅棒(9)的正下方,所述废料收集孔(11)的正下方设...
【专利技术属性】
技术研发人员:代刚,李鹭,赵富军,
申请(专利权)人:成都青洋电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:四川;51
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