本发明专利技术是揭露提供一种工程数据分析数据库的查询系统与方法。其中该方法的步骤包含ａ）提供工程数据分析数据库，其内具有多笔数据；ｂ）将该工程数据分析数据库的多笔数据，依所属部门分类为多个部门所属数据区；ｃ）分别将该多个部门所属数据区，依选用次数排序为多个部门登录数据区；ｄ）当操作者登录时，依该操作者所属的部门，自该多个部门登录数据区中择一选用对应者；ｅ）记录该操作者操作选用该多个部门登录数据区的次数，并累计更新该多个部门所属数据区的该选用次数；以及ｆ）于固定周期，重复步骤ｃ）。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于 一 种应用于数据库的查询系统与方法，尤指 一 种工程数据 分析数据库的查询系统与方法。
技术介绍
随着计算机整合制造及信息技术的发展，在晶圓制造过程中，所有可能造成产品质量变异来源的数据，均可通过工广营运管制系统(Manufacturing Execution System, MES)及自动化的协助加以收集。部分数据并可直接藉助 于MES的统计制程管制(SPC)模块，进行线上的实时监控与管制。但由于SPC 只对特殊原因所造成的变异有帮助，对于共同原因所造成的变异并无帮助， 也无法满足晶圓厂对不断提高产品质量与良率的需求。因此，晶圓厂为强化 竟争力，极需要一套结合统计方法与数据攫取技术等分析功能的线外工程数 据分析系统(Engineering Data Analysis , EDA)。在过去8吋晶圓时代，工程分析软件都是安装在工程师的个人计算机上， 工程师可用PC进行分析，较为麻烦的是碰到软件必须更新版本时，信息人 员就得全力动员到每位工程师的座位上进行安装，每月数次的例行更新，往 往就让信息人员忙碌不已，不但影响工程分析软件的开发进度，也影响到工 程师的工作效率。而进入12吋晶圓时代后，不但数据分析量暴增数百倍， 个人计算机有限的运算能力变得难以负荷，分析软件也需要随时因应制程技 术的提升而不断更新版本，各类工程师需求趋于复杂，原有信息架构已经不 敷使用。为满足晶圓厂对不断提高产品质量与良率的需求，许多晶圆厂纷纷 投入许多资源来发展解决方案。已知技术中，EDA系统主要是利用统计方法及数据攫取等技术，分析造 成良率及质量异常的原因，以协助工程人员做出必要的决策，例如停机、停 线、调整制程参数以及对异常产品的后续处理等。然而在数据进行分析、找 出生产过程中导致低良率的原因，并将此分析结果提供给晶圆厂以做为制程 上改善的同时。这些繁复的分析步骤是必须的，但往往会耗费相当多的时间 进行处理。另一方面，面对庞大的数据库，分析」搡作者如何在庞大的数据中 找到适合的参数或数据，也是另一项极具困难度的工作，费时又费力。因此，如何研发一种，使操作者 可以最简便快速的效率获取所需的工程数据进行分析，这的确是目前此一相 关领域所需积极发展研究的目标。本专利技术专利技术人等，爰精心研究，并以其从 事该项研究领域的多年经验，遂提出本专利技术 一种工程数据分析数据库的查询 系统与方法，通过智能型辨识模块的导入，将工程数据分析数据库内的数据 先依部门作初步的分类后，再将数据依照该部门点选的频率来排序。可节省 工程师很多时间。其中系统会每天重新排序。藉此，使操作者可立即熟悉系 统，同时于操作者登入系统时也可依照该登录者所属部门而分类，提供操作 者最适切的实时参数及相关数据，避免时间与人力的浪费，可有效解决已知 的问题，实为一不可多得的专利技术。
技术实现思路
本专利技术的主要目的为提供一种工程数据分析数据库的查询方法，通过智 能型辨识模块的导入，将工程数据分析数据库内的数据先依部门作初步的分 类后，再将数据依照该部门点选的频率来排序。可使操作者可以最简便快速 的效率获取所需的工程数据进行分析。为达上述目的，本专利技术的一较广义实施样态为提供一种工程数据分析数据库的查询方法，包含下列步骤a)提供工程数据分析数据库，其内具有多笔 数据；b)将该工程数据分析数据库的多笔数据，依所属部门分类为多个部门 所属数据区；c)分别将该多个部门所属数据区，依一选用次数排序为多个部 门登录数据区；d)当操作者登录时，依该操作者所属的部门，自该多个部门 登录数据区中择一选用对应者；e)记录该操作者操作选用该多个部门登录数 据区的次数，并累计更新该多个部门所属数据区的该选用次数；以及f)于固 定周期，重复步骤c)。根据本专利技术构想，其中该工程数据分析数据库应用于半导体晶圆制造产 业的工程数据分析系统(Engineering Data Analysis, EDA)。根据本专利技术构想，其中该步骤b)及该步骤c)是通过智能型查询组件 (Intelligence Query Component)完成。根据本专利技术构想，其中该多笔数据均具有产品型号、批次、晶圆片号、制程参数、制程机台、制程规格或制造步骤等字段。根据本专利技术构想，其中各字段均具有其所属的多个工程参数。 根据本专利技术构想，其中该搡作者登录时，该部门登录数据区的数据于操作者所选的字段，依该选用次数，由多至少排序其所属的多个工程参数。根据本专利技术构想的查询方法，还包含步骤g)于该固定周期，分别针对该多个部门所属数据区，依该选用次数，由多至少排序该多个工程参数。根据本专利技术构想，其中该选用次数为各该工程参数所属的选用次数。 根据本专利技术构想，其中该步骤g)还包含步骤gl)根据排序的该多个工程参数，产生柏拉图分析统计表。根据本专利技术构想，其中该步骤d)还包含步骤dl)于操作者登录后，显示该柏拉图分析统计表，用以提供该操作者参考。根据本专利技术构想，其中该步骤d)还包含步骤d2)显示该操作者于前次登 录时，使用该部门登录数据区的记录。根据本专利技术构想，其中该步骤d)还包含步骤dO)验证该操作者的登入消 息，并确认该操作者所属部门。本专利技术的再一目的为提供一种工程数据分析数据库的查询系统，通过智 能型辨识模块的导入，将工程数据分析数据库内的数据先依部门作初步的分 类后，再将数据依照该部门点选的频率来排序。可使操作者可以最简便快速 的效率获取所需的工程数据进行分析。为达上述目的，本专利技术的一较广义实施样态为提供一种工程数据分析数 据库的查询系统，包含工程数据分析数据库，其内具有多笔数据，而该多 笔数据分别具有工程参数；智能型查询组件(Intelligence Query Component),连接该工程数据分析数据库，用以将该多笔数据依所属部门分 类为多个部门所属数据区，同时再分别将该多个部门所属数据区，依一选用 次数排序成为多个部门登录数据区，其中该选用次数系因应操作者选用而累 计；以及操作者接口，连接该智能型查询组件，用以于操作者登录时，通过 该智能型查询组件，依该操作者所属的部门，自该多个部门登录数据区中择 一选用开启对应者。根据本专利技术构想，其中该工程数据分析数据库应用于半导体晶圆制造产 业的工程数据。根据本专利技术构想，其中该多笔数据可具有产品型号、批次、晶圆片号、制程参数、制程机台、制程规格或制造步骤等字段；而该工程参数包含于该等字段之一。根据本专利技术构想，其中该操作者登录时，该部门登录数据区的数据于操作者所选的字段，依该选用次数，由多至少排序。根据本专利技术构想，其中该选用次数为各该工程参数所属的选用次数。 根据本专利技术构想，其中该操作者接口还于该操作者登录时，提供柏拉图分析统计表。根据本专利技术构想，其中该柏拉图分析统计表，为固定周期间，该使用者 所属部门的各该工程参数的该选用次数统计。附图说明图1揭示本专利技术较佳实施例的一种工程数据分析数据库的查询系统。图2揭示本专利技术工程数据分析数据库的查询系统的另一示意图。图3揭示本专利技术较佳实施例的一种工程数据分析数据库的查询方法。[主要元件标号说明]11:工程数据分析数据库 12:智能型查询组件13:操作者接口 21:操作者22:栏框 23:柏拉图分析统计表S31 — S36:方法步骤具体实施方式体现本专利技术本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种工程数据分析数据库的查询方法，包含下列步骤： ａ）提供工程数据分析数据库，其内具有多笔数据； ｂ）将该工程数据分析数据库的多笔数据，依所属部门分类为多个部门所属数据区； ｃ）分别将该多个部门所属数据区，依选用次数排序为多个部门登录数据区； ｄ）当操作者登录时，依该操作者所属的部门，自该多个部门登录数据区中择一选用对应者； ｅ）记录该操作者操作选用该多个部门登录数据区的次数，并累计更新该多个部门所属数据区的该选用次数；以及 ｆ）于固定周期，重复步骤ｃ）。
【技术特征摘要】
1.一种工程数据分析数据库的查询方法，包含下列步骤a)提供工程数据分析数据库，其内具有多笔数据；b)将该工程数据分析数据库的多笔数据，依所属部门分类为多个部门所属数据区；c)分别将该多个部门所属数据区，依选用次数排序为多个部门登录数据区；d)当操作者登录时，依该操作者所属的部门，自该多个部门登录数据区中择一选用对应者；e)记录该操作者操作选用该多个部门登录数据区的次数，并累计更新该多个部门所属数据区的该选用次数；以及f)于固定周期，重复步骤c)。2. 根据权利要求1所述的查询方法，其中该工程数据分析数据库应用于 半导体晶圆制造产业的工程数据分析系统。3. 根据权利要求1所述的查询方法，其中该步骤b)及该步骤c)是通过 智能型查询组件完成。4. 根据权利要求1所述的查询方法，其中该多笔数据均具有产品型号、 批次、晶圓片号、制程参数、制程机台、制程规格或制造步骤等字段。5. 根据权利要求4所述的查询方法，其中各字段均具有其所属的多个工 程参数。6. 根据权利要求5所述的查询方法，其中该操作者登录时，该部门登录 数据区的数据于操作者所选的字段，依该选用次数，由多至少排序其所属的 多个工程参数。7. 根据权利要求5所述的查询方法，还包含步骤g)于该固定周期，分 别针对该多个部门所属数据区，依该选用次数，由多至少排序该多个工程参数。8. 根据权利要求7所述的查询方法，其中该选用次数为各该工程参数所 属的选用次数。9. 根据权利要求7所述的查询方法，其中该步骤g)还包含步骤gl)根据 排序的该多个工程参数，产生柏拉图分析统计表。10. 根据权利要求9所述的查询方法，其中该步骤d)还包含步骤dl)于 搡作者登录后，显示该柏拉图分析统计表，用以...
【专利技术属性】
技术研发人员：乐庆莉，何煜文，
申请(专利权)人：力晶半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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