【技术实现步骤摘要】
一种膜厚测量玻璃板支架及方法
本专利技术属于膜厚测量
,尤其是涉及一种膜厚测量玻璃板支架及方法。
技术介绍
陪镀片需要和掩模版一起进入真空环境进行磁控溅射,因为现有工艺无法对掩模版的膜厚直接测量,所以只能测量一起进入相同环境的陪镀片,而目前的工艺中,测量和校正需要将陪镀片从真空环境取出和未参与工艺流程的相同材料陪镀片以及背面相同黑墨背景板在仪器下检测光的反射数据,从而得出已经完成的厚度。这样多次操作会重复进入真空腔,一是浪费时间,二是不可避免地会对真空腔造成污染和一定程度地破坏,影响工艺的稳定和产品质量。为此,我们提出一种膜厚测量玻璃板支架及方法来解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对上述问题,提供一种可将单一的支架替换为三合一的膜厚测量玻璃板支架及方法。为达到上述目的,本专利技术采用了下列技术方案:一种膜厚测量玻璃板支架,包括支架框,所述支架框的上端设有多组嵌槽,其中一个所述嵌槽的底部开设有多个螺纹孔,所述螺纹孔贯穿整个支架框,所述螺纹孔内螺纹连接有螺栓。在上述的膜厚测量玻璃板支架中,多组所述嵌槽相互平行设置。在上述的膜厚测量玻璃板支架中,所述嵌槽有三组。在上述的膜厚测量玻璃板支架中,多个所述嵌槽之间的间距为0.5-1.5cm。在上述的膜厚测量玻璃板支架中,所述嵌槽的深度为0.4cm-1.0cm。一种玻璃板支架膜厚测量方法,所述玻璃板支架为权利要求1-5任一项所述的玻璃板支架,包括以下步骤:S1:校准准备 ...
【技术保护点】
1.一种膜厚测量玻璃板支架,包括支架框(1),其特征在于,所述支架框(1)的上端设有多组嵌槽(2),其中一个所述嵌槽(2)的底部开设有多个螺纹孔(3),所述螺纹孔(3)贯穿整个支架框(1),所述螺纹孔(3)内螺纹连接有螺栓(4)。/n
【技术特征摘要】
1.一种膜厚测量玻璃板支架,包括支架框(1),其特征在于,所述支架框(1)的上端设有多组嵌槽(2),其中一个所述嵌槽(2)的底部开设有多个螺纹孔(3),所述螺纹孔(3)贯穿整个支架框(1),所述螺纹孔(3)内螺纹连接有螺栓(4)。
2.根据权利要求1所述的膜厚测量玻璃板支架,其特征在于,多组所述嵌槽(2)相互平行设置。
3.根据权利要求2所述的膜厚测量玻璃板支架,其特征在于,所述嵌槽(2)有三组。
4.根据权利要求1所述的膜厚测量玻璃板支架,其特征在于,多个所述嵌槽(2)之间的间距为0.5-1.5cm。
5.根据权利要求1所述的膜厚测量玻璃板支架,其特征在于,所述嵌槽(2)的深度为0.4cm-1.0cm。
6.一种玻璃板支架膜厚测量方法,其特征在于,所述玻璃板支架为权利要求1-5任一项所述的玻璃板支架,包括以下步骤:
S1:校准准备,将支架框与设备框架用螺栓进行固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:钱超,余洋,黄斌,植启东,
申请(专利权)人:南京深光科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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