热处理装置制造方法及图纸

提供热处理装置，进一步降低在热处理装置中对收纳被处理物的管施加的负荷。热处理装置(1)具有：卧式的管(4)，其包含用于取出放入被处理物(100)的开口部(4a)；门(8)，其对开口部(4a)进行开闭；以及门支承机构(9)，其与管(4)的开口部(4a)沿上下方向(Z)移位的动作联动而将门(8)支承为能够沿上下方向(Z)移位。

【技术实现步骤摘要】
热处理装置
本专利技术涉及用于在加热的气氛下对被处理物进行处理的热处理装置。
技术介绍
公知有用于对基板等材料进行热处理的热处理装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的热处理装置具有石英制的管。该管形成为筒状，以该管的中心轴线为水平方向的方式横向配置。该管收纳基板等被处理物。在管内，通过热反应对被处理物实施期望的热处理。在对被处理物进行热处理时，管的开口部被门关闭。专利文献1：日本特开2014-53550号公报管例如被支承部件支承。另外，门被门开闭装置支承为能够开闭。热处理装置为了将被处理物加热至几百度以上而处于高温。因此，管也处于高温。如果管处于高温，则管用的支承部件也处于高温，因此支承部件和管等热膨胀，其结果为，管的开口部中的各部分的上下位置发生变化。另外，由于被处理物被搬入到管内，所以管有时受到来自该被处理物的载荷而相对于水平方向倾斜，开口部的上下位置发生变化。这样，管的上下位置发生变化，另一方面，将开口部关闭的状态的门被门开闭装置固定为不会发生移位，因此上下位置不发生变化。其结果为，管的开口部必须承受沿上下方向移动的力并且与被固定的门发生相对移动。由此，对管的开口部施加较大的负荷，成为管的开口部容易产生破损的一个原因。
技术实现思路
鉴于上述情况，本专利技术的目的在于，在热处理装置中进一步降低对收纳被处理物的管施加的负荷。(1)为了解决上述课题，本专利技术的一个方面的热处理装置具有：卧式的管，其包含用于取出放入被处理物的开口部；门，其对所述开口部进行开闭；以及门支承机构，其与所述管的所述开口部沿上下方向移位的动作联动而将所述门支承为能够沿所述上下方向移位。根据该结构，在由于处于高温的管支承部件热膨胀而使管的开口部的上下位置发生变化的情况下，或者在由于处于高温的管热膨胀而使该管的开口部的上下位置发生变化的情况下，或者在由于管内的被处理物的载荷平衡而导致该管的开口部的上下位置发生变化的情况下，门能够与管的开口部的上下位置的变化一致地沿上下方向移位。其结果为，管的开口部不会从门受到较大的力。因此，能够进一步降低施加于管的开口部的负荷。(2)有时所述门支承机构具有：第1支承部件，其为了对所述门进行支承而与所述门连结；第2支承部件，其对所述第1支承部件进行支承；以及第1弹性部件，其以所述第1支承部件能够相对于所述第2支承部件沿所述上下方向移动的方式将来自所述第1支承部件的载荷传递给所述第2支承部件。根据该结构，门支承机构能够通过第1弹性部件的弹性变形而使门沿上下方向顺畅地移动。(3)有时所述门以能够绕轴线移位的方式与所述第1支承部件连结，其中，该轴线沿与所述上下方向垂直的左右方向延伸。根据该结构，在管的开口部以相对于上下方向倾斜的方式移位的情况下(例如在由于管内的被处理物的载荷平衡而导致该管的开口部相对于上下方向倾斜的情况下)，门支承机构能够以与该倾斜一致的方式使门倾斜。由此，能够抑制在管的开口部与门之间产生间隙，并且能够抑制较大的负荷作用于管的开口部。(4)有时所述门和所述第1支承部件是使用球面接头连结的。根据该结构，能够进一步提高门以与管的开口部的移位一致的方式移位的自由度，并且接头以较少的部件数量即可完成。(5)有时所述第1支承部件包含沿所述上下方向延伸的轴状部，并且所述第1支承部件穿过形成于所述第2支承部件的贯通孔。根据该结构，第2支承部件作为保护第1支承部件的保护部件而发挥功能，能够更可靠地抑制第1支承部件与异物接触。进而，能够紧凑地配置第1支承部件和第2支承部件。(6)有时所述门支承机构包含第2弹性部件，该第2弹性部件通过在所述第2支承部件与所述门之间发生弹性变形而产生将所述门向所述开口部这一侧加压的弹性斥力。根据该结构，通过对门施加将门向管的开口部加压的载荷，能够提高门与管的紧贴度。进而，能够使将门向管的开口部加压的载荷在门的周向上更加均匀。(7)有时所述门支承机构包含用于使所述门进行开闭动作的开闭机构，所述开闭机构与所述门的开闭动作联动而使所述第1支承部件和所述第2支承部件移位。根据该结构，开闭机构能够伴随着门的开闭动作而使门支承机构的第1支承部件和第2支承部件这两者相对于管的开口部移位。由此，在通过管的开口部来取出放入被处理物时，能够使这些第1支承部件和第2支承部件移动，以使第1支承部件和第2支承部件不成为障碍。(8)有时所述门支承机构包含：初始载荷设定部件，其使所述第1弹性部件产生与所述初始载荷设定部件相对于所述第2支承部件的上下位置对应的初始载荷；以及位置调整部件，其由与所述初始载荷设定部件不同的部件设置，用于调整所述第1支承部件相对于所述第2支承部件的上下位置。根据该结构，初始载荷设定部件例如能够设定管的开口部相对于门进行移位前的状态下的弹性部件的弹性变形量。另外，通过操作位置调整部件，能够变更第1支承部件相对于第2支承部件的上下位置。通过这样的结构，例如在维护热处理装置时等，无需操作初始载荷设定部件，就能够进行第1支承部件(门)相对于第2支承部件的位置调整。这样，采用能够相互独立地进行初始载荷设定作业和门的位置调整作业的结构，其结果为，能够进一步减少热处理装置的组装和维护所需的工时。根据本专利技术，能够在热处理装置中进一步降低对收纳被处理物的管施加的负荷。附图说明图1是示出本专利技术的一个实施方式的热处理装置的概略结构的示意立体图，并且将一部分以剖面示出。图2是示出从热处理装置的左侧观察示意性示出了热处理装置的主要部分的结构的状态的图，并且将一部分以剖面示出。图3是示出从左侧观察热处理装置的管适配器的周边的状态的示意剖视图。图4是管适配器支承机构的左侧机构的概略图，并且将一部分以剖面示出。图5是管适配器支承机构的右侧机构的概略图，并且将一部分以剖面示出。图6是管适配器支承机构的右侧机构的概略剖视图。图7是示出热处理装置的一部分的示意立体图，示出了门支承机构的示意性结构。图8是示意性地示出门支承机构的结构的、将一部分以剖面示出的左侧视图，相当于放大了图2的一部分的图。图9是将图7和图8中的门支承机构的主要部分放大而示出的立体图。标号说明1：热处理装置；4：管；4a：开口部；8：门；9：门支承机构；61：第1支承部件；62：第2支承部件；65：门开闭机构(开闭机构)；67：球面接头；75a、76a：形成于第2支承部件的贯通孔；77：门按压弹性部件(第2弹性部件)；82：弹性部件(第1弹性部件)；86：初始载荷设定部件；93：位置调整部件；100：被处理物；L1：沿左右方向延伸的轴线；Y：左右方向；Z：上下方向。具体实施方式以下，参照附图对用于实施本专利技术的方式进行说明。另外，本专利技术能够广泛地应用于用于对被处理物进行热处理的热处理装置。图1是示出本专利技术的一个实施方式的热处理装置1的概略结构的示意立体图，并且将一部分以剖面示出。图2是示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热处理装置，其具有：/n卧式的管，其包含用于取出放入被处理物的开口部；/n门，其对所述开口部进行开闭；以及/n门支承机构，其与所述管的所述开口部沿上下方向移位的动作联动而将所述门支承为能够沿所述上下方向移位。/n

【技术特征摘要】
20191031 JP 2019-1992641.一种热处理装置，其具有：
卧式的管，其包含用于取出放入被处理物的开口部；
门，其对所述开口部进行开闭；以及
门支承机构，其与所述管的所述开口部沿上下方向移位的动作联动而将所述门支承为能够沿所述上下方向移位。


2.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，
所述门支承机构具有：
第1支承部件，其为了对所述门进行支承而与所述门连结；
第2支承部件，其对所述第1支承部件进行支承；以及
第1弹性部件，其以所述第1支承部件能够相对于所述第2支承部件沿所述上下方向移动的方式将来自所述第1支承部件的载荷传递给所述第2支承部件。


3.根据权利要求2所述的热处理装置，其中，
所述门以能够绕轴线移位的方式与所述第1支承部件连结，其中，该轴线沿与所述上下方向垂直的左右方向延伸。


4.根据权利要求3所述的热处理装置，其中，
所述门和所述第1支承部件是使用球面接头连结...

【专利技术属性】
技术研发人员：中西裕也，辻本洋平，西冈昌浩，青栁圭太，中窪尚生，笠次克尚，浅野真，
申请(专利权)人：光洋热系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP