气氛置换装置和热处理系统制造方法及图纸

提供气氛置换装置和热处理系统，在工件搬入时能够根据工件搬出目的地的室的气氛来高效地置换气氛置换室的气氛，防止在工件搬出后从工件搬出目的地的室流入的气体滞留在气氛置换室中，从而防止流入的气体对工件产生影响。在气氛置换室(21)中设置有提供气氛置换用气体的气体提供口(22)和在置换气氛时将气氛置换室(21)内的气体向外排出的气体排出口(23)。第1气体提供部(24)在工件(16)被搬入到气氛置换室(21)的状态下将作为气氛置换用气体的第1气体从气体提供口(22)提供到气氛置换室(21)。第2气体提供部(25)在工件(16)从气氛置换室(21)搬出之后将作为气氛置换用气体的第2气体从气体提供口(22)提供到气氛置换室(21)。

【技术实现步骤摘要】
气氛置换装置和热处理系统
本专利技术涉及供工件搬入和搬出并且置换内部的气氛的气氛置换装置以及具有该气氛置换装置的热处理系统。
技术介绍
以往，在维持为规定的气氛状态的室内对工件实施热处理等处理的情况下，防止大气从搬入工件的入口流入到室内。在专利文献1中公开了一种连续式烧结炉，其具有：脱蜡装置，其供作为被烧结体的工件搬入而对该工件进行加热，进行使包含油脂成分的粘结剂气化而将该粘结剂去除的处理；以及烧结装置，其对从脱蜡装置搬送的工件进行烧结。在专利文献1的连续式烧结炉中，在脱蜡装置中，始终提供朝向搬入工件的入口侧流动的氧化性气体，防止大气从入口流入到脱蜡装置的室内。但是，在专利文献1的连续式烧结炉的情况下，需要在进行工件处理的脱蜡装置的室内始终持续提供氧化性气体。因此，在构成进行工件处理的室内的气氛的气体是高价气体的情况下，会导致成本大幅上升。另一方面，在专利文献2中，公开了一种连续式热处理装置，其具有：真空容器，其形成有供工件搬入的搬入室和对搬入到搬入室的工件进行热处理的处理室；以及装载锁定装置，其具有与真空容器的搬入室连结的装载锁定室。在专利文献2的连续式热处理装置中，装载锁定装置构成为在将装载锁定室内的气氛置换为惰性气体气氛的状态下在装载锁定室与搬入室之间交接被处理物。即，装载锁定装置具有作为供工件搬入和搬出的装载锁定室的气氛置换室，构成为置换气氛置换室的内部的气氛的气氛置换装置。在专利文献2所公开的连续式热处理装置中，通过在处理室的入口侧设置装载锁定装置，将进行工件的热处理的处理室的气氛与外部隔断，防止大气流入处理室内。专利文献1：日本特开2009-215627号公报专利文献2：日本特许第6469747号公报如果使用专利文献2所公开的作为装载锁定装置的气氛置换装置，则在向气氛置换室搬入工件时能够根据与气氛置换室连结的工件搬出目的地的室的气氛来高效地置换供工件搬入和搬出的气氛置换室的气氛。因此，根据专利文献2所公开的气氛置换装置，能够防止在维持为规定的气氛状态的室内对工件实施热处理等处理的情况下大气从搬入工件的入口流入室内。另外，根据专利文献2所公开的气氛置换装置，在工件被搬入到气氛置换室内的状态下置换气氛置换室内的气氛，接着，将工件从气氛置换室向工件搬出目的地的室搬出。因此，只要在置换气氛置换室的气氛时提供气氛置换用的气体即可，不需要始终持续提供气体。由此，能够减少气体的使用量，能够抑制成本的上升。特别是在构成进行工件处理的室内的气氛的气体是高价气体的情况下，能够减少高价气体的使用量，能够大幅抑制成本的上升。但是，根据专利文献2所公开的气氛置换装置，在对搬入了工件的气氛置换室内的气氛进行了置换之后，在将工件从气氛置换室向工件搬出目的地的室搬出时，工件搬出目的地的室内的气体流入到气氛置换室。因此，在将工件从气氛置换室搬出之后，从工件搬出目的地的室流入的气体滞留在气氛置换室中。如果在工件搬出后从工件搬出目的地的室流入的气体滞留在气氛置换室中，则在向气氛置换室新搬入工件时，从工件搬出目的地的室流入的气体所包含的成分有可能对工件产生影响。特别是在从工件搬出目的地的室流入到气氛置换室的气体中包含有随着气氛置换室内的温度比热处理室内的温度低而液化的成分的情况下，该成分在气氛置换室的顶棚或壁面上结露。然后，在向气氛置换室新搬入工件时，在气氛置换室的顶棚或壁面上结露的成分容易滴下到工件上。在该情况下，滴下到工件的表面的成分成为工件的污垢，另外，产生在工件搬出目的地的室内处理工件时引起处理不良的问题。例如，在专利文献1所公开的连续式烧结炉中，考虑通过在脱蜡装置的入口侧设置专利文献2所公开的气氛置换装置来减少气体的使用量。但是，在该情况下，在将工件从气氛置换装置的气氛置换室搬入到脱蜡装置的室内时，从脱蜡装置的室流入到气氛置换室的气体滞留在气氛置换室中。而且，在流入到气氛置换室内的气体中以气化的状态包含有具有油脂成分的粘结剂，包含在该气体中的粘结剂随着气氛置换室内的温度比脱蜡装置的室内的温度低而液化，在气氛置换室的顶棚或壁面上结露。然后，在向气氛置换室新搬入工件时，在气氛置换室的顶棚或壁面上结露的成分滴下到工件上而成为工件的污垢，另外，产生引起工件的处理不良的问题。因此，在气氛置换装置中，期望在将工件从气氛置换室搬出之后，能够防止从工件搬出目的地的室流入的气体滞留在气氛置换室中。由此，在向气氛置换室新搬入工件时，能够防止从工件搬出目的地的室流入的气体所包含的成分对工件产生影响。
技术实现思路
鉴于上述实际情况，本专利技术的目的在于提供气氛置换装置以及具有该气氛置换装置的热处理系统，在向气氛置换室搬入工件时能够根据与气氛置换室连结的工件搬出目的地的室的气氛来高效地置换供工件搬入和搬出的气氛置换室的气氛，并且在将工件从气氛置换室搬出之后，能够防止从工件搬出目的地的室流入的气体滞留在气氛置换室中，从而能够防止从工件搬出目的地的室流入的气体所包含的成分对工件产生影响。(1)为了解决上述课题，本专利技术的一个方面的气氛置换装置具有：气氛置换室，其供工件搬入和搬出并且置换内部的气氛；气体提供口，其设置于所述气氛置换室，用于向该气氛置换室提供用于置换所述气氛置换室内的气氛的气氛置换用气体；气体排出口，其设置于所述气氛置换室，用于在所述气氛置换用气体被提供到所述气氛置换室而置换该气氛置换室内的气氛时将该气氛置换室内的气体向该气氛置换室外排出；第1气体提供部，其在所述工件被搬入到所述气氛置换室的状态下从所述气体提供口向所述气氛置换室内提供作为所述气氛置换用气体的第1气体；以及第2气体提供部，其在所述工件从所述气氛置换室搬出之后，从所述气体提供口向所述气氛置换室内提供作为所述气氛置换用气体的第2气体。上述结构的气氛置换装置具有气氛置换室，并且该气氛置换装置以气氛置换室与在维持为规定的气氛的状态下对工件实施热处理等处理的工件搬出目的地的室连结的状态被使用。而且，根据上述结构的气氛置换装置，在将工件搬入到气氛置换室后的状态下，从第1气体提供部经由气体提供口向气氛置换室提供作为气氛置换用气体的第1气体。作为第1气体，选定与连结着气氛置换室的工件搬出目的地的室的气氛对应的气体。然后，一边从气体提供口向气氛置换室提供第1气体，一边从气体排出口向气氛置换室外排出气氛置换室内的气体。由此，将气氛置换室内的气氛置换成第1气体。因此，根据上述结构的气氛置换装置，在向气氛置换室搬入工件时能够根据与气氛置换室连结的工件搬出目的地的室的气氛来高效地置换气氛置换室的气氛。另外，根据上述结构的气氛置换装置，只要在置换气氛置换室的气氛时提供气氛置换用的气体即可，不需要始终持续提供气体，因此能够减少气体的使用量，能够抑制成本的上升。另外，根据上述结构的气氛置换装置，在将工件从气氛置换室搬出到工件搬出目的地的室之后，从第2气体提供部经由气体提供口向气氛置换室提供作为气氛置换用气体的第2气体。然后，一边从气体提供口向气氛置换室提供第2气体，一边从气体排出口向气氛置换室外排出气氛置换室内的气体。由此，将包含有在工本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气氛置换装置，其特征在于，/n该气氛置换装置具有：/n气氛置换室，其供工件搬入和搬出并且置换内部的气氛；/n气体提供口，其设置于所述气氛置换室，用于向该气氛置换室提供用于置换所述气氛置换室内的气氛的气氛置换用气体；/n气体排出口，其设置于所述气氛置换室，用于在所述气氛置换用气体被提供到所述气氛置换室而置换该气氛置换室内的气氛时将该气氛置换室内的气体向该气氛置换室外排出；/n第1气体提供部，其在所述工件被搬入到所述气氛置换室的状态下从所述气体提供口向所述气氛置换室内提供作为所述气氛置换用气体的第1气体；以及/n第2气体提供部，其在所述工件从所述气氛置换室搬出之后，从所述气体提供口向所述气氛置换室内提供作为所述气氛置换用气体的第2气体。/n

【技术特征摘要】
20191029 JP 2019-1965371.一种气氛置换装置，其特征在于，
该气氛置换装置具有：
气氛置换室，其供工件搬入和搬出并且置换内部的气氛；
气体提供口，其设置于所述气氛置换室，用于向该气氛置换室提供用于置换所述气氛置换室内的气氛的气氛置换用气体；
气体排出口，其设置于所述气氛置换室，用于在所述气氛置换用气体被提供到所述气氛置换室而置换该气氛置换室内的气氛时将该气氛置换室内的气体向该气氛置换室外排出；
第1气体提供部，其在所述工件被搬入到所述气氛置换室的状态下从所述气体提供口向所述气氛置换室内提供作为所述气氛置换用气体的第1气体；以及
第2气体提供部，其在所述工件从所述气氛置换室搬出之后，从所述气体提供口向所述气氛置换室内提供作为所述气氛置换用气体的第2气体。


2.根据权利要求1所述的气氛置换装置，其特征在于，
所述第1气体是惰性气体，所述第2气体是空气。


3.根据权利要求2所述的气氛置换装置，其特征在于，
所述第2气体提供部将所述气氛置换室的外部的空气作为所述第2气体向所述气氛置换室引导并提供到所述气氛置换室。


4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的气氛置换装置，其特征在于，
在所述气氛置换室内设定有工件配置区域，该工件配置区域是供搬入到该气氛置换室的所述工件配置的区域，
在所述气氛置换室中，在从上方观察的状态下，所述气体排出口配置于偏离所述工件配置区域的位置。


5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的气氛置换装置，其特征在于，
所述气体提供口设置于所述气氛置换室的上部，所述气体排出口设置于所述气氛置换室的下部。


6.根据权利要求5所述的气氛置换装置，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：松田伸，
申请(专利权)人：光洋热系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP