掩模板及制备方法、精细金属掩模板、掩模装置及使用方法制造方法及图纸

一种掩模板(500)及制备方法、精细金属掩模板、掩模装置及使用方法，该掩模板包括：至少一个开口区(510)和围绕且限定至少一个开口区(510)的遮挡部。遮挡部包括主体部分(530)和至少一个凸出部(540)，在至少一个开口区(510)的每个开口区(510)内，凸出部(540)在主体部分(530)的面对开口区(510)的一侧向开口区(510)伸出；主体部分(530)包括位于凸出部(540)的与开口区(510)相反的一侧且延伸方向与凸出部(540)的延伸方向相同的边缘(51)，主体部分(530)的位于边缘(51)与凸出部(540)之间的部分和凸出部(540)中的至少之一包括减薄部分，减薄部分的厚度小于遮挡部的其他部分的厚度。上述结构的掩模板(500)，可以有效地改善凸出部(540)的应力分布情况，减弱或避免掩模板(500)在拉伸张网后凸出部(540)的下垂现象，使掩模板(500)的精度得到显著地提升。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】掩模板及制备方法、精细金属掩模板、掩模装置及使用方法本申请要求于2019年8月28日递交的中国专利申请第201910801463.0号以及于2019年8月28日递交的中国专利申请第201921410333.6号的优先权，该中国专利申请的全文以引入的方式并入以作为本申请的一部分。
本公开的实施例涉及一种掩模板及制备方法、精细金属掩模板、掩模装置及使用方法。
技术介绍
随着电子显示产品的普及，用户对电子显示产品的功能、外观的要求进一步提高。为了满足用户的不同实际需求，电子显示产品的外观或显示区域有时会需要被设计为不规则或特殊的形状。相应地，电子显示产品中的功能层、结构层等也需要具有不规则或特殊的形状。
技术实现思路
本公开至少一个实施例提供一种掩模板，包括至少一个开口区和围绕且限定所述至少一个开口区的遮挡部；其中，所述遮挡部包括：主体部分和至少一个凸出部，在所述至少一个开口区的每个开口区内，所述凸出部在所述主体部分的面对所述开口区的一侧向所述开口区伸出；其中，所述主体部分包括位于所述凸出部的与所述开口区相反的一侧且延伸方向与所述凸出部的延伸方向相同的边缘，所述主体部分的位于所述边缘与所述凸出部之间的部分和所述凸出部中的至少之一包括减薄部分，所述减薄部分的厚度小于所述遮挡部的其他部分的厚度。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，所述减薄部分为凹部，所述遮挡部在所述凹部处的部分的厚度小于所述遮挡部的其他部分的厚度。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，所述凹部位于所述凸出部上；所述凹部在所述凸出部上的正投影的中心与所述凸出部的中心重合，且所述凹部的形状与所述凸出部的形状相同。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，所述凹部位于所述主体部分的位于所述边缘与所述凸出部之间的部分上，所述凹部的中心与所述凸出部的中心之间的连线平行于所述凸出部的伸出方向。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，在所述凸出部的延伸方向上，所述凹部的尺寸与所述凸出部的尺寸相同，所述凹部的形状与所述凸出部的形状相同。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，所述遮挡部在所述凹部处的部分的厚度与所述遮挡部的其他部分的厚度的比值大于等于0.8。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，设置在所述主体部分的位于所述边缘与所述凸出部之间的部分和所述凸出部上的减薄部分彼此连通。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，所述凸出部和所述主体部分一体形成。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，所述凸出部的形状为方形、半圆形或水滴形。例如，本公开至少一个实施例提供的掩模板还包括位于所述遮挡部的周边的多个固定部，其中，所述多个固定部与所述遮挡部相接且在平行于所述掩模板的表面的平面内沿背离所述至少一个开口区的方向伸出。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，所述固定部与所述遮挡部一体设置。例如，本公开至少一个实施例提供的掩模板包括多个所述开口区，其中，所述多个开口区呈阵列排布，所述遮挡部围绕且限定所述多个开口区的每个开口区。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，所述遮挡部包括平行设置的多个第一遮挡部和平行设置的多个第二遮挡部组，所述多个第一遮挡部沿第一方向延伸，所述多个第二遮挡部组中的每个沿不同于所述第一方向的第二方向延伸，每个所述第二遮挡部组包括沿所述第二方向延伸的多个第二遮挡部，每个所述第二遮挡部设置在相邻所述第一遮挡部之间且与相邻的所述第一遮挡部无缝连接，所述多个第一遮挡部和所述多个第二遮挡部组彼此相交设置以围绕且限定所述每个开口区；在所述每个开口区内，所述凸出部在所述第一遮挡部和/或所述第二遮挡部的面对所述开口区的一侧向所述开口区伸出。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，所述第一方向垂直于所述第二方向。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，在所述每个开口区内，所述凸出部在所述第一遮挡部和/或所述第二遮挡部的面对所述开口区的一侧的中间区域向所述开口区伸出。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，所述掩模板的多个固定部分别位于所述多个第一遮挡部和所述多个第二遮挡部组的延伸方向上。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，在所述凸出部的伸出方向上，位于边缘的所述第一遮挡部和/或所述第二遮挡部开设有与所述凸出部对应的至少一个通刻孔，所述通刻孔的延伸方向与所述凸出部的伸出方向垂直。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，所述通刻孔的形状与所述凸出部的形状相同，且所述通刻孔的尺寸与所述凸出部的尺寸相同。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模板中，在所述凸出部的伸出方向上，位于边缘的所述第一遮挡部和/或所述第二遮挡部开设有与所述凸出部对应的多个通刻孔，所述多个通刻孔沿所述凸出部的伸出方向间隔排布。本公开至少一个实施例还提供一种精细金属掩模板，被配置为与本公开任一实施例所述的掩模板配合使用；其中，所述精细金属掩模板为条状；所述精细金属掩模板包括掩模图案区和遮挡连接部，在所述条状的精细金属掩模板的延伸方向上，所述遮挡连接部分别位于所述掩模图案区的两端；所述掩模图案区包括呈阵列排布的多个通孔，所述遮挡连接部上设置有至少一个开口。例如，在本公开至少一个实施例提供的精细金属掩模板中，所述至少一个开口包括多个开口，所述多个开口沿所述条状的精细金属掩模板的延伸方向间隔排布且彼此平行。本公开至少一个实施例还提供一种掩模装置，包括支撑框架和本公开任一实施例所述的掩模板，其中，所述掩模板固定在所述支撑框架上。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模装置中，所述支撑框架上开设有多个连接凹槽，所述掩模板的多个固定部分别插入且固定在所述多个连接凹槽中。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模装置中，所述支撑框架围绕所述至少一个开口区。例如，本公开至少一个实施例提供的掩模装置还包括精细金属掩模板，其中，所述精细金属掩模板为条状，所述精细金属掩模板包括掩模图案区和遮挡连接部，在所述条状的精细金属掩模板的延伸方向上，所述遮挡连接部分别位于所述掩模图案区的两端；所述掩模图案区包括呈阵列排布的多个通孔，所述遮挡连接部上设置有至少一个开口；其中，所述精细金属掩模板的遮挡连接部通过所述掩模板的固定部设置在所述掩模板远离所述支撑框架的一侧，所述掩模板的开口区在所述精细金属掩模板上的正投影位于所述掩模图案区内且覆盖所述多个通孔，所述掩模板上开设的通刻孔位于所述遮挡连接部在所述掩模板上的正投影内，且所述遮挡连接部的至少一个开口在所述掩模板上的正投影与所述通刻孔没有交叠。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模装置中，所述遮挡连接部的至少一个开口在所述掩模板上的正投影与所述通刻孔沿所述条状的精细金属掩模板的延伸方向交错排布。例如，在本公开至少一个实施例提供的掩模装置中，所述精细金属掩模板的遮挡连接部在所述掩模板上的正投影与所述掩模板的开口区没有交叠。例如，在本公开至少一个实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩模板，包括：至少一个开口区和围绕且限定所述至少一个开口区的遮挡部；/n其中，所述遮挡部包括：主体部分和至少一个凸出部，/n在所述至少一个开口区的每个开口区内，所述凸出部在所述主体部分的面对所述开口区的一侧向所述开口区伸出；/n其中，所述主体部分包括位于所述凸出部的与所述开口区相反的一侧且延伸方向与所述凸出部的延伸方向相同的边缘，所述主体部分的位于所述边缘与所述凸出部之间的部分和所述凸出部中的至少之一包括减薄部分，所述减薄部分的厚度小于所述遮挡部的其他部分的厚度。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190828 CN 2019108014630;20190828 CN 201921410333一种掩模板，包括：至少一个开口区和围绕且限定所述至少一个开口区的遮挡部；
其中，所述遮挡部包括：主体部分和至少一个凸出部，
在所述至少一个开口区的每个开口区内，所述凸出部在所述主体部分的面对所述开口区的一侧向所述开口区伸出；
其中，所述主体部分包括位于所述凸出部的与所述开口区相反的一侧且延伸方向与所述凸出部的延伸方向相同的边缘，所述主体部分的位于所述边缘与所述凸出部之间的部分和所述凸出部中的至少之一包括减薄部分，所述减薄部分的厚度小于所述遮挡部的其他部分的厚度。


根据权利要求1所述的掩模板，其中，所述减薄部分为凹部，
所述遮挡部在所述凹部处的部分的厚度小于所述遮挡部的其他部分的厚度。


根据权利要求2所述的掩模板，其中，所述凹部位于所述凸出部上；
所述凹部在所述凸出部上的正投影的中心与所述凸出部的中心重合，且所述凹部的形状与所述凸出部的形状相同。


根据权利要求2所述的掩模板，其中，所述凹部位于所述主体部分的位于所述边缘与所述凸出部之间的部分上，
所述凹部的中心与所述凸出部的中心之间的连线平行于所述凸出部的伸出方向。


根据权利要求4所述的掩模板，其中，在所述凸出部的延伸方向上，所述凹部的尺寸与所述凸出部的尺寸相同，所述凹部的形状与所述凸出部的形状相同。


根据权利要求2-5任一所述的掩模板，其中，所述遮挡部在所述凹部处的部分的厚度与所述遮挡部的其他部分的厚度的比值大于等于0.8。


根据权利要求1-6任一所述的掩模板，其中，设置在所述主体部分的位于所述边缘与所述凸出部之间的部分和所述凸出部上的减薄部分彼此连通。


根据权利要求1-7任一所述的掩模板，其中，所述凸出部和所述主体部分一体形成。


根据权利要求1-8任一所述的掩模板，其中，所述凸出部的形状为方形、半圆形或水滴形。


根据权利要求1-9任一所述的掩模板，还包括位于所述遮挡部的周边的多个固定部，
其中，所述多个固定部与所述遮挡部相接且在平行于所述掩模板的表面的平面内沿背离所述至少一个开口区的方向伸出。


根据权利要求10所述的掩模板，其中，所述固定部与所述遮挡部一体设置。


根据权利要求1-11任一所述的掩模板，包括多个所述开口区，
其中，所述多个开口区呈阵列排布，所述遮挡部围绕且限定所述多个开口区的每个开口区。


根据权利要求12所述的掩模板，其中，所述遮挡部包括平行设置的多个第一遮挡部和平行设置的多个第二遮挡部组，
所述多个第一遮挡部沿第一方向延伸，所述多个第二遮挡部组中的每个沿不同于所述第一方向的第二方向延伸，
每个所述第二遮挡部组包括沿所述第二方向延伸的多个第二遮挡部，每个所述第二遮挡部设置在相邻所述第一遮挡部之间且与相邻的所述第一遮挡部无缝连接，
所述多个第一遮挡部和所述多个第二遮挡部组彼此相交设置以围绕且限定所述每个开口区；
在所述每个开口区内，所述凸出部在所述第一遮挡部和/或所述第二遮挡部的面对所述开口区的一侧向所述开口区伸出。


根据权利要求13所述的掩模板，其中，所述第一方向垂直于所述第二方向。


根据权利要求13或14所述的掩模板，其中，在所述每个开口区内，所述凸出部在所述第一遮挡部和/或所述第二遮挡部的面对所述开口区的一侧的中间区域向所述开口区伸出。


根据权利要求13-15任一所述的掩模板，其中，所述掩模板的多个固定部分别位于所述多个第一遮挡部和所述多个第二遮挡部组的延伸方向上。


根据权利要求13-16任一所述的掩模板，其中，在所述凸出部的伸出方向上，位于边缘的所述第一遮挡部和/或所述第二遮挡部开设有与所述凸出部对应的至少一个通刻孔，
所述通刻孔的延伸方向与所述凸出部的伸出...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐鹏，牛彤，嵇凤丽，吴建鹏，张国栋，赵钰，何潘婷，杜森，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11