交错式探针卡及导电探针制造技术

本发明专利技术公开一种交错式探针卡及导电探针，所述交错式探针卡包含间隔地设置的上导板与下导板及排成多列且穿过上导板与下导板的多个导电探针。每个导电探针呈长形且定义有长度方向。每个导电探针包含有底面与分别相连于底面两个边缘的两个长侧面，两个长侧面之间的距离朝远离底面的渐缩方向逐渐地缩小。于多列导电探针的相邻两列之中，其中一列导电探针是与其中另一列导电探针呈间隔地交错设置并具有彼此反向的渐缩方向，并且彼此相邻但分属于不同列导电探针的任两个长侧面之间在非平行于每列导电探针的排列方向上具有侧向间距。据此，通过导电探针的结构设计，相邻两个导电探针所需维持的预定间距是以非平行于排列方向的侧向间距来实现。

【技术实现步骤摘要】
交错式探针卡及导电探针
本专利技术涉及一种探针卡，尤其涉及一种交错式探针卡及导电探针。
技术介绍
现有探针卡包含有多列的导电探针，并且每列导电探针是平行于一排列方向、并用来顶抵于待测物上的一列金属垫。然而，于每列导电探针中，任两个相邻的所述导电探针于排列方向上需维持着一预定间距，所以现有探针卡的结构设计于无形中被局限住。于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本专利技术。
技术实现思路
本专利技术实施例在于提供一种交错式探针卡及导电探针，能有效地改善现有探针卡所可能产生的缺陷。本专利技术实施例公开一种交错式探针卡，包括一上导板与一下导板以及多个导电探针。上导板与一下导板彼此间隔地设置；多个导电探针各呈长形且定义有一长度方向，多个所述导电探针穿设于所述上导板与所述下导板；其中，多个所述导电探针排成多列，并且每列所述导电探针平行于一排列方向，并且每个所述导电探针包含有：一底面及两个长侧面，底面平行于所述长度方向、并穿过所述上导板与所述下导板；两个长侧面分别相连于所述底面的两个边缘，并且两个所述长侧面皆平行于所述长度方向、且穿过所述上导板与所述下导板；其中，两个所述长侧面之间的一距离朝远离所述底面的一渐缩方向逐渐地缩小；其中，于多列所述导电探针的相邻两列之中，其中一列所述导电探针是与其中另一列所述导电探针呈间隔地交错设置并具有彼此反向的所述渐缩方向，并且彼此相邻但分属于不同列所述导电探针的任两个所述长侧面之间在非平行于所述排列方向上具有一侧向间距。优选地，每个所述导电探针包含有一测试端面，并且呈间隔地交错设置的两列所述导电探针的所述测试端面是用来可分离地顶抵于一待测物(deviceundertest，DUT)的一列金属垫；其中，每个所述导电探针的任一部位包含有垂直于所述长度方向的一横截面，其形状等同于所述测试端面的形状。优选地，所述上导板形成有多个上穿孔，所述下导板形成有多个下穿孔；多个所述导电探针分别可活动地穿过所述上导板的多个所述上穿孔、并分别可活动地穿过所述下导板的多个所述下穿孔；其中，每个所述下穿孔的形状对应于相对应所述导电探针的任一部位垂直于所述长度方向的一横截面。优选地，每个所述导电探针包含有远离所述底面且相连于两个所述长侧面的一顶面，并且每个所述导电探针的两个所述长侧面为平面、内凹曲面(concavesurface)、或外凸曲面(convexsurface)。优选地，于每个所述导电探针中，任一个所述长侧面与所述渐缩方向的一夹角介于95度～135度；于呈间隔地交错设置的两列所述导电探针之中，其中一列的任一个所述导电探针的所述底面的两个所述边缘能沿平行于所述渐缩方向的一方向而分别面向其中另一列的两个相邻所述导电探针的所述底面。优选地，于呈间隔地交错设置的两列所述导电探针之中，多个所述底面之间定义有平行所述排列方向且与每个所述底面相隔等距的一中央面，并且每个所述导电探针的一顶端部落在所述中央面远离所述底面的一侧。优选地，于每个所述导电探针中，所述顶端部于所述渐缩方向上的一厚度占所述导电探针于所述渐缩方向上的一厚度的3％～10％。优选地，于呈间隔地交错设置的两列所述导电探针之中，多个所述底面之间定义有平行所述排列方向且与每个所述底面相隔等距的的一中央面，并且每个所述导电探针未触及所述中央面。优选地，于每个所述导电探针中，所述导电探针于所述渐缩方向上与所述中央面相隔的一间距小于所述导电探针于所述渐缩方向上的一厚度的5％。本专利技术实施例也公开一种导电探针，呈长形且定义有一长度方向，所述导电探针包括：一底面及两个长侧面，底面平行于所述长度方向；两个长侧面分别相连于所述底面的两个边缘，并且两个所述长侧面皆平行于所述长度方向；其中，两个所述长侧面之间的一距离朝远离所述底面的一渐缩方向逐渐地缩小。综上所述，本专利技术实施例所公开的交错式探针卡，其通过导电探针的结构设计，以使相邻的两列导电探针能够呈间隔地交错设置，并使相邻两个导电探针所需维持的预定间距是以非平行于排列方向的侧向间距来实现，据以提供有别于现有探针卡的新式架构。再者，所述导电探针的结构设计能够用来增加所述上导板与下导板的使用空间，以使得导电探针的所述横截面的面积能够大于现有导电探针的横截面的面积，据以增加所述导电探针的单位面积载电量，进而提升导电探针与待测物之间的接触稳定性。为能更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本专利技术，而非对本专利技术的保护范围作任何的限制。附图说明图1为本专利技术实施例一的交错式探针卡的立体示意图。图2为本专利技术实施例一的导电探针的立体示意图。图3为图2沿剖线III-III的剖视示意图。图4为图3的另一方式的剖视示意图。图5为图3的又一方式的剖视示意图。图6为图3的再一方式的剖视示意图。图7为图1沿剖线VII-VII的剖视示意图。图8为本专利技术实施例二的交错式探针卡的剖视示意图。图9为本专利技术实施例三的交错式探针卡的剖视示意图。图10为本专利技术实施例四的交错式探针卡的剖视示意图。具体实施方式请参阅图1至图10所示，其为本专利技术的实施例，需先说明的是，本实施例对应附图所提及的相关数量与外型，仅用来具体地说明本专利技术的实施方式，以便于了解本专利技术的内容，而非用来局限本专利技术的保护范围。[实施例一]如图1至图7所示，其为本专利技术的实施例一。如图1所示，本实施例公开一种交错式探针卡1000，其包括有一探针头100(probehead)以及抵接于上述探针头100一侧(如：图1中的探针头100顶侧)的一转接板200(spacetransformer)，并且所述探针头100的另一侧(如：图1中的探针头100底侧)能用来顶抵测试一待测物300(如：半导体晶片)。需先说明的是，为了便于理解本实施例，所以附图仅呈现交错式探针卡1000的局部构造，以便于清楚地呈现交错式探针卡1000的各个组件构造与连接关系，但本专利技术并不以附图为限。以下将分别介绍所述探针头100的各个组件构造及其连接关系。如图1所示，所述探针头100包含有一上导板1(upperdie)、与上导板1呈间隔地设置的一下导板2(lowerdie)、夹持于上导板1与下导板2之间的一间隔板(未示出)及穿设于所述上导板1与下导板2的多个导电探针3。其中，所述上导板1形成有多个上穿孔11，所述下导板2形成有多个下穿孔21，并且所述多个下穿孔21的位置分别对应于多个上穿孔11的位置。所述间隔板夹持于所述上导板1与下导板2之间，以使上导板1与下导板2能够彼此平行地间隔设置，但本专利技术不受限于此。再者，所述间隔板可以是一环形构造，并且间隔板夹持于上导板1及下导板2的相对应外围部位，以使所述间隔板形成有连通于多个上穿孔11与多个下穿孔21的一容置空间，但本专利技术不受限于此。举例来说，于本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种交错式探针卡，其特征在于，所述交错式探针卡包括：/n一上导板与一下导板，彼此间隔地设置；以及/n多个导电探针，各呈长形且定义有一长度方向，多个所述导电探针穿设于所述上导板与所述下导板；其中，多个所述导电探针排成多列，并且每列所述导电探针平行于一排列方向，并且每个所述导电探针包含有：/n一底面，平行于所述长度方向、并穿过所述上导板与所述下导板；及/n两个长侧面，分别相连于所述底面的两个边缘，并且两个所述长侧面皆平行于所述长度方向、且穿过所述上导板与所述下导板；其中，两个所述长侧面之间的一距离朝远离所述底面的一渐缩方向逐渐地缩小；/n其中，于多列所述导电探针的相邻两列之中，其中一列所述导电探针是与其中另一列所述导电探针呈间隔地交错设置并具有彼此反向的所述渐缩方向，并且彼此相邻但分属于不同列所述导电探针的任两个所述长侧面之间在非平行于所述排列方向上具有一侧向间距。/n

【技术特征摘要】
1.一种交错式探针卡，其特征在于，所述交错式探针卡包括：
一上导板与一下导板，彼此间隔地设置；以及
多个导电探针，各呈长形且定义有一长度方向，多个所述导电探针穿设于所述上导板与所述下导板；其中，多个所述导电探针排成多列，并且每列所述导电探针平行于一排列方向，并且每个所述导电探针包含有：
一底面，平行于所述长度方向、并穿过所述上导板与所述下导板；及
两个长侧面，分别相连于所述底面的两个边缘，并且两个所述长侧面皆平行于所述长度方向、且穿过所述上导板与所述下导板；其中，两个所述长侧面之间的一距离朝远离所述底面的一渐缩方向逐渐地缩小；
其中，于多列所述导电探针的相邻两列之中，其中一列所述导电探针是与其中另一列所述导电探针呈间隔地交错设置并具有彼此反向的所述渐缩方向，并且彼此相邻但分属于不同列所述导电探针的任两个所述长侧面之间在非平行于所述排列方向上具有一侧向间距。


2.依据权利要求1所述的交错式探针卡，其特征在于，每个所述导电探针包含有一测试端面，并且呈间隔地交错设置的两列所述导电探针的所述测试端面是用来可分离地顶抵于一待测物的一列金属垫；其中，每个所述导电探针的任一部位包含有垂直于所述长度方向的一横截面，其形状等同于所述测试端面的形状。


3.依据权利要求1所述的交错式探针卡，其特征在于，所述上导板形成有多个上穿孔，所述下导板形成有多个下穿孔；多个所述导电探针分别可活动地穿过所述上导板的多个所述上穿孔、并分别可活动地穿过所述下导板的多个所述下穿孔；其中，每个所述下穿孔的形状对应于相对应所述导电探针的任一部位垂直于所述长度方向的一横截面。


4.依据权利要求1所述的交错式探针卡，其特征在于，每个所述导电探针包含有远离所述底面且相连于两个所述长侧面的一顶面，并且...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢开杰，李晓刚，刁盈铭，苏伟志，
申请(专利权)人：中华精测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71