一种带有阳极氧化面的背板的加工方法技术

本发明专利技术提供了一种带有阳极氧化面的背板的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：将锭材进行机加工，得到初步背板结构；将初步背板结构进行钻孔处理，再进行封孔及遮蔽处理，然后对非遮蔽面进行阳极氧化处理，得到带有阳极氧化面的背板。本发明专利技术所述方法在背板加工过程中先进行钻孔，再进行阳极氧化，有效避免了先进行阳极氧化后钻孔时容易对阳极氧化面造成的夹伤或划伤，并可防止背板表面的污染，有助于提高背板产品的表面质量，背板产品的合格率高；所述方法操作简单，对背板加工的改进效果明显，成本较低，适用性广。适用性广。

【技术实现步骤摘要】
一种带有阳极氧化面的背板的加工方法


[0001]本专利技术属于靶材产品制备
，涉及一种带有阳极氧化面的背板的加工方法。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的快速发展，镀膜材料作为半导体电子器件制造的重要材料，其需求量也日益增加。靶材作为一种重要的镀膜材料，在集成电路、平面显示、太阳能、光学器件等领域具有广泛的应用。而靶材组件作为镀膜生产的基本结构单元，由靶材和背板构成，背板主要起到固定溅射靶材的作用，且需要具备良好的导热性能，其结构及性能对镀膜的性能也具有重要的影响，因而背板的加工制备也是靶材应用的重要组成部分。
[0003]根据背板在靶材组件中的作用，在结构上通常具有孔或槽，便于靶材组件的固定安装以及热量散发。CN 202063989U公开了一种靶材背板结构，包括上盖板与基板，该基板造有至少一焊道及至少一冷却水道、至少一进水端及至少一出水端；该上盖板形成至少一定位孔，该至少一定位孔相对应于基板上的至少一焊道；该上盖板与该基板沿着该焊道接合固定；该背板结构虽可改善目前靶材背板的制程复杂且设备成本昂贵的缺点，并达到靶材背板低变形及内部冷却水道高密封的目的，但并未涉及到对背板表面的加工处理与保护，使用过程中容易造成表面损伤或污染。
[0004]背板在与靶材组合使用前通常需要先进行阳极氧化处理，对产品表面进行保护，且对阳极氧化的要求较高，保证产品表面及孔内无发黄，阳极氧化面无明显色差。CN 101591768A公开了一种靶材的制作方法，包括：提供金属料件，将所述金属料件挤压成型，制作成靶材；对所述靶材采用阳极氧化工艺，在表面形成氧化膜；该方法是对靶材进行阳极氧化，来提高其耐腐蚀性、耐磨性和耐热性，但靶材的结构通常较为规则，与背板通常包括孔、槽结构不同，其加工工艺也不相同。目前的背板加工常采用先阳极氧化再钻孔，而钻孔时装夹产品容易夹伤或划伤产品表面，钻孔时切削液会对产品阳极氧化表面造成污染，会导致产品阳极氧化面有色差，影响产品的质量。
[0005]综上所述，对于背板的加工，尤其是带有阳极氧化面的背板的加工，还需要选择合适的加工工艺，以避免现有加工步骤容易造成的表面污染及损伤，保证产品的表面质量。

技术实现思路

[0006]针对现有技术存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种带有阳极氧化面的背板的加工方法，所述方法在背板加工过程中先进行钻孔，再进行阳极氧化，有效避免了先进行阳极氧化后钻孔时容易对阳极氧化面造成的夹伤或划伤，并可防止背板表面的污染，有助于提高背板产品的表面质量。
[0007]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0008]本专利技术提供了一种带有阳极氧化面的背板的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：
[0009](1)将锭材进行机加工，得到初步背板结构；
[0010](2)将步骤(1)得到的初步背板结构进行钻孔处理；
[0011](3)步骤(2)完成后进行封孔及遮蔽处理，然后对非遮蔽面进行阳极氧化处理，得到带有阳极氧化面的背板。
[0012]本专利技术中，为了提高背板的产品质量及使用寿命，往往需要提前在其使用时裸露的表面上形成一层保护膜，基于背板常用的金属及合金材质，通常是形成阳极氧化面；由于靶材溅射的精细化要求，对背板表面的质量要求也较高，因此阳极氧化后需要满足表面及孔内无发黄，阳极氧化面无明显色差，因此背板形成阳极氧化面后不宜再进行接触时受力较大的操作，本专利技术中将背板的钻孔处理放在阳极氧化前，避免阳极氧化面容易在钻孔处理时被夹伤或划伤，也可避免钻孔切削液对表面的污染，从而得到表面质量更好的背板产品；所述加工方法操作简单，对背板加工的改进效果明显，产品合格率高。
[0013]以下作为本专利技术优选的技术方案，但不作为本专利技术提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本专利技术的技术目的和有益效果。
[0014]作为本专利技术优选的技术方案，步骤(1)所述锭材的材料包括铝或铝合金。
[0015]作为本专利技术优选的技术方案，步骤(1)所述机加工包括粗加工和精加工。
[0016]优选地，所述粗加工为将锭材加工为背板轮廓，所述背板轮廓呈圆形或方形。
[0017]本专利技术中，所述背板轮廓的形状即为背板成品的形状，根据使用的需要，通常为圆形背板，同时也会用到方形背板。
[0018]优选地，所述精加工为对所述背板轮廓进行尺寸加工。
[0019]优选地，所述精加工还包括对背板轮廓的焊接面进行凹槽加工。
[0020]本专利技术中，所述背板与靶材需要焊接形成整体，为提高两者的结合性，背板上通常设置凹槽，将靶材焊接面一侧置于凹槽中，避免两者的相对滑动以及焊料的流失，有助于焊接结合率的提高。
[0021]作为本专利技术优选的技术方案，步骤(2)所述钻孔处理为采用刀具在背板的安装面上加工孔。
[0022]优选地，所述孔的数量至少为3个，例如3个、4个、5个或6个等，在背板安装面上均匀分布。
[0023]优选地，所述孔的深度为背板厚度的7％～100％，例如7％、10％、20％、30％、50％、60％、80％或100％等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0024]本专利技术中，所述孔在安装面上通常呈周向分布，整体构成圆形或方形，距背板边缘一定距离，方便后续背板使用时的固定与安装。
[0025]作为本专利技术优选的技术方案，步骤(2)所述钻孔处理时所用的切削液的组成包括基础油、添加剂和水。
[0026]优选地，所述基础油包括矿物油和/或化学合成基础油。
[0027]本专利技术中，所述切削液为水基切削液，根据切削液中基础油的种类，切削液可划分为不同的种类，仅以矿物油作为基础油的是乳化液，同时含有矿物油和化学合成基础油的是半合成切削液，仅使用化学合成基础油的是全合成切削液；所述添加剂包括防锈剂、有色金属腐蚀钝化剂、消泡剂等。
[0028]优选地，所述钻孔处理完成后，对加工面依次进行洗涤、干燥。
[0029]优选地，所述洗涤的方式包括溶剂洗涤和超声波洗涤。
[0030]优选地，所述溶剂包括煤油。
[0031]本专利技术中，由于钻孔处理切削液的使用，加工面上残留较多有机组分，洗涤时，可先采用洗洁精初步去除油污，然后进行溶剂洗涤，再采用超声波洗涤，所述超声波洗涤在水中进行，实现深度去油。
[0032]优选地，所述干燥方式为真空干燥，其中，真空干燥温度选择60～80℃，例如60℃、65℃、70℃、75℃或80℃等，真空干燥时间在0.5h以上，例如0.5h、1h、1.5h、2h或2.5h等。
[0033]作为本专利技术优选的技术方案，步骤(3)所述封孔是采用保护塞将步骤(2)加工的孔进行封堵。
[0034]优选地，所述保护塞的材质包括橡胶或塑料。
[0035]优选地，步骤(3)所述遮蔽处理是采用绝缘层对无需阳极氧化的表面区域进行遮蔽。
[0036]优选地，所述绝缘层的材质包括聚四氟乙烯。
[0037]本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有阳极氧化面的背板的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：(1)将锭材进行机加工，得到初步背板结构；(2)将步骤(1)得到的初步背板结构进行钻孔处理；(3)步骤(2)完成后进行封孔及遮蔽处理，然后对非遮蔽面进行阳极氧化处理，得到带有阳极氧化面的背板。2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述锭材的材料包括铝或铝合金。3.根据权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述机加工包括粗加工和精加工；优选地，所述粗加工为将锭材加工为背板轮廓，所述背板轮廓呈圆形或方形；优选地，所述精加工为对所述背板轮廓进行尺寸加工；优选地，所述精加工还包括对背板轮廓的焊接面进行凹槽加工。4.根据权利要求1
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3任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述钻孔处理为采用刀具在背板的安装面上加工孔；优选地，所述孔的数量至少为3个，在背板安装面上均匀分布；优选地，所述孔的深度为背板厚度的7％～100％。5.根据权利要求1
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4任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述钻孔处理时所用的切削液的组成包括基础油、添加剂和水；优选地，所述基础油包括矿物油和/或化学合成基础油；优选地，所述钻孔处理完成后，对加工面依次进行洗涤、干燥；优选地，所述洗涤的方式包括溶剂洗涤和超声波洗涤；优选地，所述溶剂包括煤油；优选地，所述干燥方式为真空干燥。6.根据权利要求1
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5任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述封孔是采用保护塞将步骤(2)加工的孔进行封堵；优选地，所述保护塞的材质包括橡胶或塑料；优选地，步骤(3)所述遮蔽处理是采用绝缘层对无需阳极氧化的表面区域进行遮蔽；优选地，所述绝缘层的材质包括聚四氟乙烯。7.根据权利要求1
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6任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述阳极氧化处理的电解液为酸性溶液，优选为硫酸；优选地，所述酸性溶液的浓度为120～180g/L；优选地，步骤(3)所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，边逸军，潘杰，王学泽，侯娟华，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：