流体输送系统及电镀工件的方法技术方案

公开了一种用于电镀系统的流体输送系统，包括：适于容纳流体的箱体；具有用于将流体输送到箱体中的第一流体出口的第一流体输送器，具有第二流体出口的第二流体输送器和具有第三流体出口的第三流体输送器，第二流体输送器和第三流体输送器用于将加压流体沿相反面向的方向输送到箱体中，箱体具有轴线，工件可沿该轴线相对于箱体在第二流体出口和第三流体出口之间沿轴线移动，第二流体输送器适于将加压流体从第二流体出口输送出去，以在从轴线朝向第二流体输送器偏移第一距离和第二距离的工件上施加第一排斥力和第二排斥力，将工件朝向第三流体输送器移动，其中，第一排斥力大于第二排斥力，并且第一距离大于第二距离。并且第一距离大于第二距离。并且第一距离大于第二距离。

【技术实现步骤摘要】
流体输送系统及电镀工件的方法


[0001]本专利技术涉及一种在箱体中使用的流体输送系统，特别是电镀系统中的处理箱体，以及一种电镀工件的方法。

技术介绍

[0002]在传统的电镀机中，多个工件载体可穿过并相对于容纳处理溶液(例如电镀溶液)的箱体移动。每个工件载体可释放地与待电镀的相应工件接合。工件载体可连续移动通过箱体，即，一个接一个地成直线，从而连续移动工件通过箱体。待电镀的工件通常是矩形的和平面形状。当工件与工件载体接合并由工件载体承载时，工件垂直定向，并且工件的相对主表面面向侧向。因此，电镀机被称为垂直连续电镀机。
[0003]阴极棒相对于电镀机的箱体固定，且工件载体中的每一者经由相应滑动接触件与阴极棒电连接，以便在工件载体移动穿过且相对于箱体移动期间与阴极棒电连接。多个阳极板，每个阳极板由各自的电源供电，设置在该箱体内并相对于该箱体固定。因此，当工件被工件载体移动通过箱体中的电镀溶液时，它们受到阴极棒和阳极板之间的电场的影响，使得电镀溶液中的金属沉积在工件上。
[0004]众所周知，连续电镀机中的电镀箱体可以长达30到40米，并且这种电镀机的有效覆盖区域可以短至工件的宽度。由于工件的导电性主要取决于电镀过程中电镀到工件上的电镀厚度的均匀性，因此重要的是确保工件的主表面不与箱体内的任何其它部件物理接触。然而，在传统的电镀机中，很难避免每个工件移动通过箱体的扰动，因为在电镀期间，从喷嘴喷射的流体射流(例如电镀溶液的射流)在沿着射流轴线的任何点处以净动量守恒的方式操作，并且因此不管工件的位置如何都将较小的力施加到工件上。即使工件通过箱体中的导向装置或辊保持在中心线上，这些导向装置或辊不可避免地在某些点处与工件滑动接触，从而不利地影响电镀质量。
[0005]因此，本专利技术的目的是提供一种用于电镀机的流体输送系统和电镀方法，其中上述缺点被减轻或至少为商业和公众提供有用的替代方案。特别地，发现通过基于现有自动电镀系统的进一步改进和创新，可以至少减轻上述缺点。

技术实现思路

[0006]根据本专利技术的第一方面，提供一种用于电镀系统的流体输送系统，其至少包括，箱体，所述箱体适于容纳流体，第一流体输送器，所述第一流体输送器具有用于将流体输送到箱体中的第一流体出口，具有第二流体出口的第二流体输送器和具有第三流体出口的第三流体输送器，用于将加压流体沿相反方向输送到箱体中，箱体具有轴线，工件可沿该轴线在第二流体出口和第三流体出口之间相对于所述箱体移动，其中第二流体输送器适于将加压流体从第二流体出口输送出去，以在从所述轴线朝向所述第二流体输送器偏移第一距离的工件上施加第一排斥力，以使工件向第三流体输送器移动，其中第二流体输送器适于将加压流体从第二流体出口输送出去，以在从所述轴线向所述第二流体输送器偏移第二距离的
工件上施加第二排斥力，以使工件向第三流体输送器移动，其中第一排斥力大于第二排斥力。
[0007]根据本专利技术的第二方面，提供了一种电镀至少一个工件的方法，包括步骤(a)从第一流体输送器的第一流体出口将流体输送到箱体中，(b)从第二流体输送器的第二流体出口和从第三流体输送器的第三流体出口沿相反的方向将加压流体输送到箱体中，(c)沿第二流体出口和第三流体出口之间的轴线相对于所述箱体移动所述工件，(d)对从所述轴线朝向所述第二流体输送器偏移第一距离的工件上施加第一排斥力，以使所述工件向第三流体输送器移动，以及(e)对从轴线朝向所述第二流体输送器偏移第二距离的工件上施加第二排斥力，，以使工件向第三流体输送器移动，其中第一排斥力大于第二排斥力，第一距离大于第二距离。
附图说明
[0008]现在将参考附图仅通过示例的方式描述本专利技术的实施方式，其中：
[0009]图1是根据本专利技术的实施方式的流体输送系统的立体图；
[0010]图2是图1所示流体输送系统的侧视图；
[0011]图3是图1所示流体输送系统的局部端视图；
[0012]图4a是图1所示流体输送系统的端视图；
[0013]图4b是图1所示流体输送系统的另一个端视图；
[0014]图5a是根据本专利技术实施方式的流体输送系统的喷嘴的正视图；
[0015]图5b是沿图5a的线F
‑
F截取的喷嘴的剖视图；
[0016]图5c是图5A的喷嘴的示意性侧视图；
[0017]图5d是图5A的喷嘴的示意性立体图；
[0018]图5e是图5A的喷嘴的立体图；
[0019]图6是示出喷嘴和加压喷嘴之间的连接的示意性立体图；
[0020]图7a是示出了工件从通过处理箱体的运动的中心轴线显著偏移的示意图；
[0021]图7b是示出从中心轴线有较小偏移的工件的示意图；
[0022]图7c是示出在中心轴线内对准的工件的示意图；
[0023]图8是在两种不同流速下，排斥力相对于喷嘴与工件之间的间隙距离的曲线图；
[0024]图9a是示出当喷嘴没有流动时喷嘴出口和工件之间的物理接触的示意图；
[0025]图9b是示出当喷嘴输送小流量时喷嘴出口和工件之间的小间隙距离的示意图；
[0026]图9c是示出当喷嘴输送大流量时喷嘴出口与工件之间的大间隙距离的示意图；以及
[0027]图10是示出三种不同构造的喷嘴出口的排斥力的曲线图。
具体实施方式
[0028]根据本专利技术实施方式的垂直连续电镀机的示意图如图1至4b所示，并且通常表示为10。
[0029]电镀机10包括用于容纳电镀溶液的箱体12。多个工件14优选地一起形成连续的且可卷起的材料，其成序列的可连续移动通过并相对于箱体12移动。每个待电镀工件14可释
放地接合，以便与工件载体15物理和电连接，从而与其建立物理和电连接。
[0030]电镀机10包括流体输送系统100。流体输送系统100包括两排相对的喷嘴110a、110b，用于将电镀溶液输送到箱体12中，喷嘴110a彼此固定地间隔开。类似地，喷嘴110b也固定地彼此间隔开。工件14在喷嘴110a、110b之间成序列的可连续移动通箱体12，使得每个工件14的第一主表面面向喷嘴110a的出口，而每个工件14的第二相对主表面面向喷嘴110b的出口。
[0031]在电镀机10的操作期间，工件14可沿着中心轴线16移动，同时基本上垂直于该轴线摆动。例如，工件14可以在工件14与轴线16同轴的第一位置和工件14偏移轴线16的第二位置之间摆动，这种摆动是非常不希望有的，因为工件14不可避免地会接触箱体12内的一些物理物体，特别是喷嘴110a、110b。这种电镀性能受到不希望有的影响。
[0032]流体输送系统100还包括两排喷嘴，即一排第二喷嘴120和一排第三喷嘴130，用于将电镀溶液压缩到较高压力并将加压的电镀溶液输送到箱体12中，喷嘴120、130优选地定位在工件14的相对侧上，并沿相反方向朝向彼此并朝向工件14的相反主表面输送加压的电镀溶液。
[0033]现在参考图5A至5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电镀系统的流体输送系统，包括：至少一个箱体，所述箱体适于容纳流体，第一流体输送器、第二流体输送器以及第三流体输送器，所述第一流体输送器具有用于将所述流体输送到所述箱体中的第一流体出口，所述第二流体输送器具有第二流体出口，所述第三流体输送器具有第三流体出口，所述第二流体输送器和所述第三流体输送器用于将加压流体沿相反面对的方向输送到所述箱体中，所述箱体具有轴线，工件能够相对于所述箱体沿着所述轴线在所述第二流体出口和所述第三流体出口之间移动，其中，所述第二流体输送器适于将加压流体从所述第二流体出口输送出去，以在从所述轴线朝向所述第二流体输送器偏移第一距离的所述工件上施加第一排斥力，以使所述工件朝向所述第三流体输送器移动，其中，所述第二流体输送器适于将加压流体从所述第二流体出口输送出去，以在从所述轴线朝向所述第二流体输送器偏移第二距离的所述工件上施加第二排斥力，以使所述工件朝向所述第三流体输送器移动，其中，所述第一排斥力大于所述第二排斥力，并且所述第一距离大于所述第二距离。2.根据权利要求1所述的流体输送系统，其中，所述第二流体出口和/或所述第三流体出口处的加压流体的压力与所述第二流体出口和/或所述第三流体出口与所述工件之间的距离成相反关系。3.根据权利要求1所述的流体输送系统，其中，以第一速度的加压流体被输送到与所述轴线偏移所述第一距离的所述工件，并且以第二速度的加压流体被输送到与所述轴线偏移所述第二距离的所述工件，其中，所述第一速度低于所述第二速度。4.根据权利要求1所述的流体输送系统，其中，所述第二流体输送器和所述第三流体输送器各自还包括流体入口，所述流体通过所述流体入口以较低速度被导入并且分别通过所述第二流体出口和/或所述第三流体出口以较高速度被输送到所述箱体。5.根据权利要求1所述的流体输送系统，其中，所述第二流体出口和/或所述第三流体出口的开口面积与所述第二流体出口和/或所述第三流体出口与所述工件之间的距离成相反关系。6.根据权利要求4所述的流体输送系统，其中，所述第二流体输送器和/或所述第三流体输送器各自还包括止挡构件，所述止挡构件位于所述中心部分...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩保罗，
申请(专利权)人：亚洲电镀器材有限公司，
类型：发明
国别省市：