一种运动轴密封装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种运动轴密封装置，包括安装法兰和密封套，所述密封套与运动轴之间设有密封组件，运动轴密封装置还包括两组用于使密封套可随运动轴的位置浮动并保持密封套与安装法兰轴向间距不变的导向副，两组所述导向副对称布置于所述密封套的两侧，所述安装法兰与所述密封套之间连接有柔性密封套管。本发明专利技术具有结构简单、成本低、有利于提高可靠性和使用寿命等优点。寿命等优点。寿命等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种运动轴密封装置


[0001]本专利技术涉及半导体加工设备，尤其涉及一种运动轴密封装置。

技术介绍

[0002]以半导体设备中的真空机械扫描轴为例，扫描过程中需要沿Z轴方向做升降运动以及绕Z轴作旋转运动，真空动密封常采用两级以上密封圈，一般承载密封圈的密封套与安装法兰部分为刚性连接或为同一刚性结构体，这种密封结构一般要求密封运动轴的安装，包括旋转、直线滑动与密封套之间具有很好的位置配合精度，否则容易导致密封失效，或者在使用过程中密封圈产生不均匀磨损，导致密封提前失效，因此对应用上述密封结构的运动结构设计、加工精度都要球较高，产生较高的成本。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、成本低、有利于提高可靠性和使用寿命的运动轴密封装置。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]一种运动轴密封装置，包括安装法兰和密封套，所述密封套与运动轴之间设有密封组件，运动轴密封装置还包括两组用于使密封套可随运动轴浮动并保持密封套与安装法兰轴向间距不变的导向副，两组所述导向副对称布置于所述密封套的两侧，所述安装法兰与所述密封套之间连接有柔性密封套管。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进：所述导向副包括第一滑块、与第一滑块配合的第一导轨、第二滑块以及与第二滑块配合的第二导轨，所述第一滑块设于密封套上，第一导轨设于第二滑块上，所述第二导轨设于安装法兰上，且第二导轨、第一导轨及运动轴相互垂直。
[0007]作为上述技术方案的进一步改进：所述导向副包括第一导向轴、与第一导向轴配合的第一直线轴承、第二导向轴以及与第二导向轴配合的第二直线轴承，所述导向轴设于密封套上，第一直线轴承设于第二导向轴上，所述第二直线轴承设于安装法兰上，且第一导向轴、第二导向轴及运动轴相互垂直。
[0008]作为上述技术方案的进一步改进：所述密封组件包括至少两个密封圈，相邻两个所述密封圈之间设有抽气隔环，所述抽气隔环配设有真空抽气接口。
[0009]作为上述技术方案的进一步改进：所述密封圈为聚四氟乙烯密封圈。
[0010]作为上述技术方案的进一步改进：所述柔性密封套管为波纹管，所述波纹管两端分别与所述安装法兰和所述密封套焊接连接。
[0011]与现有技术相比，本专利技术的优点在于：本专利技术公开的运动轴密封装置，运动轴位于密封套内的部分通过密封组件密封，运动轴位于安装法兰与密封套之间的部分则通过柔性密封套管密封，柔性密封套管在实现密封连接的同时不会阻碍密封套的运动，密封套通过2组导向副实现与安装法兰之间的相对固定，使密封套与安装法兰之间位置Z轴方向相对固
定，X轴、Y轴方向可小范围移动和/或绕X、Y轴转动，从而实现由密封套、密封组件等组成的密封主体具有随运动轴的位置浮动的特点，因此可以消除运动轴与安装法兰之间的位置偏差，降低运动轴与密封组件之间的位置配合精度要求，减少成本，并避免密封失效或者使用过程中的不均匀磨损等问题。
附图说明
[0012]图1是本专利技术运动轴密封装置实施例一的结构示意图。
[0013]图2是本专利技术运动轴密封装置实施例二的结构示意图。
[0014]图中各标号表示：1、运动轴；2、安装法兰；3、密封套；4、密封组件；41、密封圈；42、抽气隔环；43、真空抽气接口；5、导向副；51、第一滑块；52、第一导轨；53、第二滑块；54、第二导轨；6、柔性密封套管。
具体实施方式
[0015]以下结合说明书附图和具体实施例对本专利技术作进一步详细说明。
[0016]图1示出了本专利技术运动轴密封装置的一种实施例，本实施例的运动轴密封装置，包括安装法兰2和密封套3，密封套3与运动轴1之间设有密封组件4，运动轴密封装置还包括两组用于使密封套3可随运动轴1的位置浮动并保持密封套3与安装法兰2轴向间距不变的导向副5，两组导向副5对称布置于密封套3的两侧，安装法兰2与密封套3之间连接有柔性密封套管6。
[0017]该运动轴密封装置，运动轴1位于密封套3内的部分通过密封组件4密封，运动轴1位于安装法兰2与密封套3之间的部分则通过柔性密封套管6密封，柔性密封套管6在实现密封连接的同时不会阻碍密封套3相对安装法兰2的运动，密封套3通过2组导向副5实现与安装法兰2之间的相对固定，使密封套3与安装法兰2之间位置Z轴方向相对固定，X轴、Y轴方向可小范围移动和/或绕X、Y轴转动，从而实现由密封套3、密封组件4等组成的密封主体具有随运动轴1的位置浮动的特点，因此可以消除运动轴1与安装法兰2之间的位置偏差，适当降低运动轴1与密封组件4之间的位置配合精度要求，减少成本，并避免密封失效或者使用过程中的不均匀磨损等问题。
[0018]进一步地，本实施例中，导向副5包括第一滑块51、与第一滑块51配合的第一导轨52、第二滑块53以及与第二滑块53配合的第二导轨54，第一滑块51设于密封套3上，第一导轨52设于第二滑块53上，第二导轨54设于安装法兰2上，且第二导轨54、第一导轨52及运动轴1相互垂直，也即本实施例中仅采用直线导向副，浮动效果仅限于X方向和Y方向的平移浮动。当然在其他实施例中，导向副5也可以是：包括第一导向轴、与第一导向轴配合的第一直线轴承、第二导向轴以及与第二导向轴配合的第二直线轴承，导向轴设于密封套3上，第一直线轴承设于第二导向轴上，第二直线轴承设于安装法兰2上，且第一导向轴、第二导向轴及运动轴1相互垂直。也可以采用类似陀螺仪的结构，具备滑动和旋转双功能的导向结构，使得浮动效果既有X方向和Y方向的平移又有绕X轴、Y轴的转动，具备最大的浮动能力。
[0019]进一步地，本实施例中，密封组件4包括两个密封圈41，相邻两个密封圈41之间设有抽气隔环42，抽气隔环42配设有真空抽气接口43，真空抽气接口43可连接真空泵，抽出两个密封圈41之间的空气形成真空区，该种密封组件4密封性能好、可靠性高。参考图2，在其
他实施例中，也可设置更多密封圈41并配套设置抽气隔环42，进一步提升密封效果。
[0020]作为优选的技术方案，本实施例中，密封圈41为聚四氟乙烯密封圈。聚四氟乙烯密封圈滑动摩擦系数小、耐磨性好且具有较好的弹性，可以保证密封性能和使用寿命。
[0021]作为优选的技术方案，本实施例中，柔性密封套管6为波纹管，波纹管两端分别与安装法兰2和密封套3焊接连接。采用波纹管并焊接连接，密封性好，结构可靠。
[0022]虽然本专利技术已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本专利技术。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本专利技术技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的
技术实现思路
对本专利技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本专利技术技术方案的内容，依据本专利技术技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本专利技术技术方案保护的范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运动轴密封装置，包括安装法兰(2)和密封套(3)，所述密封套(3)与运动轴(1)之间设有密封组件(4)，其特征在于：运动轴密封装置还包括两组用于使密封套(3)可随运动轴(1)的位置浮动并保持密封套(3)与安装法兰(2)轴向间距不变的导向副(5)，两组所述导向副(5)对称布置于所述密封套(3)的两侧，所述安装法兰(2)与所述密封套(3)之间连接有柔性密封套管(6)。2.根据权利要求1所述的运动轴密封装置，其特征在于：所述导向副(5)包括第一滑块(51)、与第一滑块(51)配合的第一导轨(52)、第二滑块(53)以及与第二滑块(53)配合的第二导轨(54)，所述第一滑块(51)设于密封套(3)上，第一导轨(52)设于第二滑块(53)上，所述第二导轨(54)设于安装法兰(2)上，且第二导轨(54)、第一导轨(52)及运动轴(1)相互垂直。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭立波，许波涛，罗才旺，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：