将CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方法技术

本发明专利技术涉及微光刻图形数据格式转换技术领域，公开了一种将ＣＩＦ格式多边形切割成ＰＧ３６００格式矩形的方法，该方法包括：对于独立的非直角三角形，作一个边的高将其切割成两个直角三角形；对于边数大于或等于四的多边形，过顶点及后续产生的新交点作水平线段和垂直线段把多边形切割为矩形或直角三角形；对于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形包围该直角三角形；对于不能被包围的直角三角形和独立的直角三角形进行细分切割。利用本发明专利技术，切割方法很简单，容易编程实现，切割后的图形与原图形的误差很小，切割出的矩形数据量少。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微光刻图形数据格式转换
，尤其涉及一种将CIF 格式多边形切割成PG3600格式矩形的方法。
技术介绍
由于不同的曝光设备一般都是使用自己专用的图形数据格式，所以必 须进行数据格式转换处理。目前保留下来比较多的光学曝光系统仍然是 GCA 3600F图形发生器(GCA3600F Pattern Generator)和GCA 3696分步 重复精縮机(GCA3696 Photo-Repeater),其使用的PG3600图形数据格式 (PG3600 format)是以不同角度的矩形为基本单元来存储数据的。CIF (Caltech Intermediate Form,加利福尼亚州理工学院中介格式)格 式是世界上光掩模制造业常用的数据交换格式之一，其以圆、多边形、矩 形和有宽度的线段等四种图形为基本图形单元存储数据。由于它是以文本 形式书写，便于修改和编辑，所以在图形数据处理和格式转换过程中，常 用它作为中间格式。传统的CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方 法是沿多边形做矩形，遇到锐角会容易出现缺角图形不完整的现象。为此，我们也采用从CIF到PG3600格式的数据转换方式。首先，在 允许图形少量重叠的情况下，将CIF格式中的各种图形切割成PG3600所 需要的各种角度的矩形，然后再根据光学图形发生器3600F计算机曝光控 制语言要求进行代码转换。本专利技术的主要特征是把CIF格式中的凸凹多边形在误差允许的条件下 切割成PG3600格式中的矩形，使其切割出的任意多边形图形，尤其是处 理凹多边形图形的完整性好，同时切割出的矩形数据量比较少。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种将CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方法，以解决任意多边形切割容易出现图形不完整现 象的问题，达到提高光掩模版曝光质量的目的。(二)技术方案为达到上述目的，本专利技术提供了一种将CIF格式多边形切割成PG3600 格式矩形的方法，该方法包括对于独立的非直角三角形，作一个边的高将其切割成两个直角三角形；对于边数大于或等于四的多边形，过顶点及后续产生的新交点作水平 线段和垂直线段把多边形切割为矩形或直角三角形；对于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形 包围该直角三角形；对于不能被包围的直角三角形和独立的直角三角形进行细分切割。上述方案中，所述对于独立的非直角三角形，作一个边的高将其切割 成两个直角三角形的步骤包括判断所述三角形的形状，如果是钝角三角 形，则过钝角顶点作对边的高将其切割为两个直角三角形；如果是锐角三 角形，则作任意边的高将其切割为两个直角三角形。上述方案中，所述对于边数大于或等于四的多边形，过顶点及后续产 生的新交点作水平线段和垂直线段把多边形切割为矩形或直角三角形的 步骤包括A、 过多边形的顶点向左和向右分别作射线与多边形相交，如果射线 与多边形不相交则不予理会，然后判断顶点和交点之间的线段与多边形的 位置，如果该线段在多边内部则保留该线段，否则，放弃该线段；B、 过多边形的顶点和已作水平线段与多边形的交点向上和向下分别 作射线，与多边形或已作的水平线段相交且只相交一次，判断该线段是否 在多边形内部，如果该线段在多边内部则保留该线段，否则，放弃该线段;C过新的垂直线段或水平线段与多边形的交点重复执行步骤A和步骤 B，将多边形切割成矩形和直角三角形。上述方案中，所述判断线段是否在多边形内部包括判断线段的两个端点是否都在多边形内，如果都在多边形内，则继续执行以下的判断步骤; 否则，线段不在多边形内部；如果线段和多边形的某条边内交，两线段内 交是指两线段相交且交点不在两线段的端点，由于多边形边的左右两侧分 属多边形内外不同部分，所以线段一定会有一部分在多边形外，则继续判 断线段和多边形的所有边是否都不内交，如果都在多边形内，则继续执行 以下的判断步骤；否则，线段不在多边形内部；线段和多边形交于线段的 两端点并不会影响线段是否在多边形内，但是如果多边形的某个顶点和线 段相交，还必须判断两相邻交点之间的线段是否包含于多边形内部，如果 两相邻交点之间的线段包含于多边形内部，则线段在多边形内部；否则， 线段不在多边形内部。上述方案中，所述步骤C进一步包括新作的垂直线段又与多边形的 边有新的交点，过这些新交点再重复执行步骤A和步骤B，先作水平线段 再作垂直线段直到与多边形的边没有新的交点产生；如果过新交点作线段 又产生新交点，且无止境下去，则说明这些垂线段都在一个钝角三角形内， 则放弃这些垂线段，过该钝角三角形的钝角顶点作其高把该钝角三角形分 为两个直角三角形。上述方案中，所述对于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜边为 矩形的一边作矩形包围该直角三角形的步骤包括对于切割得到的直角三 角形，过直角三角形顶点以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形包围该直 角三角形；对于由钝角三角形切割出的直角三角形，以其两个直角边为矩 形的两边作矩形包围该直角三角形，再判断该矩形是否在多边形内部，如 果该矩形不在多边形内，则放弃这样的矩形包围。上述方案中，所述判断矩形是否在多边形内包括判断矩形是否在多边形内，首先判断矩形的每一条边是否在多边形内，如果矩形的边都在矩 形内或者与多边形的边重合，则该矩形在多边形内部。上述方案中，所述对于不能被包围的直角三角形和独立的直角三角形进行细分切割的步骤包括对于不能直接用矩形包围的直角三角形，将其 细分切割成小矩形，首先作一条线段平行于斜边使其与斜边的距离在误差 允许范围内，然后以该线段为矩形的一边作矩形窄条；再作两个直角边的 平行线产生矩形；然后重复该作法，每次利用重叠来加宽矩形的宽度，最后用矩形块包围剩下的最中心的三角形。(三)有益效果 从上述技术方案可以看出，本专利技术具有以下有益效果1、 利用本专利技术，由于采用混合拼接方法，所以切割方法很简单，容 易编程实现。2、 利用本专利技术，由于采用孤立锐角直接三角形特殊处理技术，所以 切割后的图形与原图形完整性好。3、 利用本专利技术，由于采用矩形合并技术，所以切割出的矩形数据量附图说明图1为本专利技术提供的将CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方 法流程图；图2为本专利技术提供的切割多边形为矩形和直角三角形的示意图；图3为本专利技术提供的用矩形包围切割出的直角三角形的示意图；图4为本专利技术提供的与多边形相交的两条线段的示意图；图5为本专利技术提供的细分切割直角三角形的示意图；图6为依照本专利技术实施例过多边形的顶点作水平线段的示意图；图7为依照本专利技术实施例过多边形的顶点和水平线段与多边形的交点作垂直线段的示意图；图8为依照本专利技术实施例过新的垂直线段或水平线段与多边形的交点重复作水平线段和垂直线段的示意图；图9为依照本专利技术实施例用矩形包围切割出的直角三角形的示意图； 图10为依照本专利技术实施例对于不能被包围的直角三角形和独立的直角三角形进行细分切割的示意图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实 施例，并参照附图，对本专利技术进一步详细说明。如图1所示，图1为本专利技术提供的将CIF格式多边形切割成PG3600 格式矩形的方法流程图，该方法包括以下步骤步骤101:对于独立的非直角三角形，作一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种将ＣＩＦ格式多边形切割成ＰＧ３６００格式矩形的方法，其特征在于，该方法包括：　对于独立的非直角三角形，作一个边的高将其切割成两个直角三角形；　对于边数大于或等于四的多边形，过顶点及后续产生的新交点作水平线段和垂直线段把多边形切割为矩形或直角三角形；　对于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形包围该直角三角形；　对于不能被包围的直角三角形和独立的直角三角形进行细分切割。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李金儒，赵珉，王琴，刘明，陈宝钦，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]