将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法技术

本发明专利技术涉及微光刻图形数据格式转换技术领域，公开了一种将ＣＩＦ格式圆形切割成ＰＧ３６００格式矩形的方法，该方法包括：将圆形近似作为一个正ｎ边形，计算ｎ的值，ｎ为自然数；将所述正ｎ边形切割成矩形和直角三角形的组合；将切割得到的矩形最大限度的合并成一个矩形；将合并后得到的矩形外部左右部分的矩形在垂直方向上合并成矩形条，将合并后得到的矩形外部上下部分的矩形在水平方向上合并成矩形条；对于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形包围该直角三角形。利用本发明专利技术，切割方法很简单，容易编程实现，切割后的图形与原图形的误差很小，切割出的矩形数据量少。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微光刻图形数据格式转换
，尤其涉及一种将CIF 格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法。
技术介绍
由于不同的曝光设备一般都是使用自己专用的图形数据格式，所以必 须进行数据格式转换处理。目前保留下来比较多的光学曝光系统仍然是 GCA3600F图形发生器(GCA3600F Pattern Generator)和GCA3696分步 重复精縮机(GCA 3696 Photo-Repeater),其使用的PG3600图形数据格式 (PG3600 format)是以不同角度的矩形为基本单元来存储数据的。加利福尼亚州理工学院中介格式(Caltech Intermediate Form, CIF)是 世界上光掩模制造业常用的数据交换格式之一，其以圆、圆形、矩形和有 宽度的线段等四种图形为基本图形单元存储数据。由于它是以文本形式书 写，便于修改和编辑，所以在图形数据处理和格式转换过程中，常用它作 为中间格式。传统的CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法是以某种角度对 应的弦和圆的半径为矩形的边长，按照该角度旋转曝光，圆形中心是大量 重叠曝光，严重影响掩模版的质量。也有人采用其他切割方法取代传统旋 转切割方式，如条形切割法等，但割切出的矩形数量太多而且边缘不整齐。为此，我们也采用从CIF到PG3600格式的数据转换方式。首先，在 允许图形少量重叠的情况下，将CIF格式中的各种图形切割成PG3600所 需要的各种角度的矩形，然后再根据光学图形发生器3600F计算机曝光控 制语言要求进行代码转换。本专利技术的主要特征是把CIF格式中的圆形在误差允许的条件下切割成 PG3600格式的矩形，使其切割出的矩形重叠部分比其他切割方法小了很 多，而且切割出的矩形数据量也少。
技术实现思路
(一) 要解决的技术问题有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种将CIF格式圆形切割成 PG3600格式矩形的方法，以解决传统切割重叠曝光部分太多的问题，达 到提高图形发生器曝光速度和曝光质量的目的。(二) 技术方案为达到上述目的，本专利技术提供了一种将CIF格式圆形切割成PG3600 格式矩形的方法，该方法包括将圆形近似作为一个正n边形，计算n的值，n为自然数； 将所述正n边形切割成矩形和直角三角形的组合； 将切割得到的矩形最大限度的合并成一个矩形；将合并后得到的矩形外部左右部分的矩形在垂直方向上合并成矩形 条，将合并后得到的矩形外部上下部分的矩形在水平方向上合并成矩形 条；对于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形 包围该直角三角形。上述方案中，所述将圆形近似作为一个正n边形并计算n的值的步骤 包括作该圆形的一条弦，使该弦与所夹的圆弧所形成的弓形的高小于或 等于允许的误差范围2pm，然后计算出该弦所对应的圆心角，并计算2兀 与该圆心角的比值k，则n取大于k且为4的倍数的整数。上述方案中，所述将所述正n边形切割成矩形和直角三角形的组合的 步骤，是通过连接正n边形上的n个上下和左右对称的顶点实现的。(三) 有益效果 从上述技术方案可以看出，本专利技术具有以下有益效果1、 利用本专利技术，由于采用混合拼接方法，所以切割方法很简单，容 易编程实现。2、 利用本专利技术，由于采用根据精度要求计算多边形的边数，所以切割后的图形与原图形的误差可以做到很小。3、利用本专利技术，由于采用矩形合并技术，所以切割出的矩形数据量 很小。附图说明图1为本专利技术提供的将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法 流程图；图2为本专利技术提供的计算n值的示意图；图3为依照本专利技术实施例将正n边形切割成矩形和直角三角形的组合 的示意图；图4为依照本专利技术实施例将切割得到的矩形最大限度的合并成一个矩 形的示意图；图5为依照本专利技术实施例以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形包围 该直角三角形的示意图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实 施例，并参照附图，对本专利技术进一步详细说明。如图1所示，图1为本专利技术提供的将CIF格式圆形切割成PG3600格 式矩形的方法流程图，该方法包括以下步骤步骤101:将圆形近似作为一个正n边形，计算n的值，使所述正n 边形的n个顶点在所述圆形上上下和左右对称，n为自然数；步骤102:将所述正n边形切割成矩形和直角三角形的组合；步骤103:将切割得到的矩形最大限度的合并成一个矩形，使合并后的矩形的水平边长度大于或等于垂直边长度；步骤104:将合并后得到的矩形外部左右部分的矩形在垂直方向上合并成矩形条，将合并后得到的矩形外部上下部分的矩形在水平方向上合并成矩形条；步骤105:对于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜边为矩形的 一边作矩形包围该直角三角形。上述步骤101中所述将圆形近似作为一个正n边形并计算n的值的步 骤包括作该圆形的一条弦，使该弦与所夹的圆弧所形成的弓形的高小于 或等于允许的误差范围2iiim，然后计算出该弦所对应的圆心角，并计算2兀 与该圆心角的比值k，则n取大于k且为4的倍数的整数。计算n值的方法如图2所示，图2为本专利技术提供的计算n值的示意图。 由图2可知，图2中的几何关系如下<formula>formula see original document page 6</formula>上述步骤102中所述将所述正n边形切割成矩形和直角三角形的组合 的步骤，是通过连接正n边形上的n个上下和左右对称的顶点实现的。连 接这些上下、左右对称的点，就可以将正n边形切割成了很多小矩形和一 些直角三角形。步骤103中所述将切割得到的矩形最大限度的合并成一个矩形，即合 并那些小矩形为一个大的矩形，使其矩形的水平边长度大于或等于垂直边 长度。下面以实际的圆形为例说明本专利技术的详细切割方法。步骤l、求出合适的n值，使其在圆上的顶点上下、左右对称且圆的 最上下左右的点也是多边形的顶点。假设我们计算出的n为12。步骤2、连接这些上下、左右对称的点，将正n边形切割成了很多小 矩形和一些直角三角形。如图3所示，图3为依照本专利技术实施例将正n边 形切割成矩形和直角三角形的组合的示意图。步骤3、合并那些小矩形为一个大的矩形，使其矩形的水平边大于或 等于垂直边(如图4中的矩形ABCD)。对于大矩形以外左右的部分的小矩形垂直方向合并成矩形条对于大矩形以外上下的部分的小矩形水平方向合并成矩形条(如图4中的矩形EFMN)。图4为依照本专利技术实施例将 切割得到的矩形最大限度的合并成一个矩形的示意图。步骤4、对于那些直角三角形，以其斜边为矩形的一边作矩形包围此 直角三角形。如图5所示的直角三角形ABC，图5为依照本专利技术实施例以 直角三角形斜边为矩形的一边作矩形包围该直角三角形的示意图。以上所述的具体实施例，对本专利技术的目的、技术方案和有益效果进行 了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本专利技术的具体实施例而 已，并不用于限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所做的任何修 改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。权利要求1、一种将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法，其特征在于，该方法包括将圆形近似作为一个正n边形，计算n的值，n为自然数；将所述正n边形切割成矩形和直角三角形的组合本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种将ＣＩＦ格式圆形切割成ＰＧ３６００格式矩形的方法，其特征在于，该方法包括：　将圆形近似作为一个正ｎ边形，计算ｎ的值，ｎ为自然数；　将所述正ｎ边形切割成矩形和直角三角形的组合；　将切割得到的矩形最大限度的合并成一个矩形；　将合并后得到的矩形外部左右部分的矩形在垂直方向上合并成矩形条，将合并后得到的矩形外部上下部分的矩形在水平方向上合并成矩形条；　对于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形包围该直角三角形。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李金儒，赵珉，王琴，刘明，陈宝钦，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]