一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪制造技术

本发明专利技术涉及一种测量仪，公开了一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪，包括底座，所述底座左端上表面连接有固定块，固定块上连接有液压缸，液压缸顶端设置有升降杆，升降杆顶端连接有固定台，固定台上连接有固定圈，固定圈内设置有激光发生器，所述底座右侧上表面连接有支撑柱，支撑柱顶端连接有上平台，所述上平台中间位置设置有分光片，分光片后方设置有平面镜A，所述上平台右侧设置有旋转台，旋转台通过连接杆连接有设置在上平台内部的齿轮A，齿轮A一侧设置有齿轮B，齿轮B下表面连接有旋钮。本发明专利技术通过迈克尔逊干涉原理对物体的平行度进行测量，由于迈克尔逊干涉实验精度较高，因此可实现对物体的平行度高精度测量。因此可实现对物体的平行度高精度测量。因此可实现对物体的平行度高精度测量。

【技术实现步骤摘要】
一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪


[0001]本专利技术涉及一种测量仪，具体是一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪。

技术介绍

[0002]随着科技技术及制造业的发展，对使用的设备或装置的精度要求越来越高，两物体的轮廓面要素间的空间平行度是其设备或装置精度的重要指标之一。现有平行度的测量仪器有量块、游标卡尺、红外线测量仪等，但只能测量处于同一平面内的要素间的平行度，对于两要素的空间平行度只能通过经验或推算获得。
[0003]中国专利(公告号：CN210512965U)公布了一种平行度测量仪，包括底座在所述底座上端面的一侧固定安装有一立柱，该立柱与底座垂直设置，所述的夹表座整体呈Z型设置，该夹表座的一端形成下U型槽，所述夹表座在该下U型槽处通过下调节机构与立柱动配合，另一端形成上U型槽，所述夹表座在该上U型槽处通过上调节机构与所述的百分表的检测杆动配合，所述的底座上设置有与百分表的相对应的通孔。该装置通过将待测物进行夹紧固定后直接通过百分表对物体的平行度进行测量，测量精度较低。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪，包括底座，所述底座左端上表面连接有固定块，固定块上连接有液压缸，液压缸顶端设置有升降杆，升降杆顶端连接有固定台，固定台上连接有固定圈，固定圈内设置有激光发生器，所述底座右侧上表面连接有支撑柱，支撑柱顶端连接有上平台，所述上平台中间位置设置有分光片，分光片后方设置有支撑座，支撑座上设置有平面镜A，所述上平台右侧设置有旋转台，旋转台通过连接杆连接有设置在上平台内部的齿轮A，齿轮A一侧设置有齿轮B，齿轮B下表面连接有旋钮。
[0007]作为本专利技术进一步的方案：所述齿轮A与齿轮B相互啮合，但齿轮A直径较大，齿数较多，齿轮B直径较小，齿数较少。
[0008]作为本专利技术进一步的方案：所述旋转台上表面连接有固定杆，所述固定杆左侧连接有平面镜B，固定杆右侧连接有连杆，连杆两端设置有螺柱，螺柱左端固定连接有夹块，螺柱右端螺栓连接有螺母。
[0009]作为本专利技术进一步的方案：所述固定圈上设置有紧固螺栓。
[0010]作为本专利技术进一步的方案：所述旋转台上设置有角度刻度尺。
[0011]作为本专利技术进一步的方案：所述分光板右侧平行设置有光补偿板。
[0012]作为本专利技术再进一步的方案：所述分光板前方设置有观测镜。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术通过迈克尔逊干涉原理对物体的平行度进行测量，由于迈克尔逊干涉实验精度较高，因此可实现对物体的平行度高精度测
量，且本装置操作简单，使用方便。
附图说明
[0014]图1为本专利技术中一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪的结构示意图。
[0015]图2为本专利技术中一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪的俯视图。
[0016]图3为本专利技术中一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪中旋转台的结构示意图。
[0017]图中：1
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底座、2
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固定块、3
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液压缸、4
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升降杆、5
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固定台、6
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固定圈、7
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紧固螺栓、8
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激光发射器、9
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支撑柱、10
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上平台、11
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分光片、12
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光补偿板、13
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支撑座、14
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平面镜A、15
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旋转台、16
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固定杆、17
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平面镜B、18
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连杆、19
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螺柱、20
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夹块、21
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螺母、22
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齿轮A、23
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齿轮B、24
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旋钮、25
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连接杆、26
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观测镜。
具体实施方式
[0018]需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0019]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。
[0020]实施例1
[0021]参阅图1～3，本专利技术实施例中，一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪，包括底座1，所述底座1左端上表面连接有固定块2，固定块2上连接有液压缸3，液压缸3顶端设置有升降杆4，升降杆4顶端连接有固定台5，装置通过连接在液压缸3上的升降杆4对激光发射器8的高度进行调整，固定台5上连接有固定圈6，所述固定圈6上设置有紧固螺栓7，固定圈6内设置有激光发射器8，装置通过紧固螺栓7对激光发射器8进行固定，所述底座1右侧上表面连接有支撑柱9，支撑柱9顶端连接有上平台10，所述上平台10中间位置设置有分光片11，分光片11后方设置有支撑座13，支撑座13上设置有平面镜A14，分光片11右侧平行设置有光补偿板12，分光片11前方设置有观测镜26，装置通过观测镜26对迈克尔逊干涉原理的实验现象进行观测。
[0022]优选的，为了更好的使用该装置进行测量，所述上平台10右侧设置有旋转台15，旋转台15上表面连接有固定杆16，所述固定杆16左侧连接有平面镜B17，固定杆16右侧连接有连杆18，连杆18两端设置有螺柱19，螺柱19左端固定连接有夹块20，螺柱19右端螺栓连接有螺母21，装置通过夹块20对待测物体进行夹持，并通过螺柱19与螺母21的设置对待测物体进行紧固，所述旋转台15下表面通过连接杆25连接有设置在上平台10内部的齿轮A22，齿轮A22一侧设置有齿轮B23，齿轮B23下表面连接有旋钮24，装置通过旋钮24带动齿轮B23，齿轮B23通过与齿轮A22的啮合带动齿轮B23旋转，齿轮B23带动旋转台15进行角度调整，所述齿轮A22与齿轮B23相互啮合，但齿轮A22直径较大，齿数较多，齿轮B23直径较小，齿数较少，装置通过齿轮A22与齿轮B23的齿数比实现对旋转台15旋转幅度的精确控制，实现对旋转角的微调。
[0023]实施例2
[0024]参阅图1，本专利技术还提供另外一种实施例中，该实施例与上述实施例的区别之处在于，所述旋转台15上设置有角度刻度尺，装置通过角度刻度尺的设置，使装置对旋转台15的
调整角度的观测更加方便。
[0025]本专利技术的工作原理是：装置在对待测物体进行测量前先打开激光发射器8，通过观测镜26观测迈克尔逊干涉实验现象，若无现象，通过旋钮24调整平面镜B17的旋转角度，直至出现迈克尔逊干涉实验现象并且将干涉条纹圆心调整至观测镜26中心位置，记录旋转角，调整完成后，将待测物体通过夹块20夹紧在旋转台15上，并且将待测物体背面紧贴平面镜B17表面，固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)左端上表面连接有固定块(2)，固定块(2)上连接有液压缸(3)，液压缸(3)顶端设置有升降杆(4)，升降杆(4)顶端连接有固定台(5)，固定台(5)上连接有固定圈(6)，固定圈(6)内设置有激光发射器(8)，所述底座(1)右侧上表面连接有支撑柱(9)，支撑柱(9)顶端连接有上平台(10)，所述上平台(10)中间位置设置有分光片(11)，分光片(11)后方设置有支撑座(13)，支撑座(13)上设置有平面镜A(14)，所述上平台(10)右侧设置有旋转台(15)，旋转台(15)通过连接杆(25)连接有设置在上平台(10)内部的齿轮A(22)，齿轮A(22)一侧设置有齿轮B(23)，齿轮B(23)下表面连接有旋钮(24)。2.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪，其特征在于，所述齿轮A(22)与齿轮B(23)相互啮合，但齿轮A(22)直径较大，齿数...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴志平，
申请(专利权)人：衡阳师范学院，
类型：发明
国别省市：