一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，包括气缸、连杆、映射传感器、电机、丝杆、安装板、固定座、转动套、卡块、滑轨、挡板、连接块、滑块、顶板、操作盒、安装框、安装架、移动块、第一限位块、推动杆、限位板、第二限位块、L型板、接线端子、连接头和挡杆，所述连接头位于靠近L型板的一侧，所述电机的输出端套接固定连接有转动套，所述电机的输出端与丝杆的一端固定连接，所述丝杆的两端分别与固定座的中心处安装的轴承内部套接固定连接，利用安装的映射传感器有利于检测出晶圆卡匣内是否存在晶圆片和晶圆对应层数数据统计并且对晶圆斜插、叠片等功能，有利于及时知道对应层数是否存在晶圆片，提高了工作效率。提高了工作效率。提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构


[0001]本技术涉及半导体制造
，具体为一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，在制造生产晶圆的过程中，晶圆安装框是必不可少的，它是放置晶圆的容器，其中在生产制作晶圆的过程中，不利于检测晶圆卡匣内是否存在晶圆片，从而不利于及时补充晶圆片，降低了工作效率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，包括气缸、连杆、映射传感器、电机、丝杆、安装板、固定座、转动套、卡块、滑轨、挡板、连接块、滑块、顶板、操作盒、安装框、安装架、移动块、第一限位块、推动杆、限位板、第二限位块、L型板、接线端子、连接头和挡杆，所述连接头位于靠近L型板的一侧，所述电机的输出端套接固定连接有转动套，所述电机的输出端与丝杆的一端固定连接，所述丝杆的两端分别与固定座的中心处安装的轴承内部套接固定连接，所述滑轨的一侧分别与安装板的一侧顶端中心两侧固定连接，所述滑轨的底端分别与卡块的中心处开设的凹槽内部固定连接，所述卡块的一端分别与安装板的一侧中心两端固定连接，所述安装板的一侧两端分别与挡杆的一侧固定连接，所述挡板的顶端中心一侧与顶板的底端一侧固定连接，所述顶板的顶端中心处与气缸的底端固定连接，所述气缸的输出端与移动块的一端中心处固定连接，所述顶板的两侧中心一端分别与限位板的相向一侧中心底端固定连接，所述限位板的顶端中心一侧开设有凹槽，且推动杆的中心两端分别位于该凹槽的内部，所述推动杆的两端分别与第二限位块的一端中心处固定连接，所述安装板的顶端与安装框的底端固定连接，所述安装框的一侧两端分别与安装架的一侧固定连接，所述安装框的顶端与操作盒的底端中心处固定连接，所述操作盒的底端中心两侧分别与安装架的顶端固定连接。
[0005]进一步的，所述安装板的一侧底端中心两端分别与接线端子和连接头的一端固定连接，所述安装板的一侧底端两侧分别与L型板和电机的一侧固定连接，所述接线端子位于靠近电机的一侧。
[0006]进一步的，所述固定座的一端分别与安装板的一侧中心两端固定连接，所述丝杆上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母的一端与挡板的一侧中心一端固定连接，所述挡板的一侧中心两端分别与连接块的一端固定连接，所述连接块的另一端分别与滑块的一端固定连
接，所述滑块的另一端分别位于滑轨上。
[0007]进一步的，所述移动块的底端位于第一限位块的顶端中心处开设的限位凹槽的内部，所述第一限位块的底端与顶板的顶端中心一侧固定连接，所述移动块的顶端中心处开设有凹槽，且推动杆的中心处位于该凹槽的内部。
[0008]进一步的，所述第二限位块的另一端分别与连杆的相向一侧中心底端贴合，所述连杆的底端分别与L型板转动连接，所述L型板的一侧分别与安装板的另一侧中心两端固定连接，所述连杆的相向一侧顶端中心处分别与映射传感器的两端固定连接，所述安装板的中心顶端开设有凹槽。
[0009]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：该技术，通过打开电机带动丝杆的转动，从而带动滑块、连接块和挡板的移动，且滑块位于滑轨上移动，从而调节挡板与安装框之间的位置关系，且通过打开气缸使移动块位于第一限位块上移动，且推动杆位于限位板上开设的凹槽内部移动，从而带动连杆的摆动，从而调节映射传感器与安装框之间的位置关系，进而利用安装的映射传感器对放置在卡匣内的晶圆片进行检测，有利于及时补充晶圆片，缩短了机器的等待时间，提高了工作效率。
附图说明
[0010]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0011]图1是本技术的整体结构示意图；
[0012]图2是本技术的整体结构侧视图；
[0013]图3是本技术的整体结构立体图；
[0014]图4是图3中A区域的放大图；
[0015]图中：1、气缸；2、连杆；3、映射传感器；4、电机；5、丝杆；6、安装板；7、固定座；8、转动套；9、卡块；10、滑轨；11、挡板；12、连接块；13、滑块；14、顶板；15、操作盒；16、安装框；17、安装架；18、移动块；19、第一限位块；20、推动杆；21、限位板；22、第二限位块；23、L型板；24、接线端子；25、连接头；26、挡杆。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，包括气缸1、连杆2、映射传感器3、电机4、丝杆5、安装板6、固定座7、转动套8、卡块9、滑轨10、挡板11、连接块12、滑块13、顶板14、操作盒15、安装框16、安装架17、移动块18、第一限位块19、推动杆20、限位板21、第二限位块22、L型板23、接线端子24、连接头25和挡杆26，安装板6的一侧底端中心两端分别与接线端子24和连接头25的一端固定连接，安装板6的一侧底端两侧分别与L型板23和电机4的一侧固定连接，接线端子24位于靠近电机4的一侧，有利于通过导线与电源固定连接，连接头25位于靠近L型板23的一侧，电机4的输出端套接固
定连接有转动套8，电机4的输出端与丝杆5的一端固定连接，丝杆5的两端分别与固定座7的中心处安装的轴承内部套接固定连接，固定座7的一端分别与安装板6的一侧中心两端固定连接，丝杆5上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母的一端与挡板11的一侧中心一端固定连接，挡板11的一侧中心两端分别与连接块12的一端固定连接，连接块12的另一端分别与滑块13的一端固定连接，滑块13的另一端分别位于滑轨10上，有利于滑块13位于滑轨10上移动，滑轨10的一侧分别与安装板6的一侧顶端中心两侧固定连接，滑轨10的底端分别与卡块9的中心处开设的凹槽内部固定连接，卡块9的一端分别与安装板6的一侧中心两端固定连接，安装板6的一侧两端分别与挡杆26的一侧固定连接，挡板11的顶端中心一侧与顶板14的底端一侧固定连接，顶板14的顶端中心处与气缸1的底端固定连接，气缸1的输出端与移动块18的一端中心处固定连接，移动块18的底端位于第一限位块19的顶端中心处开设的限位凹槽的内部，第一限位块19的底端与顶板14的顶端中心一侧固定连接，移动块18的顶端中心处开设有凹槽，且推动杆20的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，包括气缸(1)、连杆(2)、映射传感器(3)、电机(4)、丝杆(5)、安装板(6)、固定座(7)、转动套(8)、卡块(9)、滑轨(10)、挡板(11)、连接块(12)、滑块(13)、顶板(14)、操作盒(15)、安装框(16)、安装架(17)、移动块(18)、第一限位块(19)、推动杆(20)、限位板(21)、第二限位块(22)、L型板(23)、接线端子(24)、连接头(25)和挡杆(26)，其特征在于：所述连接头(25)位于靠近L型板(23)的一侧，所述电机(4)的输出端套接固定连接有转动套(8)，所述电机(4)的输出端与丝杆(5)的一端固定连接，所述丝杆(5)的两端分别与固定座(7)的中心处安装的轴承内部套接固定连接，所述滑轨(10)的一侧分别与安装板(6)的一侧顶端中心两侧固定连接，所述滑轨(10)的底端分别与卡块(9)的中心处开设的凹槽内部固定连接，所述卡块(9)的一端分别与安装板(6)的一侧中心两端固定连接，所述安装板(6)的一侧两端分别与挡杆(26)的一侧固定连接，所述挡板(11)的顶端中心一侧与顶板(14)的底端一侧固定连接，所述顶板(14)的顶端中心处与气缸(1)的底端固定连接，所述气缸(1)的输出端与移动块(18)的一端中心处固定连接，所述顶板(14)的两侧中心一端分别与限位板(21)的相向一侧中心底端固定连接，所述限位板(21)的顶端中心一侧开设有凹槽，且推动杆(20)的中心两端分别位于该凹槽的内部，所述推动杆(20)的两端分别与第二限位块(22)的一端中心处固定连接，所述安装板(6)的顶端与安装框(16)的底端固定连接，所述安装框(16)的一侧两端分别与安装架(17)的一侧固定连接，所述安装框(16...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴昌浩，李涛，王广禄，陈曦，柯华榕，
申请(专利权)人：憬承光电科技厦门有限公司，
类型：新型
国别省市：