一种节能高效型石墨舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种节能高效型石墨舟，包括多片石墨舟片以及支撑装置；所述支撑装置包括两组导电安装架，所述多片石墨舟片等间距平行安装在所述两组导电安装架之间；所述导电安装架包括正极连接部和负极连接部，所述正极连接部与电源正极连接，所述负极连接部与电源负极连接；在相邻两石墨舟片中，其中一片石墨舟片的两端均与正极连接部连接，另一片石墨舟片的两端均与负极连接部连接；所述两组导电安装架上均设有镂空槽。本实用新型专利技术的石墨舟不仅可以减轻石墨舟的整体重量，便于操作，而且还可以缩短硅片镀膜工艺过程对石墨舟升温或者降温操作的时间，提高镀膜效率。提高镀膜效率。提高镀膜效率。

【技术实现步骤摘要】
一种节能高效型石墨舟


[0001]本技术涉及太阳能电池片生产
，特别涉及一种节能高效型石墨舟。

技术介绍

[0002]当今，由于太阳能光伏行业发展迅速，市场规模持续增长，但同时市场竞争激烈，因此为了尽快实现平价上网，实现在更大范围的普及应用，全行业各环节努力追求和获取高效率、低成本电池。在电池片环节，获得高品质、低成本的电池片非常重要。
[0003]石墨舟是一种在等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)管式炉内，对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行氮化硅薄膜沉积的承载工具。采用等离子体增强化学沉积法对硅片表面进行镀膜，需要在450度左右的温度中进行。
[0004]现有的石墨舟包括多片石墨舟片、多个石墨垫块以及多个舟脚，每个石墨舟片上设有多个承载位，承载位与硅片大小配合，用于支撑硅片；多个石墨垫块位于石墨舟的两端，分别设置在两个石墨舟片之间，用来将石墨舟片分隔固定起来。传统的石墨垫块以及舟脚采用实心的结构设计，结构单一笨重，不仅使得整个石墨舟的重量比较重，操控过程不方便；而且实心的石墨垫块以及舟脚不利于温度传递，升温或者降温的过程需要耗费的时间更多，导致对硅片表面镀膜的效率低下，能耗高。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种节能高效型石墨舟，所述石墨舟不仅可以减轻石墨舟的整体重量，而且还可以缩短硅片镀膜工艺过程对石墨舟升温或者降温操作的时间，提高镀膜效率。
[0006]本技术解决上述技术问题的技术方案是：
[0007]一种节能高效型石墨舟，包括多片石墨舟片以及支撑装置；所述支撑装置包括两组导电安装架，所述多片石墨舟片等间距平行安装在所述两组导电安装架之间；所述导电安装架包括正极连接部和负极连接部，所述正极连接部与电源正极连接，所述负极连接部与电源负极连接；在相邻两石墨舟片中，其中一片石墨舟片的两端均与正极连接部连接，另一片石墨舟片的两端均与负极连接部连接；所述两组导电安装架上均设有镂空槽。
[0008]上述节能高效型石墨舟的工作原理是：
[0009]在安装石墨舟时，先将一片石墨舟片安装在两组导电安装架之间，再将另一片石墨舟片按照与第一片石墨舟片平行的方式安装在两组导电安装架之间，以此类推，直至将多片石墨舟片按照等间距平行的方式安装在导电安装架上；在相邻两片石墨舟片中，其中一片的两端都与导电安装架的正极连接部连接，另一片的两端都与导电安装架的负极连接部连接，这样在相邻的两片石墨舟片之间就可以产生一个定向电场，等离子体在定向电场的作用下做定向移动，完成镀膜；由于在导电安装架上设有镂空槽，相当于在导电安装架上挖掉一部分，因此导电安装架的重量减小，从而减轻了整个石墨舟的重量；另一方面，在采
用等离子体增强化学沉积法对硅片表面进行镀膜时，在导电安装架上设置镂空槽，导电安装架的内部通过镂空槽与外界空气连通，热量的传递更加顺畅，在加热升温过程，可以提高对石墨舟的加热速度，使得石墨舟的升温速度更快，消耗的能量更少；此外，在导电安装架上设置镂空槽，增加了导电安装架的表面积，即增大了导电安装架的散热面积，因此在散热时降温速度也更快，升温和降温过程都节省了等离子体增强化学沉积工艺的工时，提高了对硅片的镀膜效率，也更加节能环保。
[0010]本技术的一个优选方案，所述正极连接部以及负极连接部均包括多个石墨块以及石墨杆，所述石墨块上设置有连接通孔，所述石墨块上还设有镂空槽，所述石墨杆穿设在所述连接通孔中将多个石墨块连接成长条状。将石墨杆穿设在多个石墨块中，这样多个石墨块就连接成一个整体的石墨条；通过将石墨条设置成由多个石墨块组成的形式，这样石墨条的安装与拆卸会更方便，在需要安装更多片石墨舟片时，可以通过增加石墨块的个数来匹配石墨舟片的数量，提高了导电安装架的适应性；此外，在石墨块上设置镂空槽，减少了石墨块的体积，不仅减轻了石墨块的重量，而且在加热过程中，可以使得石墨块具有更快的升温速度；另一方面，在石墨块上设置镂空槽，增加了石墨块的表面积，由于增加了散热面积，因此在散热过程中，降温的速度更快，节省了工时。
[0011]优选地，所述石墨块的镂空槽包括横向镂空槽以及竖向镂空槽，其中，所述横向镂空槽沿着所述连接通孔的轴线方向设置且贯穿所述石墨块；所述竖向镂空槽设置在石墨块的两侧。设置所述横向镂空槽，每个石墨块的两侧互相贯通，使得热的传递更加畅通，从而使得加热过程中升温速度更快、散热过程中降温速度更快，节省工时；设置所述竖向镂空槽，使得石墨块的内部直接与外界空气连通，在加热时，热量可以快速进入石墨块内部，在散热时，热量可以从石墨块内部快速逸出外界空气中，从而节省工艺时间，提高生产效率。
[0012]本技术的一个优选方案，所述正极连接部设置在所述导电安装架的上方，所述负极连接部设置在所述导电安装架的下方。
[0013]优选地，所述石墨块包括石墨垫块、电极块、以及用于支撑石墨舟的石墨舟脚；所述电极块的前端设有用于与电源线连接的电极孔，所述电极块设置在其中一组导电安装架上，分别设置在正极连接部的中部以及负极连接部的中部；所述石墨舟脚分别设置在石墨舟的两端，且位于所述负极连接部的两侧。上述结构中，电极块分别设置在正极连接部以及负极连接部上，由于所述正极连接部以及负极连接部均通过石墨杆连接在一起，因此在所述电极块通过电极孔与电源的一极接通后，正极连接部就与电源的正极极连接，负极连接部与电源的负极极连接；此外，将石墨舟脚分别设置在负极连接部的两侧，使得石墨舟脚之间的距离更长，从而使得石墨舟的受力点更分散，提高了石墨舟的稳定性。
[0014]优选地，所述石墨舟脚包括固定部以及支撑部，所述连接通孔设置在所述固定部上，所述支撑部一端与所述固定部连接，另一端向下延伸；所述固定部以及支撑部上均设有镂空槽。通过设置上述结构的石墨舟脚，在固定部上设置连接通孔，将所述石墨杆穿过固定部的连接通孔使之与其他石墨块连接时，石墨舟脚与其他石墨块就连接成为一整体；石墨舟脚的支撑部的一端向下延伸，即支撑部相对于固定部向下凸出，起到支撑作用；另外，在石墨舟脚的固定部以及支撑部上均设置了镂空槽，在减轻重量以及加快升温降温方面的作用更加明显。
[0015]本技术的一个优选方案，所述支撑装置还包括设置在石墨舟中部的陶瓷杆以
及陶瓷环，所述陶瓷环设置在相邻两片石墨舟片之间，所述陶瓷杆穿设在陶瓷环内并将石墨舟片与陶瓷环固定连接，所述陶瓷杆的轴线方向垂直于石墨舟片。设置上述陶瓷杆与陶瓷环，陶瓷环将相邻两片石墨舟片分隔开，由于陶瓷环两端平行，因此石墨舟片之间相互平行等间距的安装在导电安装架上；用陶瓷杆将石墨舟片与陶瓷环固定连接起来，使得多片石墨舟片连接固定在一起成为一个整体。
[0016]优选地，所述陶瓷杆有两组，分别设置在石墨舟片的上部与下部，每组陶瓷杆有多根，所述多根陶瓷杆沿着石墨舟的长度方向均匀排布。设置上下两组沿着石墨舟长度方向均匀排布的陶瓷杆，这样石墨舟片之间的连接点更多，石墨本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种节能高效型石墨舟，其特征在于，包括多片石墨舟片以及支撑装置；所述支撑装置包括两组导电安装架，所述多片石墨舟片等间距平行安装在所述两组导电安装架之间；所述导电安装架包括正极连接部和负极连接部，所述正极连接部与电源正极连接，所述负极连接部与电源负极连接；在相邻两石墨舟片中，其中一片石墨舟片的两端均与正极连接部连接，另一片石墨舟片的两端均与负极连接部连接；所述两组导电安装架上均设有镂空槽。2.根据权利要求1所述的一种节能高效型石墨舟，其特征在于，所述正极连接部以及负极连接部均包括多个石墨块以及石墨杆，所述石墨块上设置有连接通孔，所述石墨块上还设有镂空槽，所述石墨杆穿设在所述连接通孔中将多个石墨块连接成长条状。3.根据权利要求2所述的一种节能高效型石墨舟，其特征在于，所述石墨块的镂空槽包括横向镂空槽以及竖向镂空槽，其中，所述横向镂空槽沿着所述连接通孔的轴线方向设置且贯穿所述石墨块；所述竖向镂空槽设置在石墨块的两侧。4.根据权利要求3所述的一种节能高效型石墨舟，其特征在于，所述正极连接部设置在所述导电安装架的上方，所述负极连接部设置在所述导电安装架的下方。5.根据权利要求4所述的一种节能高效型石墨舟，其特征在于，所述石墨块包括石墨垫块、电极块、以及用于支撑石墨舟的石墨舟脚；所述电极块的前端设有用于与电源线连接的电极孔，所述电极块设置在其中一组导电安装架上，分别设置在正极连接部的中部以及负极连接部的中部；所述石墨舟脚分别设置在石墨...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐青岗，向建求，付浩然，周绪成，
申请(专利权)人：深圳市石金科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：