一种正压保护阀制造技术

本实用新型专利技术公开一种正压保护阀，通过安装法兰安装在真空系统的腔室上，与腔室连通，包括阀体、密封机构及调节机构。其中，密封机构用于维持真空密封，包括密封端盖及密封圈；以及调节机构用于调节正压保护阀打开的临界气压，包括调节弹簧以及调节螺丝。包括调节弹簧以及调节螺丝。包括调节弹簧以及调节螺丝。

【技术实现步骤摘要】
一种正压保护阀


[0001]本技术涉及真空设备
，特别涉及一种正压保护阀。

技术介绍

[0002]真空系统已广泛应用于各个领域，在半导体
中，真空系统是物理气相沉积技术中的重要组成部分。在实际操作中，真空系统需要不定期地进行维护。对真空系统进行维护或者进行样品的传送时，需要打开真空系统的腔室法兰或开关门，此时，需要先对腔室进行放气操作，直到腔室内外气压一致后，方可轻松打开腔室，否则由于气压差，在大气压的作用下，腔室法兰或者开关门无法打开。
[0003]由于空气中含有粉尘，水蒸汽，会影响腔室真空度，因此，为了维持较好的真空，一般不会直接将空气通入腔室内，而是向真空腔室中通入氮气。具体来说，是使用高压氮气瓶，氮气通过减压阀减压后，再经过针阀，通入腔室内，其中，减压阀输出端配备有一个压力表，可以测量输出端气压。由于减压阀输出端的压力表的测量起点为一个大气压，同时精度不高，当腔室内气压与减压阀输出气压一致时，就已经可能气压过高，存在安全隐患，因此，采用这种方式向腔室内部通入氮气的时候，需要时刻关注真空系统的腔室内配备的测量气压的真空计，而所述真空计一般最高只能测量到1个大气压，因此，一旦腔室内气压达到一个大气压以后，需要及时停止通入氮气。
[0004]为了降低这一安全隐患，通常会在减压阀输出端与腔室放气阀之间接入一个双尾橡胶球胆。此时，气体经过球胆后，再注入腔室，一旦腔室气压已经达到一个大气压后，腔室内气压会升高，则球胆膨胀，观察到这一现象后，立即关闭减压阀输出，可以避免腔室气压过高。但是，如果关闭不及时，或者之前减压阀输出气压调节的偏高，很可能会导致球胆被撑爆，仍然有一定危险。
[0005]因此，需要一种更安全的装置，用以保证腔室内的气压大小，消除安全隐患。

技术实现思路

[0006]针对现有技术中的部分或全部问题，本技术提供一种正压保护阀，安装在真空系统的腔室上，包括：
[0007]阀体，所述阀体连通至所述真空系统的腔室；
[0008]密封机构，位于所述阀体的端部，包括密封端盖及密封圈；以及
[0009]调节机构，位于所述阀体的内部，包括调节弹簧以及调节件，所述调节弹簧一端与所述密封端盖连接，另一端与所述调节件连接，所述调节件通过固定基座安装于所述阀体的内部，通过调整所述调节件与所述阀体的相对位置，能够调整所述调节弹簧的长度。
[0010]进一步地，所述阀体通过安装法兰与所述真空系统的腔室连接。
[0011]进一步地，所述固定基座固定安装于所述阀体的内部，且靠近所述阀体的未安装密封机构的一端，所述固定基座的中部具有通孔，所述调节件安装于所述通孔内，能够沿着所述通孔移动，且所述调节件与所述通孔形成紧密配合。
[0012]进一步地，所述调节件为螺栓、螺钉或螺杆，与所述通孔采用螺纹连接。
[0013]进一步地，所述正压保护阀还包括防护端盖，所述防护端盖包覆所述密封机构。
[0014]进一步地，所述防护端盖为可松脱的。
[0015]进一步地，所述防护端盖的顶端具有通孔，所述防护端盖与所述密封端盖之间的空间与大气连通。
[0016]进一步地，所述正压保护阀还包括调节法兰，所述调节法兰位于所述阀体的未安装密封机构的一端端部。
[0017]本技术提供的一种正压保护阀，直接安装于真空系统的腔室上，当真空系统的腔室内气压高于临界值时，阀门自动开启，将多余的气体排出腔室，使得腔室内的气压维持在一个安全的范围。当停止向腔室内输送气体，腔室内的气压低于临界值后，阀门自动恢复到关闭状态，维持真空密封状态。本技术提供的一种正压保护阀是一个可以反复自动运行的保护装置，能够保证了室内气压不会过大，有效地防止危险的发生。
附图说明
[0018]为进一步阐明本技术的各实施例的以上和其它优点和特征，将参考附图来呈现本技术的各实施例的更具体的描述。可以理解，这些附图只描绘本技术的典型实施例，因此将不被认为是对其范围的限制。在附图中，为了清楚明了，相同或相应的部件将用相同或类似的标记表示。
[0019]图1示出本技术一个实施例的一种正压保护阀的剖视图。
具体实施方式
[0020]下面结合具体实施方式参考附图进一步阐述本技术。应当指出，各附图中的各组件可能为了图解说明而被夸大地示出，而不一定是比例正确的。在各附图中，给相同或功能相同的组件配备了相同的附图标记。
[0021]在本技术中，除非特别指出，“布置在
…
上”、“布置在
…
上方”以及“布置在
…
之上”并未排除二者之间存在中间物的情况。此外，“布置在
…
上或上方”仅仅表示两个部件之间的相对位置关系，而在一定情况下、如在颠倒产品方向后，也可以转换为“布置在
…
下或下方”，反之亦然。
[0022]在本技术中，各实施例仅仅旨在说明本技术的方案，而不应被理解为限制性的。
[0023]在本技术中，除非特别指出，量词“一个”、“一”并未排除多个元素的场景。
[0024]在此还应当指出，在本技术的实施例中，为清楚、简单起见，可能示出了仅仅一部分部件或组件，但是本领域的普通技术人员能够理解，在本技术的教导下，可根据具体场景需要添加所需的部件或组件。
[0025]在此还应当指出，在本技术的范围内，“相同”、“相等”、“等于”等措辞并不意味着二者数值绝对相等，而是允许一定的合理误差，也就是说，所述措辞也涵盖了“基本上相同”、“基本上相等”、“基本上等于”。以此类推，在本技术中，表方向的术语“垂直于”、“平行于”等等同样涵盖了“基本上垂直于”、“基本上平行于”的含义。
[0026]为了避免向真空系统的腔室内通入气体时，腔室内的气压过高，从而生成安全隐
患，本技术提供一种正压保护阀，所述正压保护阀直接安装于真空系统的腔室上，与所述腔室连通，一旦腔室内的气压高于临界值，所述正压保护阀自动开启，排出多余气体，将腔室内的气压维持在一个安全的范围，而当腔室内气压恢复到安全范围后，所述正压保护阀可自动关闭，维持真空密封状态。下面结合具体实施方式参考附图进一步阐述本技术。
[0027]图1示出本技术一个实施例的一种正压保护阀的剖视图。如图1所示，一种正压保护阀，包括阀体101，密封机构以及调节机构。
[0028]所述密封机构用于维持所述正压保护阀及真空系统的腔室的真空密封状态，包括密封端盖201及密封圈202。所述密封端盖201位于所述阀体101的端端，所述密封圈202位于所述密封端盖201与所述阀体101之间，用以确保真空密封状态。
[0029]所述调节机构用于调节所述正压保护阀开启的临界气压，在本技术的一个实施例中，所述临界气压的预设值为5kpa，根据需要，可以通过所述调节机构调整该值。所述调节机构包括调节弹簧301以及调节件302。所述调节弹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种正压保护阀，其特征在于，其被配置为能够被安装在真空系统的腔室上与所述腔室连通，所述正压保护阀包括：阀体，所述阀体的连通至所述真空系统的腔室；密封机构，包括密封端盖及密封圈，其中，所述密封端盖位于所述阀体的端部，所述密封圈位于所述密封端盖与所述阀体之间；以及调节机构，包括调节弹簧以及调节件，其中，所述调节弹簧的一端与所述密封端盖的底部连接，另一端与所述调节件连接，并且所述调节件通过固定基座安装于所述阀体内部，使得通过调整所述调节件与所述阀体的相对位置能够调整所述调节弹簧的长度。2.如权利要求1所述的正压保护阀，其特征在于，所述阀体通过其一侧的安装法兰安装至所述真空系统的腔室上。3.如权利要求1所述的正压保护阀，其特征在于，所述固定基座固定安装于所述阀体的内部，并靠近所述阀体的底部，所述固定基座的中部具有第一通孔，所述第一通孔被配置为安装所述调节件，所述调节件可沿着所述第一通孔移动，...

【专利技术属性】
技术研发人员：艾金虎，
申请(专利权)人：埃频上海仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：