本实用新型专利技术涉及零件保护装置领域，尤其涉及一种溅镀头防污染保护装置，包括：溅镀头和保护装置，所述保护装置包括：驱动气缸、驱动齿条、防护罩体、固定座和从动齿圈；采用本实用新型专利技术，溅镀头是固定在盖板上，驱动气缸穿设在盖板上，盖板上放方为气缸，盖板下方为伸缩杆，驱动齿条就固定安装在伸缩杆上，当驱动气缸工作，推动驱动齿条，进而进一步的拖动从动齿圈，从动齿圈带动与其固定的防护罩体，所述防护罩体以固定座位支点，进而旋转，以达到保护盖设在溅镀头上的目的；通过驱动气缸的伸缩状态，防护罩体盖设保护与上扬打开两种状态。防护罩体盖设保护与上扬打开两种状态。防护罩体盖设保护与上扬打开两种状态。
【技术实现步骤摘要】
一种溅镀头防污染保护装置
[0001]本技术涉及零件保护装置领域，尤其涉及一种溅镀头防污染保护装置。
技术介绍
[0002]多靶位磁控溅镀机中由于同腔体内可能使用多种靶材制程，但是停用中的溅射头靶材会被其他使用中的溅射靶材所溅射污染，纯净的靶材使用面上会堆积出一层其他材质的污染物，被污染的靶材如果不严重可在在线进行清靶动作，将表面污染物先行溅射清除后再正常使用，但如果严重的话就必须下线重新进行靶材的表面清理，因此靶材交叉污染的问题一直是多靶位溅镀机在多制程使用上的一个很大的困扰，进场需要检查与维护调试，影响产品的生产效率和质量。
技术实现思路
[0003]本技术目的是在于提供一种结构简单，启闭灵活，便于维护的保护装置。
[0004]一种溅镀头防污染保护装置，包括：溅镀头和保护装置，所述保护装置包括：驱动气缸、驱动齿条、防护罩体、固定座和从动齿圈；
[0005]所述溅镀头固定安装在盖板下方，溅镀头的下方设有溅镀靶材，所述固定座设置在溅镀头的左右两侧；所述驱动气缸穿设过盖板，气缸推杆部分设于盖板下方，所述驱动齿条固定在驱动气缸的推杆末端；所述防护罩体与固定座转轴连接，盖设在溅镀头的下端；所述从动齿圈与防护罩体固定连接，并与所述驱动齿条啮合。
[0006]进一步的，所述防护罩体的保护端盖为弧形。
[0007]进一步的，防护罩体的材质为透明硬质塑料PC。
[0008]进一步的，所述驱动气缸为JIS标准气缸基本型。
[0009]本技术的有益效果是：
[0010]本技术设置有管夹组件和固定螺母，分体式的管夹组件设有夹孔便于使得管道穿过，柜体开设有柜体开孔便于管夹组件1的下封圈顺利通过，下封圈伸入柜体内部后，有固定螺母固定，固定螺母开设有螺母开口，固定螺母通过螺母开口，将管道穿入，并配合管夹组件的下封圈，进行旋紧密封；
[0011]本技术的实际使用中，溅镀头是固定在盖板上，驱动气缸穿设在盖板上，盖板上放方为气缸，盖板下方为伸缩杆，驱动齿条就固定安装在伸缩杆上，当驱动气缸工作，推动驱动齿条，进而进一步的拖动从动齿圈，从动齿圈带动与其固定的防护罩体，所述防护罩体以固定座7位支点，进而旋转，以达到保护盖设在溅镀头上的目的；通过驱动气缸的伸缩状态，防护罩体盖设保护与上扬打开两种状态。
附图说明
[0012]图1是本技术的整体结构示意图；
[0013]图2是本技术的左侧示意图；
[0014]附图标记：1-驱动气缸、2-盖板、3-溅镀头、4-防护罩体、5-从动齿圈、6-驱动齿条、7-固定座。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0016]参考图1-2，一种溅镀头防污染保护装置，溅镀头3和保护装置，所述保护装置包括：驱动气缸1、驱动齿条6、防护罩体4、固定座7 和从动齿圈5；
[0017]所述溅镀头3固定安装在盖板2下方，溅镀头3的下方设有溅镀靶材8，所述固定座7设置在溅镀头3的左右两侧；所述驱动气缸1 穿设过盖板，气缸推杆部分设于盖板2下方，所述驱动齿条6固定在驱动气缸1的推杆末端；所述防护罩体4与固定座7转轴连接，盖设在溅镀头3的下端；所述从动齿圈5与防护罩体4固定连接，并与所述驱动齿条6啮合。
[0018]本技术的实际使用中，溅镀头3是固定在盖板2上，驱动气缸1穿设在盖板2上，盖板2上放方为气缸，盖板2下方为伸缩杆，驱动齿条6就固定安装在伸缩杆上，当驱动气缸1工作，推动驱动齿条6，进而进一步的拖动从动齿圈5，从动齿圈5带动与其固定的防护罩体4，所述防护罩体4以固定座7位支点，进而旋转，以达到保护盖设在溅镀头3上的目的；通过驱动气缸1的伸缩状态，防护罩体 4盖设保护与上扬打开两种状态；
[0019]参考图1-2，一种溅镀头防污染保护装置，进一步的，所述防护罩体4的保护端盖为弧形；
[0020]弧形的防护罩体4的设计可减小尺寸并使防护罩体4与溅镀靶材8更贴近，避免污染物进入。
[0021]本实施例中，进一步的，防护罩体4的材质为透明硬质塑料PC；
[0022]PC硬质塑料具有强度高、耐疲劳性、尺寸稳定、蠕变也小等特点，潮湿、高温也能保持电性能稳定，是制造电子、电气零件的理想材料。
[0023]本实施例中，进一步的，所述驱动气缸1为JIS标准气缸基本型。
[0024]本文中所描述的具体实施例仅仅是对本专利技术精神作举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本专利技术的精神所定义的范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种溅镀头防污染保护装置，溅镀头(3)和保护装置，其特征在于，所述保护装置包括：驱动气缸(1)、驱动齿条(6)、防护罩体(4)、固定座(7)和从动齿圈(5)；所述溅镀头(3)固定安装在盖板(2)下方，溅镀头(3)的下方设有溅镀靶材(8)，所述固定座(7)设置在溅镀头(3)的左右两侧；所述驱动气缸(1)穿设过盖板，气缸推杆部分设于盖板(2)下方，所述驱动齿条(6)固定在驱动气缸(1)的推杆末端；所述防护罩体(4)与固定座(...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴煜明，
申请(专利权)人：柏霆苏州光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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