一种喷射管制造技术

本实用新型专利技术公开了一种喷射管，旨在解决连接头与喷射管本体的连接可靠性较差，寿命较短的不足。该实用新型专利技术包括喷射管本体和连接头，喷射管本体上设有进气孔，连接头包括装配管、转接头和包围块，装配管插装在转接头上，所述装配管插装在进气孔中且与进气孔适配，包围块与转接头抱合喷射管本体，喷射管本体的两端分别设有堵头，堵头包括堵头头部和堵头尾部，堵头头部为六棱柱，堵头尾部呈圆柱状，堵头尾部的侧壁上设有外螺纹，堵头螺纹连接在喷射管本体上。该结构大大延长了使用周期，提供了一种稳定可靠的硅部件连接方式，排除了连接部位带入外部污染物的可能性。入外部污染物的可能性。入外部污染物的可能性。

【技术实现步骤摘要】
一种喷射管


[0001]本技术涉及半导体硅材料制造
，更具体地说，它涉及一种喷射管。

技术介绍

[0002]随着中国半导体制造的高速发展，半导体设备及其消耗配件的需求与日俱增。硅片是现代超大规模集成电路的主要衬底材料，一般通过拉晶、切片、倒角、磨片、腐蚀、背封、抛光、清洗等工艺过程做成的集成电路级半导体硅片。硅片热处理是半导体器件或电路加工过程中一个重要的工序，热处理包含CVD、氧化、扩散、退火等众多工艺，占据了集成电路制程工艺的大部分。将半导体硅片放在载体上，再放入炉管内进行处理，而这时候就需要一种用于往机台内通气的的通气管，这种通气管在业内被称作喷射管本体。POLY工艺在半导薄膜工艺中是使用最广泛的工艺之一。喷射管本体作为将工艺气体导入工艺腔体的关键性零部件，有着非常重要的作用。现在的喷射管本体与连接头之间的连接可靠性较差，使用寿命较短。
[0003]传统的喷射管本体多使用高纯石英材料。其存在多种弊端。首先石英由于膨胀系数和硅不同，在沉积硅薄膜后会存在较大应力，在高积载的情况下升降温极易断裂，产生设备停机影响生产。同时硅薄膜与石英的结合力相对较弱，很容产生薄膜的剥落，污染整个腔体。随着硅加工技术的进步，硅材料部件开始越来越多的应用到半导体的设备中。硅喷射管本体的应用可以很有效地解决硅薄膜高积载的断裂问题，和剥落问题。大大提升了工艺的安全性和稳定性。
[0004]中国专利公告号CN106191990B，名称为一种炉管的进气装置，包括：进气口，设于炉管工艺腔的侧壁下端，其连通外部反应气体管路；进气管，设于工艺腔内，其一端连接进气口，另一端封闭，进气管自下而上环绕工艺腔内的晶舟设置；多个喷嘴，沿进气管长度方向并面向晶舟均匀设置；工艺时，通过由进气口向进气管中通入反应气体，并由各喷嘴向晶舟喷射，使晶舟中的每层硅片都均匀接触到反应气体，同时，保持晶舟处于静止不动状态，以在保证产品厚度均匀性的同时，避免因晶舟旋转而带来颗粒污染。它的喷射换气密性较差、使用寿命较短。

技术实现思路

[0005]本技术克服了连接头与喷射管本体的连接可靠性较差，寿命较短的不足，提供了一种喷射管，它能连接头和喷射管本体之间的连接强度，提高使用寿命。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种喷射管，包括喷射管本体和连接头，喷射管本体上设有进气孔，连接头包括装配管、转接头和包围块，装配管插装在转接头上，所述装配管插装在进气孔中且与进气孔适配，包围块与转接头抱合喷射管本体，喷射管本体的两端分别设有堵头，堵头包括堵头头部和堵头尾部，堵头头部为六棱柱，堵头尾部呈圆柱状，堵头尾部的侧壁上设有外螺纹，堵头螺纹连接在喷射管本体上。
[0008]喷射管本体的一端具有一个进气孔，另一端具有若干个出气孔，装配管插装并固定连接在转接块上，其端部略微凸出转接块。装配管凸出的端部插入到转接头的进气孔中，装配管与进气孔大小适配。将转接块沿装配管的轴线方向将装配管插入到进气孔中，直到转接块的端面贴合喷射管本体的管壁。喷射管本体在靠近进气孔一端装配一个硅质的堵头，该结构可以提高喷射管本体拆卸倾斜的便利性。转接头一前一后将喷射管本体包围包合固定。而装配管与进气孔轮廓接近的特点使得喷射管本体与连接定位准确。堵头螺纹、可拆卸连接在喷射管本体上，装配时配合扭力内四角扳手，用规定的扭力，旋转拧紧。所述结构可以保证螺纹堵头安装时的拆装方便性通过上述结构实现了装配管和喷射管本体之间的连接可靠，强度大，寿命长。
[0009]作为优选，所述包围块呈U字形，包围块和转接头围成有定位槽，喷射管本体轴向方向的投影形状与定位槽对应。包围块的外形轮廓与喷射管本体的轮廓接近，上述结构使得喷射管本体可以定位与包围块中。
[0010]作为优选，喷射管本体的横截面为矩形，定位槽形状与喷射管本体横截面形状对应。上述结构中的转接头上的装配管与喷射管本体贴合面为平面，可以提高气密性和连接可靠性。
[0011]作为优选，转接头的两端设有装配通孔，包围块对应装配通孔位置设有对应的内螺纹孔，转接头和包围块连接有连接螺栓，连接螺栓与装配通孔以及内螺纹孔紧配合。二者通过连接螺栓紧配合。连接螺栓通过可固定扭力的扭矩扳手固定，防止使用普通扳手过程中用力过度导致硅产品破裂，用力过小导致连接不到位的问题。
[0012]作为优选，转接头、包围块以及连接螺栓的材料为Inconel 600。所述材料具有很好的耐还原、氧化、氮化介质腐蚀的性能，在室温及高温时都具有很好的耐应力腐蚀开裂性能，具有很好的耐干燥氯气和氯化氢气体腐蚀的性能，在零下、室温及高温时都具有很好的机械性能。
[0013]作为优选，装配管与转接头一体成型。上述结构提高了连接头的强度，延长了使用寿命。
[0014]作为优选，装配管设置在转接头中心位置。由于连接螺栓设置在转接头对称的两端，将装配管设置在转接头中心位置具有更好的定位效果，可以减少来自装配管的振动。
[0015]作为优选，喷射管本体远离转接头的一端连接有密封管，密封管的横截面呈圆形。密封管在中心线投影方向为圆形，所述密封接头1外径尺寸与化学沉积炉体内部密封接口相配合。
[0016]作为优选，喷射管本体远离连接头一端沿长度方向设有若干出气孔，所述出气孔设置在喷射管本体侧壁上，出气孔外连接有通气套筒，通气套筒调整出气气流形态。通过出气孔直出的方式会导致产生的气流呈螺旋状，，不利用反应，通过在出气孔上附上通气套筒来调节气流方向，通气套筒将气流导入到槽管中，沿着多个槽管排出，产生了平顺的气流，利于反应。
[0017]作为优选，通气套筒包括套筒本体、位于套筒内的蜂巢状底板和由中心向四周逐级等差穿插在蜂巢状底板上的槽管，槽管在内外气压的作用下滑动连接在套筒本体上，槽管远离进气孔一端设有次级出气孔，次级出气管的轴线方向与槽管的轴线方向所夹角度随槽管到套筒本体的距离增大而增大，外侧的槽管的次级出气孔贴合相邻槽管。当气流较小
时，气流均匀漫布在空间中，不利于反应，上述结构实现了当气流较小时，优先供给硅舟中的对应层，满足其反应需要，当气流足够大时足以供给相近层时，内部气压较外部气压更大，推动相邻的槽管伸出，槽孔不再与相邻槽管干涉，可以出气，由此实现对相邻层的精准定向喷气。
[0018]作为优选，所述槽管与蜂巢状底板之间连接有弹性件。当内外气压差产生的力较弹力更大时，槽管伸出。
[0019]作为优选，所述槽管的横截面呈正六边形。正六边形的槽管更利于同理套筒密封，实现分气功能。
[0020]作为优选，堵头的材质为硅。可以很有效地解决硅薄膜高积载的断裂问题，和剥落问题、改善硅片表面错层，从而提高了硅片的合格率
[0021]与现有技术相比，本技术的有益效果是：（1）大大延长了使用周期；（2）提供了一种稳定可靠的硅部件连接方式，排除了连接部位带入外部污染物的可能性；（3）降低了制造成本。
附图说明
[0022]图1是本专利技术的示意图；
[002本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷射管，其特征在于，包括喷射管本体和连接头，喷射管本体上设有进气孔，连接头包括装配管、转接头和包围块，装配管插装在转接头上，所述装配管插装在进气孔中且与进气孔适配，包围块与转接头抱合喷射管本体，喷射管本体的两端分别设有堵头，堵头包括堵头头部和堵头尾部，堵头头部为六棱柱，堵头尾部呈圆柱状，堵头尾部的侧壁上设有外螺纹，堵头螺纹连接在喷射管本体上。2.根据权利要求1所述的一种喷射管，其特征在于，所述包围块呈U字形，包围块和转接头围成有定位槽，喷射管本体轴向方向的投影形状与定位槽对应。3.根据权利要求2所述的一种喷射管，其特征在于，喷射管本体的横截面呈矩形，...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝建敏，范明明，李长苏，
申请(专利权)人：杭州盾源聚芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：