用于压力传感器的感振结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于压力传感器的感振结构，该用于压力传感器的感振结构包括膜片，所述膜片具有中性面、与所述中性面同心的多个环形凸部、以及位于所述多个环形凸部与所述中性面相反的一侧的压接段，所述压接段的平整度为A，0≤A≤0.025mm。0≤A≤0.025mm。0≤A≤0.025mm。

【技术实现步骤摘要】
用于压力传感器的感振结构


[0001]本技术实施例涉及压力传感器
，特别涉及一种用于压力传感器的感振结构。

技术介绍

[0002]在压力传感器中，为了使压力传感器的敏感元件与被测介质有效地隔离开，通常需要采用感振结构隔离，通过在感振结构和敏感元件之间灌充硅油，如此感振结构不仅起到隔离的作用，而且还起到将压力无损地传递给敏感元件。
[0003]然而现有技术中的感振结构容易出现封接不严实，漏油等现象。

技术实现思路

[0004]本技术实施方式的目的在于提供一种用于压力传感器的感振结构，旨在提供提高压力传感器的密封效果。
[0005]为解决上述技术问题，本技术的实施方式提供了一种用于压力传感器的感振结构，包括膜片，所述膜片具有中性面、与所述中性面同心的多个环形凸部、以及位于所述多个环形凸部与所述中性面相反的一侧的压接段，所述压接段的平整度为A，0≤A≤0.025mm。
[0006]优选地，所述中性面的直径为D1,0.0190≤D1≤0.02mm。
[0007]优选地，D1为0.0195mm。
[0008]优选地，每个所述环形凸部的高度为H，0.10mm≤H≤0.12mm。
[0009]优选地，所述多个环形凸部的数量为B，3≤B≤7。
[0010]优选地，所述膜片的直径为D2，14.38mm≤D2≤14.5mm，B为5。
[0011]优选地，相邻的两个环形凸部的间距为d，0.95mm≤d≤1.01mm。
[0012]优选地，d为1mm。
[0013]优选地，所述环形凸部的截面形状为方形或者弧形。
[0014]优选地，所述环形凸部的截面形状为弧形时，弧形半径为0.4mm。
[0015]本技术通过将压接段的平整度设置在0≤A≤0.025mm，如此，在通过压环压接该压力传感器的感振结构时可以提高密封效果。
附图说明
[0016]一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
[0017]图1为本技术实施例提供的用于压力传感器的感振结构的一实施例的剖视图。
[0018]本技术附图标号说明：
[0019]标号名称标号名称11中性面13压接段12环形凸部
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[0020]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]需要说明，若本技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0023]另外，若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0024]本技术提供一种用于压力传感器的感振结构，请参阅图1，该用于压力传感器的感振结构包括膜片，所述膜片具有中性面11、与所述中性面11同心的多个环形凸部12、以及位于所述多个环形凸部12与所述中性面11相反的一侧的压接段13，所述压接段13的平整度为A，0≤A≤0.025mm。
[0025]本技术通过将压接段13的平整度设置在0≤A≤0.025mm，如此，在通过压环压接该压力传感器的感振结构的压接段13时可以提高密封效果。
[0026]其中，所述中性面11的直径为D1,0.0190≤D1≤0.02mm。在本实施例中，D1为0.0195mm、0.0196mm、0.0198mm。
[0027]由于在其他参数不变时，环形凸部12的高度越高，膜片的刚度急剧增大，同时环形凸部12越高，膜片的特性更趋于线性，在本实施例中，每个所述环形凸部12的高度为H，0.10mm≤H≤0.12mm。
[0028]虽然在其他参数不变时，环形凸部12的数量对整体性能影响较为平缓，但是，所述多个环形凸部12的数量为B，3≤B≤7。
[0029]在本实施例中，所述膜片的直径为D2，14.38mm≤D2≤14.5mm时，B为5时，环形凸部12为5个时膜片压力最大，效果更佳。
[0030]进一步地，在膜片整体尺寸一定时，相邻的两个环形凸部12的间距为d，d过大，环形凸部12的数量将减少，d过小会影响膜片特性，在本实施例中，0.95mm≤d≤1.01mm，效果更佳。优选地，d为1mm、0.96mm、0.97mm、或者0.98mm。
[0031]另外，为了便于加工成型，所述环形凸部12的截面形状为方形或者弧形，在本实施例中，所述环形凸部12的截面形状为弧形，所述弧形的半径为0.4mm，在其他实施例中可以
为0.42mm、0.39mm。
[0032]本技术还提供一种压力传感器，该压力传感器包括上述的用于压力传感器的感振结构，该压力传感器包括上述用于压力传感器的感振结构的所有实施例。
[0033]以上仅为本技术的优选实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是在本技术的技术构思下，利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的
均包括在本技术的专利保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于压力传感器的感振结构，其特征在于，包括膜片，所述膜片具有中性面、与所述中性面同心的多个环形凸部、以及位于所述多个环形凸部与所述中性面相反的一侧的压接段，所述压接段的平整度为A，0≤A≤0.025mm。2.如权利要求1所述的用于压力传感器的感振结构，其特征在于，所述中性面的直径为D1,0.0190≤D1≤0.02mm。3.如权利要求2所述的用于压力传感器的感振结构，其特征在于，D1为0.0195mm。4.如权利要求1所述的用于压力传感器的感振结构，其特征在于，每个所述环形凸部的高度为H，0.10mm≤H≤0.12mm。5.如权利要求1所述的用于压力传感器的感振结构，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王小平，曹万，李凡亮，吴登峰，施涛，
申请(专利权)人：武汉飞恩微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：